Con la progressiva produzione in serie di substrati conduttivi in SiC, vengono richiesti requisiti più elevati per la stabilità e la ripetibilità del processo. In particolare, il controllo dei difetti, la minima variazione o deriva del campo termico nel forno, causeranno alterazioni cristalline o un aumento dei difetti. In futuro, dovremo affrontare la sfida di "crescere rapidamente, in lunghezza e spessore, e crescere in altezza". Oltre al miglioramento della teoria e dell'ingegneria, abbiamo anche bisogno di materiali di supporto per il campo termico più avanzati. Usa materiali avanzati, crea cristalli avanzati.
L'uso improprio di materiali per crogioli, come grafite, grafite porosa, polvere di carburo di tantalio, ecc., nel campo caldo, porterà a difetti come una maggiore inclusione di carbonio. Inoltre, in alcune applicazioni, la permeabilità della grafite porosa non è sufficiente e sono necessari fori aggiuntivi per aumentarla. La grafite porosa con elevata permeabilità deve affrontare le sfide di lavorazione, rimozione della polvere, incisione e così via.
VET presenta una nuova generazione di materiale a campo termico per la crescita di cristalli di SiC: il carburo di tantalio poroso. Un debutto mondiale.
La resistenza e la durezza del carburo di tantalio sono molto elevate e renderlo poroso rappresenta una sfida. Produrre carburo di tantalio poroso con elevata porosità ed elevata purezza è una grande sfida. Hengpu Technology ha lanciato un rivoluzionario carburo di tantalio poroso con elevata porosità, con una porosità massima del 75%, leader mondiale.
È possibile utilizzare la filtrazione dei componenti in fase gassosa, la regolazione del gradiente di temperatura locale, la direzione del flusso del materiale, il controllo delle perdite, ecc. Può essere utilizzato con un altro rivestimento in carburo di tantalio solido (compatto) o in carburo di tantalio di Hengpu Technology per formare componenti locali con diversa conduttanza di flusso.
Alcuni componenti possono essere riutilizzati.
Data di pubblicazione: 14-lug-2023