vet-china giới thiệu một Contiguous Wafer Boat hiện đại được thiết kế cho thế hệ sản xuất chất bán dẫn tiếp theo. Chiếc thuyền được thiết kế tỉ mỉ này mang lại độ chính xác vô song trong việc xử lý wafer, đảm bảo hoạt động liền mạch và giảm đáng kể nguy cơ hư hỏng trong quá trình xử lý.
Được chế tạo bằng vật liệu chất lượng cao, Contiguous Wafer Boat tự hào có độ ổn định nhiệt tuyệt vời và khả năng chống hóa chất đặc biệt, khiến nó trở nên lý tưởng cho môi trường nhiệt độ cao và hóa chất khắc nghiệt. Thiết kế sáng tạo của nó đảm bảo rằng các wafer được giữ chắc chắn và căn chỉnh hoàn hảo, tối ưu hóa thông lượng và tăng hiệu quả sản xuất.
Thuyền wafer tiên tiến này được thiết kế riêng để đáp ứng nhu cầu khắt khe của các nhà máy sản xuất bán dẫn hiện đại, hỗ trợ nhiều kích thước và cấu hình wafer khác nhau. Bằng cách kết hợp Contiguous Wafer Boat từ vet-china vào dây chuyền sản xuất của bạn, bạn có thể mong đợi hiệu suất được cải thiện, thời gian chết giảm và tỷ lệ năng suất tăng.
Trải nghiệm sự khác biệt với cam kết về chất lượng và cải tiến của vet-china, cung cấp các sản phẩm vượt qua ranh giới của sản xuất chất bán dẫn. Chọn Contiguous Wafer Boat và nâng cao khả năng xử lý wafer của bạn lên tầm cao mới.
Tính chất của silicon carbide kết tinh lại
Silic cacbua kết tinh lại (R-SiC) là vật liệu hiệu suất cao có độ cứng chỉ đứng sau kim cương, được hình thành ở nhiệt độ cao trên 2000℃. Nó vẫn giữ được nhiều đặc tính tuyệt vời của SiC, chẳng hạn như độ bền nhiệt độ cao, khả năng chống ăn mòn mạnh, khả năng chống oxy hóa tuyệt vời, khả năng chống sốc nhiệt tốt, v.v.
● Tính chất cơ học tuyệt vời. Silic cacbua kết tinh lại có độ bền và độ cứng cao hơn sợi carbon, khả năng chống va đập cao, có thể phát huy hiệu suất tốt trong môi trường nhiệt độ khắc nghiệt, có thể phát huy hiệu suất đối trọng tốt hơn trong nhiều tình huống. Ngoài ra, nó còn có độ đàn hồi tốt và không dễ bị hư hỏng do kéo giãn và uốn cong, giúp cải thiện đáng kể hiệu suất của nó.
● Khả năng chống ăn mòn cao. Silic cacbua kết tinh lại có khả năng chống ăn mòn cao đối với nhiều loại môi trường, có thể ngăn chặn sự ăn mòn của nhiều loại môi trường ăn mòn, có thể duy trì các tính chất cơ học của nó trong thời gian dài, có độ bám dính mạnh, do đó có tuổi thọ sử dụng lâu dài. Ngoài ra, nó còn có độ ổn định nhiệt tốt, có thể thích ứng với một phạm vi thay đổi nhiệt độ nhất định, cải thiện hiệu quả ứng dụng của nó.
● Thiêu kết không co ngót. Vì quá trình thiêu kết không co ngót nên không có ứng suất dư nào gây ra biến dạng hoặc nứt sản phẩm, có thể chế tạo các chi tiết có hình dạng phức tạp và độ chính xác cao.
| 重结晶碳化硅物理特性 Tính chất vật lý của Silicon Carbide kết tinh lại | |
| 性质 / Tài sản | 典型数值 / Giá trị điển hình |
| 使用温度/ Nhiệt độ làm việc (°C) | 1600°C (có oxy), 1700°C (môi trường khử) |
| SiC含量/ Hàm lượng SiC | > 99,96% |
| 自由Si含量/ Nội dung Si miễn phí | < 0,1% |
| 体积密度/Mật độ khối | 2,60-2,70g/cm33 |
| 气孔率/ Độ xốp biểu kiến | < 16% |
| 抗压强度/ Độ nén | > 600MPa |
| 常温抗弯强度/Độ bền uốn lạnh | 80-90MPa (20°C) |
| 高温抗弯强度Độ bền uốn nóng | 90-100MPa (1400°C) |
| 热膨胀系数/ Sự giãn nở vì nhiệt ở 1500°C | 4.70 10-6/°C |
| 导热系数/Độ dẫn nhiệt @1200°C | 23W/m•K |
| 杨氏模量/ Mô đun đàn hồi | 240 GPa |
| 抗热震性/ Khả năng chống sốc nhiệt | Cực kỳ tốt |
VET Năng lượng là cáinhà sản xuất thực sự của các sản phẩm than chì và silicon carbide tùy chỉnh với lớp phủ CVD,có thể cung cấpnhiềucác bộ phận tùy chỉnh cho ngành công nghiệp bán dẫn và quang điện. OĐội ngũ kỹ thuật của chúng tôi đến từ các viện nghiên cứu hàng đầu trong nước, có thể cung cấp các giải pháp vật liệu chuyên nghiệp hơndành cho bạn.
Chúng tôi liên tục phát triển các quy trình tiên tiến để cung cấp các vật liệu tiên tiến hơn,Vàđã phát minh ra một công nghệ độc quyền được cấp bằng sáng chế, có thể làm cho liên kết giữa lớp phủ và chất nền chặt chẽ hơn và ít bị bong tróc hơn.
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Tính chất vật lý cơ bản của CVD SiClớp phủ | |
| 性质 / Tài sản | 典型数值 / Giá trị điển hình |
| 晶体结构 / Cấu trúc tinh thể | Giai đoạn β của FCC多晶, 主要为（111)取向 |
| 密度 / Tỉ trọng | 3,21g/cm³ |
| 硬度 / Độ cứng | 2500 维氏硬度(tải 500g) |
| 晶粒大小 / Kích thước hạt | 2~10μm |
| 纯度 / Độ tinh khiết hóa học | 99,99995% |
| 热容 / Nhiệt dung | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Nhiệt độ thăng hoa | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Độ bền uốn | 415 MPa RT 4 điểm |
| 杨氏模量 / Môđun Young | 430 Gpa 4pt uốn cong, 1300℃ |
| 导热系数 / NhiệttôiĐộ dẫn điện | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Sự giãn nở vì nhiệt (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Chào mừng bạn đến thăm nhà máy của chúng tôi, chúng ta hãy thảo luận thêm!
