連続ウェハーボート

簡単な説明:

vet-china社のコンティグネチュアルウェーファーボートは、半導体製造における効率的なウェーハ搬送のために設計されています。精密に設計されたvet-china社のソリューションは、熱安定性と耐薬品性を確保し、生産プロセスを最適化しながら損傷を最小限に抑え、スループットを向上させます。


製品詳細

商品タグ

vet-chinaは、次世代半導体製造向けに設計された最先端の連続ウェハボートを発表しました。この綿密に設計されたボートは、ウェハハンドリングにおいて比類のない精度を実現し、シームレスな操作を保証するとともに、処理中の損傷リスクを大幅に低減します。

高品質な素材で製造されたコンティグネイトウェーファーボートは、優れた耐熱性と卓越した耐薬品性を誇り、高温環境や過酷な化学環境に最適です。革新的な設計により、ウェーハを確実に保持し、完璧な位置合わせを実現することで、スループットを最適化し、製造効率を向上させます。

この最先端のウェーハボートは、現代の半導体製造工場の厳しいニーズを満たすように設計されており、様々なウェーハサイズと構成に対応しています。vet-chinaのコンティグネチュアルウェーハボートを生産ラインに導入することで、パフォーマンスの向上、ダウンタイムの削減、歩留まりの向上が期待できます。

vet-chinaの品質と革新へのこだわりを体感してください。半導体製造の限界を押し広げる製品をお届けします。コンティグネイチュ・ウェーファー・ボートを選べば、ウェーハ処理能力を新たな高みへと引き上げることができます。

連続ウェハボート-3

再結晶炭化ケイ素の特性

再結晶炭化ケイ素(R-SiC)は、2000℃以上の高温で形成される、ダイヤモンドに次ぐ硬度を持つ高性能材料です。高温強度、優れた耐食性、優れた耐酸化性、良好な耐熱衝撃性など、SiCの多くの優れた特性を保持しています。

●優れた機械的特性。再結晶炭化ケイ素は、炭素繊維よりも強度と剛性が高く、耐衝撃性にも優れているため、極端な温度環境下でも優れた性能を発揮し、様々な状況で優れたバランス性能を発揮します。さらに、柔軟性にも優れ、伸縮や曲げによる損傷を受けにくいため、性能が大幅に向上します。

● 高い耐食性。再結晶炭化ケイ素は、様々な媒体に対して高い耐食性を持ち、様々な腐食性媒体による侵食を防ぎ、長期間にわたって機械的特性を維持し、強力な密着性を有するため、長寿命です。さらに、優れた熱安定性も備えており、一定範囲の温度変化に適応できるため、その適用効果が向上します。

●焼結は収縮しません。焼結工程では収縮しないため、残留応力による製品の変形や亀裂が発生せず、複雑な形状や高精度の部品を製造できます。

重結晶炭化硅の物理的特性

再結晶炭化ケイ素の物理的性質

性质 / 財産

典型的な数値 標準値

使用温度/ 動作温度(℃)

1600℃(酸素存在下)、1700℃(還元雰囲気下)

SiC含有量/ SiC含有量

99.96%以上

自由Si含有量/ 遊離ケイ素含有量

0.1%未満

体密度/かさ密度

2.60~2.70 g/cm3

通気率見かけの多孔度

16%未満

耐圧強度圧縮強度

600以上MPa

常温耐弯强度/冷間曲げ強度

80~90 MPa (20℃)

高温耐性强度熱間曲げ強度

90~100 MPa (1400℃)

熱膨張胀系数1500℃における熱膨張

4.70 10-6/℃

导熱系数/1200℃における熱伝導率

23W/m・K

杨氏模量弾性率

240 GPa

耐熱震性耐熱衝撃性

非常に良い

VET Energyは CVDコーティングを施したカスタムグラファイトおよび炭化ケイ素製品の実際の製造業者。供給できます様々な半導体および太陽光発電産業向けの特注部品。 O当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関出身者で構成されており、より専門的な材料ソリューションを提供できます。あなたのために。

当社は、より高度な材料を提供するために、高度なプロセスを継続的に開発しています。そして当社は、コーティングと基材との接着をより強固にし、剥離しにくくする独自の特許技術を開発しました。

CVD SiC膜の基本物理性能

CVD SiCの基本的な物理的特性コーティング

性质 / 財産

典型的な数値 標準値

結晶構造 結晶構造

FCC β相多結晶、主である(111)取向

密度 / 密度

3.21 g/cm³

硬度 硬度

2500维度硬度(500g荷重)

結晶粒大小 / 粒の大きさ

2~10μm

化学的純度

99.99995%

熱容 熱容量

640 J・kg-1・K-1

昇华温度 昇華温度

2700℃

抗强度 曲げ強度

415 MPa RT 4点

杨氏模量 ヤング率

430 GPa 4点曲げ、1300℃

导熱系数 / テルマl導電率

300W・m-1・K-1

熱膨張胀系数 熱膨張係数(CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

ぜひ当社の工場にお越しください。さらに詳しく話し合いましょう!

 

生设备

 

公司客户

 


  • 前の:
  • 次:

  • WhatsAppオンラインチャット!