Со постепеното масовно производство на спроводливи SiC подлоги, се поставуваат повисоки барања за стабилност и повторување на процесот. Особено, контролата на дефектите, малото прилагодување или поместување на топлинското поле во печката, ќе доведе до промени на кристалите или зголемување на дефектите. Во подоцнежниот период, мора да се соочиме со предизвикот на „брзо растење, долги и густи растење и растење“, покрај подобрувањето на теоријата и инженерството, потребни ни се и понапредни материјали за термичко поле како поддршка. Користете напредни материјали, одгледувајте напредни кристали.
Неправилната употреба на материјали за огноотпорни садови, како што се графит, порозен графит, прав од тантал карбид итн. во топлото поле ќе доведе до дефекти како што е зголемена содржина на јаглерод. Покрај тоа, во некои апликации, пропустливоста на порозниот графит не е доволна и потребни се дополнителни дупки за да се зголеми пропустливоста. Порозниот графит со висока пропустливост се соочува со предизвиците на обработка, отстранување на прав, јоргање и така натаму.
VET воведува нова генерација на материјал за термичко поле за одгледување на SiC кристали, порозен тантал карбид. Светско деби.
Јачината и тврдоста на тантал карбидот се многу високи, а правењето порозен е предизвик. Производството на порозен тантал карбид со голема порозност и висока чистота е голем предизвик. „Хенгпу Технолоџи“ лансираше револуционерен порозен тантал карбид со голема порозност, со максимална порозност од 75%, водечки во светот.
Може да се користи филтрација на компоненти во гасна фаза, прилагодување на локалниот температурен градиент, насоката на проток на материјалот, контрола на истекување итн. Може да се користи со друг цврст тантал карбид (компактен) или тантал карбиден премаз од Hengpu Technology за да се формираат локални компоненти со различна спроводливост на проток.
Некои компоненти може да се користат повторно.
Време на објавување: 14 јули 2023 година