Supero'tkazuvchi SiC substratlarining asta-sekin ommaviy ishlab chiqarilishi bilan jarayonning barqarorligi va takrorlanishi uchun yuqori talablar qo'yiladi. Xususan, nuqsonlarni nazorat qilish, pechdagi issiqlik maydonining kichik sozlanishi yoki siljishi kristall o'zgarishlariga yoki nuqsonlarning ko'payishiga olib keladi. Keyingi davrda biz "tez, uzun va qalin o'sish va o'sish" muammosiga duch kelishimiz kerak, nazariya va muhandislikni takomillashtirishdan tashqari, bizga tayanch sifatida yanada rivojlangan issiqlik maydoni materiallari ham kerak. Ilg'or materiallardan foydalaning, ilg'or kristallarni o'stiring.
Grafit, g'ovakli grafit, tantal karbid kukuni va boshqalar kabi tigel materiallarini issiq maydonda noto'g'ri ishlatish uglerod qo'shilishini ko'paytirish kabi nuqsonlarga olib keladi. Bundan tashqari, ba'zi qo'llanmalarda g'ovakli grafitning o'tkazuvchanligi yetarli emas va o'tkazuvchanlikni oshirish uchun qo'shimcha teshiklar kerak bo'ladi. Yuqori o'tkazuvchanlikka ega g'ovakli grafit qayta ishlash, kukunni olib tashlash, o'yib ishlov berish va boshqa qiyinchiliklarga duch keladi.
VET yangi avlod SiC kristalli o'stirish termal maydon materiali, g'ovakli tantal karbidini taqdim etadi. Bu jahon miqyosidagi debyut.
Tantal karbidining mustahkamligi va qattiqligi juda yuqori va uni g'ovak qilish qiyin vazifadir. Katta g'ovaklilik va yuqori tozalikka ega g'ovakli tantal karbidini ishlab chiqarish katta qiyinchilik tug'diradi. Hengpu Technology dunyoda yetakchi bo'lgan, maksimal g'ovakliligi 75% bo'lgan, katta g'ovaklilikka ega bo'lgan inqilobiy g'ovakli tantal karbidini ishga tushirdi.
Gaz fazasi komponentlarini filtrlash, mahalliy harorat gradiyentini sozlash, material oqimining yo'nalishi, oqishni nazorat qilish va boshqalardan foydalanish mumkin. Turli oqim o'tkazuvchanligiga ega mahalliy komponentlarni hosil qilish uchun Hengpu Technology kompaniyasining boshqa qattiq tantal karbidi (ixcham) yoki tantal karbid qoplamasi bilan ishlatilishi mumkin.
Ba'zi komponentlar qayta ishlatilishi mumkin.
Nashr vaqti: 2023-yil 14-iyul