İletken SiC alt tabakaların kademeli olarak seri üretimiyle birlikte, prosesin kararlılığı ve tekrarlanabilirliği için daha yüksek gereksinimler ortaya çıkmaktadır. Özellikle, kusurların kontrolü, fırındaki ısı alanının küçük bir ayarı veya kayması, kristal değişikliklerine veya kusurların artmasına neden olacaktır. Daha sonraki dönemde, teori ve mühendisliğin iyileştirilmesinin yanı sıra, destekleyici olarak daha gelişmiş termal alan malzemelerine de ihtiyaç duyarak, "hızlı, uzun ve kalın, yukarı doğru büyüyen" zorluğuyla karşı karşıya kalacağız. Gelişmiş malzemeler kullanarak, gelişmiş kristaller yetiştireceğiz.
Grafit, gözenekli grafit, tantal karbür tozu gibi pota malzemelerinin sıcak alanda yanlış kullanımı, karbon inklüzyonunun artması gibi kusurlara yol açar. Ayrıca, bazı uygulamalarda gözenekli grafitin geçirgenliği yeterli değildir ve geçirgenliği artırmak için ek deliklere ihtiyaç duyulur. Yüksek geçirgenliğe sahip gözenekli grafit, işleme, toz uzaklaştırma, aşındırma vb. zorluklarla karşı karşıyadır.
VET, SiC kristal büyütme termal alan malzemesi olarak gözenekli tantal karbürün yeni neslini tanıttı. Dünya çapında bir ilk.
Tantal karbürün mukavemeti ve sertliği çok yüksektir ve gözenekli hale getirilmesi zorlu bir iştir. Yüksek gözenekliliğe ve yüksek saflığa sahip gözenekli tantal karbür üretmek ise büyük bir zorluktur. Hengpu Technology, %75'lik maksimum gözenekliliğe sahip, çığır açan yüksek gözenekliliğe sahip gözenekli tantal karbür üreterek dünyada öncü olmuştur.
Gaz fazı bileşen filtrasyonu, yerel sıcaklık gradyanının ayarlanması, malzeme akış yönünün belirlenmesi, sızıntı kontrolü vb. amaçlarla kullanılabilir. Farklı akış iletkenliğine sahip yerel bileşenler oluşturmak için Hengpu Technology'nin diğer katı tantal karbür (kompakt) veya tantal karbür kaplamasıyla birlikte kullanılabilir.
Bazı parçalar yeniden kullanılabilir.
Yayın tarihi: 14 Temmuz 2023