Với việc sản xuất hàng loạt dần các chất nền SiC dẫn điện, các yêu cầu cao hơn được đặt ra đối với sự ổn định và khả năng lặp lại của quy trình. Đặc biệt, việc kiểm soát các khuyết tật, những điều chỉnh nhỏ hoặc sự dịch chuyển của trường nhiệt trong lò nung, sẽ dẫn đến sự thay đổi cấu trúc tinh thể hoặc sự gia tăng khuyết tật. Trong giai đoạn sau, chúng ta phải đối mặt với thách thức “phát triển nhanh, dài và dày, và phát triển theo chiều cao”, ngoài việc cải tiến lý thuyết và kỹ thuật, chúng ta cũng cần các vật liệu trường nhiệt tiên tiến hơn để hỗ trợ. Sử dụng vật liệu tiên tiến, nuôi cấy các tinh thể tiên tiến.
Việc sử dụng không đúng cách các vật liệu làm nồi nấu kim loại, chẳng hạn như than chì, than chì xốp, bột cacbua tantan, v.v., trong môi trường nhiệt độ cao sẽ dẫn đến các khuyết tật như tăng lượng tạp chất cacbon. Ngoài ra, trong một số ứng dụng, độ thấm của than chì xốp không đủ, cần phải tạo thêm lỗ để tăng độ thấm. Than chì xốp có độ thấm cao gặp phải những thách thức trong quá trình gia công, loại bỏ bột, khắc axit, v.v.
VET giới thiệu thế hệ vật liệu trường nhiệt nuôi cấy tinh thể SiC mới, cacbua tantan xốp. Lần đầu tiên ra mắt trên toàn thế giới.
Độ bền và độ cứng của tantali cacbua rất cao, và việc chế tạo nó có cấu trúc xốp là một thách thức. Việc chế tạo tantali cacbua xốp với độ xốp lớn và độ tinh khiết cao là một thách thức lớn. Công nghệ Hengpu đã cho ra mắt sản phẩm tantali cacbua xốp đột phá với độ xốp lớn, đạt tối đa 75%, dẫn đầu thế giới.
Có thể sử dụng phương pháp này để lọc các thành phần pha khí, điều chỉnh độ dốc nhiệt độ cục bộ, hướng dòng chảy vật liệu, kiểm soát rò rỉ, v.v. Nó có thể được sử dụng cùng với một loại cacbua tantan rắn (dạng đặc) hoặc lớp phủ cacbua tantan khác từ Công nghệ Hengpu để tạo thành các thành phần cục bộ với độ dẫn dòng chảy khác nhau.
Một số bộ phận có thể được tái sử dụng.
Thời gian đăng bài: 14/7/2023