Avec la production en série progressive de substrats SiC conducteurs, des exigences plus élevées sont imposées en matière de stabilité et de répétabilité du procédé. En particulier, le contrôle des défauts, ainsi que la légère variation du champ thermique dans le four, entraîneront des modifications cristallines ou une augmentation des défauts. À l'avenir, nous devrons relever le défi de « croissance rapide, longue et épaisse », et ce, en plus des progrès théoriques et techniques. Nous aurons également besoin de matériaux de champ thermique plus avancés. Utiliser des matériaux avancés pour développer des cristaux avancés.
Une mauvaise utilisation de matériaux de creuset, tels que le graphite, le graphite poreux, la poudre de carbure de tantale, etc., dans le champ chaud peut entraîner des défauts tels qu'une augmentation de l'inclusion de carbone. De plus, dans certaines applications, la perméabilité du graphite poreux est insuffisante et des trous supplémentaires sont nécessaires pour l'augmenter. Le graphite poreux à haute perméabilité est confronté à des défis de traitement, d'élimination de la poudre, de gravure, etc.
VET présente une nouvelle génération de matériau de champ thermique à croissance cristalline SiC, le carbure de tantale poreux. Une première mondiale.
La résistance et la dureté du carbure de tantale sont très élevées, et le rendre poreux constitue un défi majeur. Produire du carbure de tantale poreux à forte porosité et d'une grande pureté représente un défi de taille. Hengpu Technology a lancé un carbure de tantale poreux révolutionnaire à forte porosité, avec une porosité maximale de 75 %, leader mondial.
La filtration des composants en phase gazeuse, l'ajustement du gradient de température local, le sens d'écoulement du matériau et le contrôle des fuites, etc., peuvent être utilisés. Il peut être utilisé avec un autre carbure de tantale massif (compact) ou un revêtement en carbure de tantale de Hengpu Technology pour former des composants locaux présentant différentes conductances d'écoulement.
Certains composants peuvent être réutilisés.
Date de publication : 14 juillet 2023