Con la graduale produzione di massa di substrati conduttivi in SiC, emergono requisiti più stringenti per la stabilità e la ripetibilità del processo. In particolare, il controllo dei difetti, anche minimi, come piccole variazioni o derive del campo termico nel forno, possono causare cambiamenti cristallini o un aumento dei difetti. In futuro, dovremo affrontare la sfida di "crescere velocemente, in lunghezza e spessore, e crescere in altezza", oltre al miglioramento della teoria e dell'ingegneria, e avremo bisogno anche di materiali di supporto per il campo termico più avanzati. Utilizzare materiali avanzati significa far crescere cristalli avanzati.
L'uso improprio di materiali per crogioli, come grafite, grafite porosa, polvere di carburo di tantalio, ecc., in ambienti ad alta temperatura, può causare difetti quali un aumento delle inclusioni di carbonio. Inoltre, in alcune applicazioni, la permeabilità della grafite porosa non è sufficiente e sono necessari fori aggiuntivi per aumentarla. La grafite porosa ad alta permeabilità presenta problematiche legate alla lavorazione, alla rimozione della polvere, all'incisione e così via.
VET presenta una nuova generazione di materiale per campi termici per la crescita di cristalli di SiC: il carburo di tantalio poroso. Una prima mondiale.
La resistenza e la durezza del carburo di tantalio sono molto elevate, e renderlo poroso rappresenta una sfida. Realizzare carburo di tantalio poroso con elevata porosità e purezza è una grande sfida. Hengpu Technology ha lanciato un rivoluzionario carburo di tantalio poroso con elevata porosità, raggiungendo un massimo del 75%, un primato mondiale.
Può essere utilizzato per la filtrazione di componenti in fase gassosa, la regolazione del gradiente di temperatura locale, la direzione del flusso di materiale, il controllo delle perdite, ecc. Può essere utilizzato con un altro carburo di tantalio solido (compatto) o con un rivestimento in carburo di tantalio di Hengpu Technology per formare componenti locali con diversa conduttanza di flusso.
Alcuni componenti possono essere riutilizzati.
Data di pubblicazione: 14 luglio 2023