Непрерывная вафельная лодка

Краткое описание:

Contiguous Wafer Boat от vet-china разработан для эффективной обработки пластин в производстве полупроводников. Разработанное с точностью, решение vet-china обеспечивает термическую стабильность и химическую стойкость, оптимизируя производственные процессы, минимизируя повреждения и повышая производительность.

Напишите нам письмо Загрузить как PDF

Подробности продукта

Теги продукта

vet-china представляет современную лодку Contiguous Wafer Boat, разработанную для следующего поколения полупроводникового производства. Эта тщательно спроектированная лодка обеспечивает непревзойденную точность обработки пластин, гарантируя бесперебойность операций и значительно снижая риск повреждения во время обработки.

Изготовленная из высококачественных материалов, Contiguous Wafer Boat может похвастаться превосходной термической стабильностью и исключительной химической стойкостью, что делает ее идеальной для высокотемпературных и агрессивных химических сред. Ее инновационная конструкция гарантирует надежное удержание и идеальное выравнивание пластин, оптимизируя производительность и повышая эффективность производства.

Эта передовая лодочка для пластин разработана с учетом высоких требований современных полупроводниковых фабрик, поддерживая различные размеры и конфигурации пластин. Внедрив Contiguous Wafer Boat от vet-china в свою производственную линию, вы можете рассчитывать на повышение производительности, сокращение простоев и увеличение производительности.

Почувствуйте разницу с приверженностью vet-china качеству и инновациям, поставляя продукцию, которая расширяет границы производства полупроводников. Выберите Contiguous Wafer Boat и поднимите свои возможности обработки пластин на новые высоты.

Свойства рекристаллизованного карбида кремния

Рекристаллизованный карбид кремния (R-SiC) — это высокопроизводительный материал, по твердости уступающий только алмазу, который образуется при высокой температуре выше 2000℃. Он сохраняет многие превосходные свойства SiC, такие как прочность при высоких температурах, высокая коррозионная стойкость, отличная стойкость к окислению, хорошая стойкость к тепловому удару и т. д.

● Отличные механические свойства. Рекристаллизованный карбид кремния имеет более высокую прочность и жесткость, чем углеродное волокно, высокую ударопрочность, может играть хорошую роль в экстремальных температурных условиях, может играть лучшую роль противовеса в различных ситуациях. Кроме того, он также обладает хорошей гибкостью и не так легко повреждается при растяжении и изгибе, что значительно улучшает его производительность.

● Высокая коррозионная стойкость. Рекристаллизованный карбид кремния обладает высокой коррозионной стойкостью к различным средам, может предотвратить эрозию различных агрессивных сред, может сохранять свои механические свойства в течение длительного времени, имеет сильную адгезию, благодаря чему имеет более длительный срок службы. Кроме того, он также обладает хорошей термической стабильностью, может адаптироваться к определенному диапазону изменений температуры, улучшает эффект его применения.

● Спекание не дает усадки. Поскольку процесс спекания не дает усадки, никакие остаточные напряжения не приведут к деформации или растрескиванию изделия, и можно изготавливать детали сложной формы и высокой точности.

重结晶碳 и 硅物理特性 Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния
性质 / Свойство	典型数值 / Типичное значение
使用温度/ Рабочая температура (°С)	1600°C (с кислородом), 1700°C (восстановительная среда)
SiC含量/ Содержание SiC	> 99,96%
自由Си含量/ Бесплатный контент Si	< 0,1%
体积密度/Насыпная плотность	2,60-2,70 г/см3³
气孔率/ Кажущаяся пористость	< 16%
抗压强度/ Прочность на сжатие	> 600МПа
常温抗弯强度/Прочность на изгиб в холодном состоянии	80-90 МПа (20°С)
高温抗弯强度Прочность на изгиб в горячем состоянии	90-100 МПа (1400°С)
热膨胀系数/ Тепловое расширение при 1500°C	4.70 10^-6/°С
导热系数/Теплопроводность при 1200°C	23Вт/м•К
杨氏模量/ Модуль упругости	240 ГПа
抗热震性/ Устойчивость к термическому удару	Очень хорошо

VET Энергия - это настоящий производитель индивидуальных изделий из графита и карбида кремния с покрытием CVD,может поставлятьразличныйиндивидуальные детали для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности. OНаша техническая команда состоит из ведущих отечественных научно-исследовательских институтов, которые могут предложить более профессиональные решения в области материалов.для тебя.

Мы постоянно разрабатываем передовые процессы для предоставления более совершенных материалов,иразработали эксклюзивную запатентованную технологию, которая позволяет сделать сцепление покрытия с основой более прочным и менее подверженным отслоению.

ССЗ SiC薄膜基本物理性能 Основные физические свойства CVD SiCпокрытие
性质 / Свойство	典型数值 / Типичное значение
晶体结构 / Кристаллическая структура	FCC β фаза多晶,主要为（111）取向
密度 / Плотность	3,21 г/см³
硬度 / Твёрдость	2500 维氏硬度 (загрузка 500 г)
晶粒大小 / Размер зерна	2~10мкм
纯度 / Химическая чистота	99,99995%
热容 / Теплоемкость	640 Дж·кг^-1·К^-1
升华温度 / Температура сублимации	2700℃
抗弯强度 / Прочность на изгиб	415 МПа RT 4-точечный
杨氏模量 / Модуль Юнга	430 ГПа 4-точечный изгиб, 1300℃
导热系数 / ТермалПроводимость	300Вт·м^-1·К^-1
热膨胀系数 / Тепловое расширение (КТР)	4,5×10^-6K^-1