Materiały do ​​wzrostu kryształów SiC nowej generacji

Wraz ze stopniową masową produkcją przewodzących podłoży SiC, rosną wymagania dotyczące stabilności i powtarzalności procesu. W szczególności kontrola defektów, niewielka regulacja lub dryft pola cieplnego w piecu, będzie prowadzić do zmian krystalicznych lub wzrostu liczby defektów. W późniejszym okresie będziemy musieli stawić czoła wyzwaniu „szybkiego wzrostu, długości i grubości oraz wzrostu”. Oprócz udoskonalenia teorii i inżynierii, potrzebujemy również bardziej zaawansowanych materiałów do budowy pól cieplnych jako wsparcia. Używaj zaawansowanych materiałów, hoduj zaawansowane kryształy.

Niewłaściwe użycie materiałów tyglowych, takich jak grafit, grafit porowaty, proszek węglika tantalu itp., w polu gorącym, prowadzi do defektów, takich jak zwiększona zawartość węgla. Ponadto, w niektórych zastosowaniach przepuszczalność grafitu porowatego jest niewystarczająca i konieczne jest wykonanie dodatkowych otworów w celu zwiększenia przepuszczalności. Grafit porowaty o wysokiej przepuszczalności napotyka na trudności związane z obróbką, usuwaniem proszku, trawieniem itp.

VET wprowadza nową generację materiału termicznego do hodowli kryształów SiC – porowaty węglik tantalu. Światowy debiut.

Wytrzymałość i twardość węglika tantalu są bardzo wysokie, a uzyskanie porowatości stanowi wyzwanie. Wytworzenie porowatego węglika tantalu o dużej porowatości i wysokiej czystości stanowi ogromne wyzwanie. Firma Hengpu Technology wprowadziła na rynek przełomowy porowaty węglik tantalu o dużej porowatości, z maksymalną porowatością 75%, co plasuje go na szczycie listy światowych liderów.

Można zastosować filtrację komponentów fazy gazowej, regulację lokalnego gradientu temperatury, kierunku przepływu materiału, kontrolę wycieków itp. Można go stosować z inną powłoką z węglika tantalu (kompaktową) lub węglika tantalu firmy Hengpu Technology, aby tworzyć lokalne komponenty o różnej przewodności przepływu.

Niektóre komponenty można wykorzystać ponownie.

Powłoka z węglika tantalu (TaC) (2)


Czas publikacji: 14 lipca 2023 r.
Czat online WhatsApp!