連続ウェーハボート

簡単な説明:

vet-chinaの連続ウェーハボートは、半導体製造における効率的なウェーハハンドリングを実現するために設計されています。精密に設計されたvet-chinaのソリューションは、熱安定性と耐薬品性を確保し、製造プロセスを最適化しながら、損傷を最小限に抑え、スループットを向上させます。


製品詳細

製品タグ

vet-chinaは、次世代の半導体製造向けに設計された最先端の連続ウェーハボートを発表しました。このボートは、細部までこだわって設計されたウェーハハンドリングにおいて比類のない精度を提供し、シームレスな操作を保証し、処理中の損傷リスクを大幅に低減します。

高品質の材料で作られた連続ウェーハボートは、優れた熱安定性と卓越した耐薬品性を備え、高温・過酷な化学環境に最適です。革新的な設計により、ウェーハをしっかりと保持し、完璧な位置合わせを実現し、スループットを最適化し、製造効率を向上させます。

この最先端のウェーハボートは、現代の半導体工場の厳しいニーズを満たすように設計されており、様々なウェーハサイズと構成に対応しています。vet-chinaの連続ウェーハボートを生産ラインに導入することで、パフォーマンスの向上、ダウンタイムの削減、そして歩留まりの向上が期待できます。

vet-chinaは、品質とイノベーションへのこだわりで、半導体製造の限界を押し広げる製品を提供しています。その違いをぜひご体験ください。連続ウェーハボートをお選びいただくことで、ウェーハ処理能力を新たな高みへと引き上げることができます。

連続ウェーハボート-3

再結晶シリコンカーバイドの特性

再結晶炭化ケイ素(R-SiC)は、2000℃以上の高温で生成される、ダイヤモンドに次ぐ硬度を持つ高性能材料です。高温強度、強力な耐腐食性、優れた耐酸化性、優れた耐熱衝撃性など、SiCの優れた特性を多く備えています。

● 優れた機械的特性。再結晶シリコンカーバイドは、炭素繊維よりも高い強度と剛性、高い耐衝撃性を備え、極端な温度環境でも良好な性能を発揮し、様々な状況で優れたカウンターバランス性能を発揮します。さらに、優れた柔軟性も備えており、伸張や曲げによる損傷を受けにくいため、性能が大幅に向上します。

● 高い耐食性。再結晶シリコンカーバイドは、様々な媒体に対して高い耐食性を有し、様々な腐食性媒体の浸食を防止し、機械的特性を長期間維持します。また、強力な接着力を備えているため、長寿命です。さらに、優れた熱安定性も備えており、一定範囲の温度変化に適応し、適用効果を高めます。

● 焼結収縮なし 焼結工程では収縮が発生しないため、残留応力による製品の変形や割れがなく、複雑形状や高精度な部品の製造が可能です。

重結晶炭化硅の物理的特性

再結晶シリコンカーバイドの物理的特性

性质 / 財産

典型的な数値 / 標準値

使用温度/ 動作温度(°C)

1600℃(酸素あり)、1700℃(還元環境)

SiC含有量/ SiC含有量

> 99.96%

自由Si含有量/ フリーSiコンテンツ

0.1%未満

体密度/かさ密度

2.60~2.70 g/cm3

通気率/ 見かけの気孔率

16%未満

耐圧強度/ 圧縮強度

> 600MPa

常温耐弯强度/冷間曲げ強度

80~90 MPa(20℃)

高温耐性强度熱間曲げ強度

90~100 MPa(1400℃)

熱膨張胀系数/ 1500°Cでの熱膨張

4.70 10-6/℃

导熱系数/熱伝導率(1200°C)

23W/m•K

杨氏模量/ 弾性率

240万気圧

耐熱震性/ 耐熱衝撃性

非常に良い

VETエネルギーは そのCVDコーティングを施したカスタマイズされたグラファイトおよび炭化ケイ素製品の真のメーカー、供給できる様々な半導体および太陽光発電産業向けのカスタマイズ部品。 O当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関出身で、より専門的な材料ソリューションを提供できます。あなたのために。

当社は、より高度な材料を提供するために、高度なプロセスを継続的に開発しています。そしてコーティングと基材の接着をより強固にし、剥離しにくくする独自の特許技術を開発しました。

CVD SiC膜の基本物理性能

CVD SiCの基本的な物理的特性コーティング

性质 / 財産

典型的な数値 / 標準値

結晶構造 / 結晶構造

FCCβ相多結晶、主である(111)取向

密度 / 密度

3.21 g/cm³

硬度 / 硬度

2500维度硬度(500g荷重)

結晶粒大小 / 粒度

2~10μm

/ 化学純度

99.99995%

熱容 / 熱容量

640 J·kg-1·K-1

昇华温度 / 昇華温度

2700℃

抗强度 / 曲げ強度

415 MPa RT 4点

杨氏模量 / ヤング率

430 Gpa 4点曲げ、1300℃

导熱系数 / サーマl導電率

300W·m-1·K-1

熱膨張胀系数 / 熱膨張率(CTE)

4.5×10-6K-1

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弊社の工場へのご訪問を心より歓迎いたします。ぜひ、さらなる話し合いをさせてください。

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