Үткәргеч SiC субстратларын әкренләп күпләп җитештерү белән, процессның тотрыклылыгы һәм кабатланырлыгы өчен югарырак таләпләр куела. Аерым алганда, кимчелекләрне контрольдә тоту, мичтәге җылылык кырының кечкенә көйләнеше яки тайпылышы кристалл үзгәрешләренә яки кимчелекләрнең артуына китерәчәк. Соңрак без "тиз, озын һәм калын үсү, һәм үсү" проблемасы белән очрашырга тиеш, теория һәм инженерияне камилләштерүдән тыш, безгә терәү өчен алга киткән җылылык кыры материаллары да кирәк. Алга киткән материалларны кулланыгыз, алга киткән кристалллар үстерегез.
Графит, күзәнәкле графит, тантал карбиды порошогы һ.б. кебек тигель материалларын кайнар кырда дөрес кулланмау углерод катнашмасы арту кебек кимчелекләргә китерәчәк. Моннан тыш, кайбер кушымталарда күзәнәкле графитның үткәрүчәнлеге җитәрлек түгел, һәм үткәрүчәнлекне арттыру өчен өстәмә тишекләр кирәк. Югары үткәрүчәнлеккә ия булган күзәнәкле графит эшкәртү, порошокны бетерү, гравюра ясау һ.б. кебек кыенлыклар белән очраша.
VET яңа буын SiC кристалл үсү термик кыр материалын, күзәнәкле тантал карбидын тәкъдим итә. Дөньяда беренче тапкыр.
Тантал карбидының ныклыгы һәм катылыгы бик югары, һәм аны күзәнәкле итү - катлаулы мәсьәлә. Зур күзәнәкле һәм югары сафлыкка ия күзәнәкле тантал карбиды ясау - зур катлаулы мәсьәлә. Hengpu Technology компаниясе дөнья күләмендә лидер булып, максималь күзәнәклелеге 75% булган зур күзәнәкле тантал карбидын эшләтеп җибәрде.
Газ фазасы компонентларын фильтрлау, җирле температура градиентын көйләү, материал агымы юнәлеше, агып чыгуны контрольдә тоту һ.б. кулланылырга мөмкин. Аны Hengpu Technology компаниясенең башка каты тантал карбиды (компакт) яки тантал карбиды каплавы белән кулланып, төрле агым үткәрүчәнлеге булган җирле компонентлар формалаштырырга мөмкин.
Кайбер компонентларны кабат кулланырга мөмкин.
Бастырып чыгару вакыты: 2023 елның 14 июле