Thuyền bánh wafer liền kề

Hình ảnh nổi bật của thuyền wafer liền kề

Mô tả ngắn gọn:

Khay đựng wafer liền kề của vet-china được thiết kế để xử lý wafer hiệu quả trong sản xuất chất bán dẫn. Được chế tạo với độ chính xác cao, giải pháp của vet-china đảm bảo độ ổn định nhiệt và khả năng chống hóa chất, tối ưu hóa quy trình sản xuất đồng thời giảm thiểu hư hỏng và tăng năng suất.

Gửi email cho chúng tôi Tải xuống dưới dạng PDF

Chi tiết sản phẩm

Thẻ sản phẩm

vet-china giới thiệu một loại khay chứa wafer liền kề hiện đại được thiết kế cho thế hệ sản xuất bán dẫn tiếp theo. Chiếc khay được thiết kế tỉ mỉ này mang lại độ chính xác chưa từng có trong việc xử lý wafer, đảm bảo hoạt động liền mạch và giảm đáng kể nguy cơ hư hỏng trong quá trình xử lý.

Được chế tạo từ vật liệu chất lượng cao, khay chứa wafer liền kề có độ ổn định nhiệt tuyệt vời và khả năng kháng hóa chất vượt trội, lý tưởng cho môi trường nhiệt độ cao và hóa chất khắc nghiệt. Thiết kế cải tiến đảm bảo các wafer được giữ chắc chắn và căn chỉnh hoàn hảo, tối ưu hóa năng suất và tăng hiệu quả sản xuất.

Khay chứa wafer tiên tiến này được thiết kế riêng để đáp ứng nhu cầu khắt khe của các nhà máy sản xuất bán dẫn hiện đại, hỗ trợ nhiều kích thước và cấu hình wafer khác nhau. Bằng cách tích hợp Khay chứa Wafer liền kề từ vet-china vào dây chuyền sản xuất của bạn, bạn có thể kỳ vọng hiệu suất được nâng cao, thời gian ngừng hoạt động giảm và tỷ lệ sản lượng tăng lên.

Trải nghiệm sự khác biệt với cam kết về chất lượng và đổi mới của vet-china, mang đến những sản phẩm vượt qua mọi giới hạn của ngành sản xuất bán dẫn. Chọn Contiguous Wafer Boat và nâng cao khả năng xử lý wafer của bạn lên một tầm cao mới.

Tính chất của cacbua silic tái kết tinh

Silicon carbide tái kết tinh (R-SiC) là một vật liệu hiệu năng cao với độ cứng chỉ đứng sau kim cương, được hình thành ở nhiệt độ cao trên 2000℃. Nó giữ lại nhiều đặc tính tuyệt vời của SiC, chẳng hạn như độ bền ở nhiệt độ cao, khả năng chống ăn mòn mạnh, khả năng chống oxy hóa tuyệt vời, khả năng chịu sốc nhiệt tốt, v.v.

● Tính chất cơ học tuyệt vời. Silicon carbide tái kết tinh có độ bền và độ cứng cao hơn sợi carbon, khả năng chống va đập cao, có thể hoạt động tốt trong môi trường nhiệt độ khắc nghiệt, có thể đóng vai trò đối trọng tốt hơn trong nhiều tình huống khác nhau. Ngoài ra, nó còn có độ dẻo tốt và không dễ bị hư hại khi kéo giãn và uốn cong, giúp cải thiện đáng kể hiệu suất của nó.

● Khả năng chống ăn mòn cao. Cacbua silic tái kết tinh có khả năng chống ăn mòn cao với nhiều loại môi trường, có thể ngăn chặn sự ăn mòn của nhiều loại môi trường ăn mòn, có thể duy trì các tính chất cơ học trong thời gian dài, có độ bám dính mạnh, do đó có tuổi thọ cao hơn. Ngoài ra, nó cũng có độ ổn định nhiệt tốt, có thể thích ứng với một phạm vi thay đổi nhiệt độ nhất định, nâng cao hiệu quả ứng dụng.

● Quá trình thiêu kết không gây co ngót. Do quá trình thiêu kết không gây co ngót, nên sẽ không có ứng suất dư gây biến dạng hoặc nứt vỡ sản phẩm, và có thể chế tạo các chi tiết có hình dạng phức tạp và độ chính xác cao.

重结晶碳化硅物理特性 Tính chất vật lý của cacbua silic tái kết tinh
性质 / Tài sản	典型数值 Giá trị điển hình
使用温度/ Nhiệt độ hoạt động (°C)	1600°C (có oxy), 1700°C (môi trường khử)
SiC含量Hàm lượng SiC	> 99,96%
自由Si含量Hàm lượng Si tự do	< 0,1%
体积密度/Mật độ khối	2,60-2,70 g/cm³³
气孔率Độ xốp biểu kiến	< 16%
抗压强度/ Độ bền nén	> 600MPa
常温抗弯强度/Độ bền uốn nguội	80-90 MPa (20°C)
高温抗弯强度Độ bền uốn nóng	90-100 MPa (1400°C)
热膨胀系数/ Sự giãn nở nhiệt ở 1500°C	4,70 10^-6/°C
导热系数/Độ dẫn nhiệt ở 1200°C	23W/m•K
杨氏模量/ Mô đun đàn hồi	240 GPa
抗热震性/ Khả năng chống sốc nhiệt	Cực kỳ tốt

VET Energy là cáiNhà sản xuất thực sự các sản phẩm than chì và cacbua silic tùy chỉnh với lớp phủ CVD.có thể cung cấpnhiềuCác linh kiện tùy chỉnh cho ngành công nghiệp bán dẫn và quang điện. OĐội ngũ kỹ thuật của chúng tôi đến từ các viện nghiên cứu hàng đầu trong nước, có thể cung cấp các giải pháp vật liệu chuyên nghiệp hơn.Dành cho bạn.

Chúng tôi liên tục phát triển các quy trình tiên tiến để cung cấp các vật liệu chất lượng cao hơn.VàChúng tôi đã phát triển một công nghệ độc quyền được cấp bằng sáng chế, có thể làm cho liên kết giữa lớp phủ và chất nền chặt hơn và ít bị bong tróc hơn.

Bệnh tim mạch SiC薄膜基本物理性能 Các tính chất vật lý cơ bản của SiC CVDlớp phủ
性质 / Tài sản	典型数值 Giá trị điển hình
晶体结构 Cấu trúc tinh thể	Pha β của FCC多晶, 主要为（111)取向
密度 / Tỉ trọng	3,21 g/cm³
硬度 Độ cứng	2500 维氏硬度(tải 500g)
晶粒大小 / Kích thước hạt	2~10μm
纯度 Độ tinh khiết hóa học	99,99995%
热容 / Dung lượng nhiệt	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 Nhiệt độ thăng hoa	2700℃
抗弯强度 Sức mạnh uốn cong	415 MPa RT 4 điểm
杨氏模量 Mô đun Young	Uốn cong 4 điểm, 430 GPa, 1300℃
导热系数 / ThermalĐộ dẫn điện	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 Hệ số giãn nở nhiệt (CTE)	4,5×10^-6K^-1