S postopno množično proizvodnjo prevodnih SiC substratov se postavljajo višje zahteve glede stabilnosti in ponovljivosti procesa. Zlasti nadzor napak, majhne prilagoditve ali premiki toplotnega polja v peči bodo povzročili kristalne spremembe ali povečanje napak. V poznejšem obdobju se moramo soočiti z izzivom "hitre rasti, dolge in debelejše ter naraščajoče rasti", poleg izboljšanja teorije in inženiringa pa potrebujemo tudi naprednejše materiale za toplotno polje kot podporo. Uporabljajte napredne materiale, gojite napredne kristale.
Nepravilna uporaba materialov za lončke, kot so grafit, porozni grafit, tantalov karbidni prah itd., v vročem polju vodi do napak, kot je povečana vsebnost ogljika. Poleg tega v nekaterih primerih prepustnost poroznega grafita ni zadostna in so potrebne dodatne luknje za povečanje prepustnosti. Porozni grafit z visoko prepustnostjo se sooča z izzivi obdelave, odstranjevanja prahu, jedkanja in tako naprej.
VET predstavlja novo generacijo termičnega materiala za rast kristalov SiC, poroznega tantalovega karbida. Svetovna premiera.
Trdnost in trdota tantalovega karbida sta zelo visoki, zato je njegova poroznost izziv. Izdelava poroznega tantalovega karbida z veliko poroznostjo in visoko čistostjo je velik izziv. Hengpu Technology je predstavil prebojni porozni tantalov karbid z veliko poroznostjo, z največjo poroznostjo 75 %, ki je vodilni na svetu.
Uporablja se lahko za filtracijo plinskofaznih komponent, prilagajanje lokalnega temperaturnega gradienta, smer pretoka materiala, nadzor puščanja itd. Uporablja se lahko z drugim trdnim tantalovim karbidom (kompaktnim) ali tantalovokarbidnim premazom podjetja Hengpu Technology za oblikovanje lokalnih komponent z različno prevodnostjo pretoka.
Nekatere komponente je mogoče ponovno uporabiti.
Čas objave: 14. julij 2023