เรือเวเฟอร์ต่อเนื่อง

คำอธิบายโดยย่อ:

แท่นวางเวเฟอร์แบบต่อเนื่อง (Contiguous Wafer Boat) จาก vet-china ออกแบบมาเพื่อการจัดการเวเฟอร์อย่างมีประสิทธิภาพในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ด้วยการออกแบบอย่างแม่นยำ โซลูชันของ vet-china จึงมั่นใจได้ถึงเสถียรภาพทางความร้อนและความทนทานต่อสารเคมี ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพกระบวนการผลิต ลดความเสียหาย และเพิ่มผลผลิต


รายละเอียดสินค้า

แท็กสินค้า

vet-china เปิดตัวเรือลำเลียงเวเฟอร์แบบต่อเนื่องล้ำสมัย ซึ่งได้รับการออกแบบมาเพื่อการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ยุคใหม่ เรือลำเลียงที่ได้รับการออกแบบอย่างพิถีพิถันนี้ มอบความแม่นยำที่เหนือกว่าในการจัดการเวเฟอร์ ช่วยให้การดำเนินงานเป็นไปอย่างราบรื่น และลดความเสี่ยงต่อความเสียหายระหว่างกระบวนการผลิตได้อย่างมาก

ผลิตจากวัสดุคุณภาพสูง แท่นวางเวเฟอร์แบบต่อเนื่อง (Contiguous Wafer Boat) มีเสถียรภาพทางความร้อนที่ดีเยี่ยมและทนทานต่อสารเคมีเป็นพิเศษ ทำให้เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและสารเคมีรุนแรง การออกแบบที่เป็นนวัตกรรมใหม่ช่วยให้เวเฟอร์ถูกยึดไว้อย่างแน่นหนาและจัดเรียงอย่างสมบูรณ์แบบ เพิ่มประสิทธิภาพการผลิตและประสิทธิผลสูงสุด

เครื่องลำเลียงเวเฟอร์ล้ำสมัยนี้ได้รับการออกแบบมาเพื่อตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์สมัยใหม่ รองรับเวเฟอร์ขนาดและรูปแบบต่างๆ มากมาย การนำเครื่องลำเลียงเวเฟอร์แบบต่อเนื่อง (Contiguous Wafer Boat) จาก vet-china มาใช้ในสายการผลิตของคุณ จะช่วยเพิ่มประสิทธิภาพ ลดเวลาหยุดทำงาน และเพิ่มอัตราผลผลิตได้

สัมผัสความแตกต่างด้วยความมุ่งมั่นของ vet-china ในด้านคุณภาพและนวัตกรรม ที่ส่งมอบผลิตภัณฑ์ที่ก้าวข้ามขีดจำกัดของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เลือกใช้ Contiguous Wafer Boat และยกระดับขีดความสามารถในการประมวลผลเวเฟอร์ของคุณไปสู่ระดับใหม่

เรือเวเฟอร์แบบต่อเนื่อง-3

คุณสมบัติของซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ตกผลึกใหม่

ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ผ่านกระบวนการตกผลึกใหม่ (R-SiC) เป็นวัสดุประสิทธิภาพสูงที่มีความแข็งเป็นอันดับสองรองจากเพชร ซึ่งเกิดขึ้นที่อุณหภูมิสูงกว่า 2000℃ โดยยังคงคุณสมบัติที่ดีเยี่ยมหลายประการของ SiC ไว้ เช่น ความแข็งแรงที่อุณหภูมิสูง ความต้านทานการกัดกร่อนสูง ความต้านทานการออกซิเดชันที่ดีเยี่ยม ความต้านทานต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างฉับพลันที่ดี และอื่นๆ

● คุณสมบัติเชิงกลที่ยอดเยี่ยม ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ผ่านกระบวนการตกผลึกใหม่มีความแข็งแรงและความแข็งแกร่งสูงกว่าคาร์บอนไฟเบอร์ ทนต่อแรงกระแทกสูง สามารถทำงานได้ดีในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและต่ำมาก และสามารถสร้างสมดุลที่ดีกว่าในสถานการณ์ต่างๆ นอกจากนี้ยังมีความยืดหยุ่นที่ดีและไม่เสียหายง่ายจากการยืดและดัดงอ ซึ่งช่วยเพิ่มประสิทธิภาพได้อย่างมาก

● ความต้านทานการกัดกร่อนสูง ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ผ่านกระบวนการตกผลึกใหม่มีความต้านทานการกัดกร่อนสูงต่อสารกัดกร่อนหลายชนิด สามารถป้องกันการสึกกร่อนจากสารกัดกร่อนต่างๆ รักษาคุณสมบัติทางกลได้เป็นเวลานาน มีการยึดเกาะที่แข็งแรง ทำให้มีอายุการใช้งานยาวนานขึ้น นอกจากนี้ยังมีความเสถียรทางความร้อนที่ดี สามารถปรับตัวให้เข้ากับการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิในช่วงที่กำหนด ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพในการใช้งาน

● การเผาผนึกไม่ทำให้เกิดการหดตัว เนื่องจากกระบวนการเผาผนึกไม่ทำให้เกิดการหดตัว จึงไม่มีความเครียดตกค้างที่จะทำให้ผลิตภัณฑ์เสียรูปหรือแตกร้าว และสามารถผลิตชิ้นส่วนที่มีรูปทรงซับซ้อนและมีความแม่นยำสูงได้

重结晶碳化硅物理特性

คุณสมบัติทางกายภาพของซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ตกผลึกใหม่

性质 / คุณสมบัติ

典型数值 / มูลค่าทั่วไป

使用温度/ อุณหภูมิใช้งาน (°C)

1600°C (มีออกซิเจน), 1700°C (สภาพแวดล้อมแบบรีดิวซ์)

ซีซี含量/ ปริมาณ SiC

> 99.96%

自由ศรี含量/ เนื้อหา Si ฟรี

< 0.1%

体积密度/ความหนาแน่นรวม

2.60-2.70 กรัม/ซม.3

气孔率ความพรุนที่ปรากฏ

< 16%

抗压强度/ ความแข็งแรงในการรับแรงอัด

> 600เมกะปาสคาล

常温抗弯强度/ความแข็งแรงดัดเย็น

80-90 เมกะปาสคาล (20°C)

高温抗弯强度ความแข็งแรงดัดร้อน

90-100 เมกะปาสคาล (1400°C)

热膨胀系数การขยายตัวเนื่องจากความร้อนที่ 1500°C

4.70 10-6/°C

导热系数/ค่าการนำความร้อนที่ 1200°C

23ว/ม•เค

杨氏模量โมดูลัสความยืดหยุ่น

240 จีพีเอ

抗热震性/ ความทนทานต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างฉับพลัน

ดีเยี่ยม

VET Energy คือ ที่ผู้ผลิตตัวจริงของผลิตภัณฑ์กราไฟต์และซิลิคอนคาร์ไบด์แบบสั่งทำพิเศษเคลือบด้วย CVDสามารถจัดหาได้หลากหลายชิ้นส่วนสั่งทำพิเศษสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และพลังงานแสงอาทิตย์ Oทีมงานด้านเทคนิคของเรามาจากสถาบันวิจัยชั้นนำของประเทศ สามารถนำเสนอโซลูชันด้านวัสดุที่เป็นมืออาชีพมากยิ่งขึ้นสำหรับคุณ.

เราพัฒนาปรับปรุงกระบวนการขั้นสูงอย่างต่อเนื่องเพื่อจัดหาวัสดุที่ล้ำสมัยยิ่งขึ้นและได้คิดค้นเทคโนโลยีพิเศษที่ได้รับการจดสิทธิบัตร ซึ่งสามารถทำให้การยึดเกาะระหว่างสารเคลือบและพื้นผิวแน่นหนาขึ้นและหลุดลอกยากขึ้น

โรคหลอดเลือดหัวใจ SiC薄膜基本物理性能

คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของ CVD SiCการเคลือบ

性质 / คุณสมบัติ

典型数值 / มูลค่าทั่วไป

晶体结构 / โครงสร้างผลึก

เฟส FCC β多晶,主要为(111)取向

密度 / ความหนาแน่น

3.21 กรัม/ซม³

硬度 / ความแข็ง

2,500 กระป๋อง (โหลด 500 กรัม)

晶粒大小 / ขนาดเมล็ด

2~10 ไมโครเมตร

纯度 / ความบริสุทธิ์ทางเคมี

99.99995%

热容 / ความจุความร้อน

640 จูล·กก.-1·K-1

升华温度 อุณหภูมิการระเหิด

2700℃

抗弯强度 / ความแข็งแรงดัดงอ

415 MPa RT 4 จุด

杨氏模量 โมดูลัสของยัง

430 GPa ดัด 4 จุด 1300℃

导热系数 / เทอร์มาการนำไฟฟ้า

300 วัตต์·เมตร-1·K-1

热膨胀系数 / การขยายตัวทางความร้อน (CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

ยินดีต้อนรับท่านเข้าเยี่ยมชมโรงงานของเราอย่างอบอุ่น มาพูดคุยกันเพิ่มเติมเถอะ!

 

生产设备

 

公司客户

 


  • ก่อนหน้า:
  • ต่อไป:

  • แชทออนไลน์ผ่าน WhatsApp!