vet-china présente une nacelle de plaquettes contiguës de pointe, conçue pour la prochaine génération de fabrication de semi-conducteurs. Cette nacelle, méticuleusement conçue, offre une précision inégalée dans la manipulation des plaquettes, garantissant des opérations fluides et réduisant considérablement les risques de dommages pendant le traitement.
Fabriqué avec des matériaux de haute qualité, le wafer boat contigu offre une excellente stabilité thermique et une résistance chimique exceptionnelle, ce qui le rend idéal pour les environnements à haute température et aux produits chimiques agressifs. Sa conception innovante garantit un maintien sûr et un alignement parfait des wafers, optimisant ainsi le rendement et augmentant l'efficacité de la fabrication.
Ce wafer boat de pointe est conçu pour répondre aux besoins exigeants des usines de semi-conducteurs modernes, prenant en charge différentes tailles et configurations de wafers. En intégrant le wafer boat contigu de vet-china à votre ligne de production, vous bénéficierez de performances améliorées, de temps d'arrêt réduits et d'un rendement accru.
Découvrez la différence grâce à l'engagement de vet-china en matière de qualité et d'innovation, qui propose des produits qui repoussent les limites de la fabrication de semi-conducteurs. Choisissez le Wafer Boat contigu et propulsez vos capacités de traitement de wafers vers de nouveaux sommets.
Propriétés du carbure de silicium recristallisé
Le carbure de silicium recristallisé (R-SiC) est un matériau hautes performances, d'une dureté surpassant celle du diamant. Il est formé à des températures supérieures à 2 000 °C. Il conserve de nombreuses propriétés remarquables du SiC, telles que sa résistance aux températures élevées, sa forte résistance à la corrosion, son excellente résistance à l'oxydation et sa bonne résistance aux chocs thermiques.
● Excellentes propriétés mécaniques. Le carbure de silicium recristallisé offre une résistance et une rigidité supérieures à celles de la fibre de carbone, une résistance élevée aux chocs, une excellente performance dans des environnements à températures extrêmes et un meilleur équilibre dans diverses situations. De plus, il présente une bonne flexibilité et résiste aux déformations, ce qui améliore considérablement ses performances.
● Haute résistance à la corrosion. Le carbure de silicium recristallisé présente une résistance élevée à la corrosion dans divers milieux, prévient l'érosion due à divers agents corrosifs, conserve ses propriétés mécaniques à long terme et possède une forte adhérence, ce qui prolonge sa durée de vie. De plus, il présente une bonne stabilité thermique, s'adapte à certaines variations de température et améliore son efficacité d'application.
● Frittage sans retrait. Grâce à ce procédé, aucune contrainte résiduelle ne provoque de déformation ou de fissuration du produit, et des pièces aux formes complexes et de haute précision peuvent être préparées.
| 重结晶碳化硅物理特性 Propriétés physiques du carbure de silicium recristallisé | |
| 性质 / Propriété | 典型数值 / Valeur typique |
| 使用温度/ Température de fonctionnement (°C) | 1600°C (avec oxygène), 1700°C (environnement réducteur) |
| SiC含量/ Teneur en SiC | > 99,96% |
| 自由Si含量/ Contenu Si gratuit | < 0,1% |
| 体积密度/Densité apparente | 2,60-2,70 g/cm3 |
| 气孔率/ Porosité apparente | < 16% |
| 抗压强度/ Résistance à la compression | > 600MPa |
| 常温抗弯强度/Résistance à la flexion à froid | 80-90 MPa (20°C) |
| 高温抗弯强度Résistance à la flexion à chaud | 90-100 MPa (1400°C) |
| 热膨胀系数/ Dilatation thermique à 1500°C | 4,70 10-6/°C |
| 导热系数/Conductivité thermique à 1200 °C | 23W/m•K |
| 杨氏模量/ Module d'élasticité | 240 GPa |
| 抗热震性/ Résistance aux chocs thermiques | Extrêmement bon |
VET Energy est levéritable fabricant de produits personnalisés en graphite et carbure de silicium avec revêtement CVD,peut fournirdiverspièces personnalisées pour l'industrie des semi-conducteurs et du photovoltaïque. ONotre équipe technique est issue des meilleures institutions de recherche nationales et peut fournir des solutions matérielles plus professionnelles.pour toi.
Nous développons continuellement des procédés avancés pour fournir des matériaux plus avancés,etont mis au point une technologie brevetée exclusive, qui permet de rendre la liaison entre le revêtement et le substrat plus étroite et moins sujette au détachement.
| maladies cardiovasculaires SiC薄膜基本物理性能 Propriétés physiques de base du SiC CVDrevêtement | |
| 性质 / Propriété | 典型数值 / Valeur typique |
| 晶体结构 / Structure cristalline | Phase β du FCC多晶，主要为（111) |
| 密度 / Densité | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Dureté | 2 500 维氏硬度 (charge de 500 g) |
| 晶粒大小 / Granulométrie | 2 à 10 μm |
| 纯度 / Pureté chimique | 99,99995% |
| 热容 / Capacité thermique | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Température de sublimation | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Résistance à la flexion | 415 MPa RT 4 points |
| 杨氏模量 / Module de Young | 430 Gpa 4pt courbé, 1300℃ |
| 导热系数 / ThermalConductivité | 300 W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Dilatation thermique (CTE) | 4,5 × 10-6K-1 |
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