Mit der zunehmenden Massenproduktion leitfähiger SiC-Substrate steigen die Anforderungen an die Stabilität und Wiederholbarkeit des Prozesses. Insbesondere die Kontrolle von Defekten, die geringe Anpassung oder Drift des Wärmefelds im Ofen führen zu Kristallveränderungen oder einer Zunahme von Defekten. In der Zukunft stehen wir vor der Herausforderung, schnell, lang, dick und in die Höhe zu wachsen. Neben der Verbesserung von Theorie und Technik benötigen wir auch fortschrittlichere Wärmefeldmaterialien als Unterstützung. Verwenden Sie fortschrittliche Materialien, um fortschrittliche Kristalle zu züchten.
Die unsachgemäße Verwendung von Tiegelmaterialien wie Graphit, porösem Graphit, Tantalkarbidpulver usw. im Heißfeld führt zu Defekten wie erhöhtem Kohlenstoffeinschluss. Darüber hinaus ist die Permeabilität von porösem Graphit in manchen Anwendungen unzureichend, sodass zusätzliche Löcher zur Erhöhung der Permeabilität erforderlich sind. Poröser Graphit mit hoher Permeabilität steht vor Herausforderungen bei der Verarbeitung, Pulverentfernung, Ätzung usw.
VET stellt eine neue Generation von thermischem Feldmaterial für die SiC-Kristallzüchtung vor: poröses Tantalkarbid. Eine Weltneuheit.
Tantalkarbid weist eine sehr hohe Festigkeit und Härte auf, und seine Porosität zu steigern, ist eine Herausforderung. Die Herstellung von porösem Tantalkarbid mit hoher Porosität und hoher Reinheit ist eine große Herausforderung. Hengpu Technology hat ein bahnbrechendes poröses Tantalkarbid mit hoher Porosität und einer maximalen Porosität von 75 % auf den Markt gebracht und ist damit weltweit führend.
Es können Gasphasenkomponentenfiltration, Anpassung des lokalen Temperaturgradienten, Materialflussrichtung, Leckagekontrolle usw. verwendet werden. Es kann mit einem anderen festen Tantalkarbid (kompakt) oder einer Tantalkarbidbeschichtung von Hengpu Technology verwendet werden, um lokale Komponenten mit unterschiedlicher Strömungsleitfähigkeit zu bilden.
Einige Komponenten können wiederverwendet werden.
Beitragszeit: 14. Juli 2023