Met de geleidelijke massaproductie van geleidende SiC-substraten worden hogere eisen gesteld aan de stabiliteit en herhaalbaarheid van het proces. Met name de beheersing van defecten, waarbij zelfs kleine aanpassingen of afwijkingen van het warmteveld in de oven kristalveranderingen of een toename van defecten kunnen veroorzaken, is cruciaal. In de toekomst zullen we de uitdaging aangaan om "snel, lang en dik te groeien, en in de hoogte". Naast de verbetering van de theorie en de techniek, hebben we ook geavanceerdere materialen nodig voor de drager van het warmteveld. Door geavanceerde materialen te gebruiken, groeien we geavanceerde kristallen.
Onjuist gebruik van smeltkroesmaterialen, zoals grafiet, poreus grafiet, tantaalcarbidepoeder, enz., in het hete veld kan leiden tot defecten zoals een verhoogde koolstofinsluiting. Bovendien is de permeabiliteit van poreus grafiet in sommige toepassingen onvoldoende en zijn extra gaten nodig om de permeabiliteit te verhogen. Poreus grafiet met een hoge permeabiliteit brengt echter uitdagingen met zich mee op het gebied van verwerking, poederverwijdering, etsen, enzovoort.
VET introduceert een nieuwe generatie thermisch veldmateriaal voor de groei van SiC-kristallen: poreus tantaalcarbide. Een wereldprimeur.
Tantaalcarbide heeft een zeer hoge sterkte en hardheid, waardoor het poreus maken ervan een uitdaging vormt. Het produceren van poreus tantaalcarbide met een hoge porositeit en zuiverheid is een enorme opgave. Hengpu Technology heeft een baanbrekend poreus tantaalcarbide met een hoge porositeit van maar liefst 75% op de markt gebracht, waarmee het wereldwijd toonaangevend is.
Het kan worden gebruikt voor filtratie van gasfasecomponenten, aanpassing van de lokale temperatuurgradiënt, richting van de materiaalstroom, beheersing van lekkage, enz. Het kan worden gebruikt met een ander vast tantaalcarbide (compact) of tantaalcarbidecoating van Hengpu Technology om lokale componenten met verschillende stroomgeleidbaarheid te vormen.
Sommige onderdelen kunnen hergebruikt worden.
Geplaatst op: 14 juli 2023