vet-china нь дараагийн үеийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн зориулалтаар зохион бүтээгдсэн хамгийн сүүлийн үеийн Contiguous Wafer Boat-ийг танилцуулж байна. Энэхүү нямбай хийцтэй завь нь вафлитай харьцахдаа хосгүй нарийвчлалтай бөгөөд үйл ажиллагааг жигд болгож, боловсруулалтын явцад гэмтэх эрсдлийг эрс бууруулдаг.
Өндөр чанартай материалаар бүтээгдсэн Contiguous Wafer Boat нь маш сайн дулааны тогтвортой байдал, онцгой химийн эсэргүүцэлтэй тул өндөр температур болон хатуу ширүүн химийн орчинд тохиромжтой. Үүний шинэлэг загвар нь ваферуудыг найдвартай барьж, төгс байрлуулж, дамжуулах чадварыг оновчтой болгож, үйлдвэрлэлийн үр ашгийг нэмэгдүүлдэг.
Энэхүү дэвшилтэт вафли завийг орчин үеийн хагас дамжуулагч үйлдвэрүүдийн эрэлт хэрэгцээг хангах зорилгоор бүтээсэн бөгөөд янз бүрийн хэмжээ, тохиргоог дэмждэг. Vet-china-ийн Contiguous Wafer Boat-ийг үйлдвэрлэлийн шугамдаа нэгтгэснээр та гүйцэтгэлийг сайжруулж, зогсолтын хугацааг багасгаж, ургацын хэмжээг нэмэгдүүлэх боломжтой.
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн хил хязгаарыг туулсан бүтээгдэхүүнүүдийг нийлүүлдэг vet-china-ийн чанар, инновацид тууштай хандахын ялгааг мэдрээрэй. Contiguous Wafer Boat-г сонгоод, вафли боловсруулах чадвараа шинэ өндөрлөгт гаргаарай.
Дахин талсжуулсан цахиурын карбидын шинж чанарууд
Дахин талсжуулсан цахиурын карбид (R-SiC) нь 2000°C-ээс дээш өндөр температурт үүсдэг алмазын дараа ордог хатуулагтай өндөр хүчин чадалтай материал юм. Энэ нь өндөр температурын бат бэх, зэврэлтэнд тэсвэртэй, исэлдэлтэд маш сайн тэсвэртэй, дулааны цохилтод сайн тэсвэртэй гэх мэт SiC-ийн олон маш сайн шинж чанарыг хадгалдаг.
● Маш сайн механик шинж чанартай. Дахин талсжуулсан цахиурын карбид нь нүүрстөрөгчийн шилэн эсээс илүү бат бөх, хатуулагтай, цохилтод тэсвэртэй, хэт өндөр температурын орчинд сайн гүйцэтгэл үзүүлж, янз бүрийн нөхцөлд илүү сайн тэнцвэржүүлэгч гүйцэтгэл үзүүлж чаддаг. Үүнээс гадна, энэ нь сайн уян хатан чанартай бөгөөд суналт болон нугалахад амархан гэмтдэггүй тул гүйцэтгэлийг нь эрс сайжруулдаг.
● Зэврэлтэнд тэсвэртэй. Дахин талсжуулсан цахиурын карбид нь янз бүрийн орчинд зэврэлтэнд тэсвэртэй, янз бүрийн зэврэлтээс хамгаалах орчинд элэгдэлд орохоос сэргийлж, механик шинж чанараа удаан хугацаанд хадгалж, хүчтэй наалддаг тул ашиглалтын хугацааг уртасгадаг. Үүнээс гадна, дулааны тогтвортой байдал сайтай, тодорхой температурын өөрчлөлтөд дасан зохицож, хэрэглээний үр нөлөөгөө сайжруулдаг.
● Шахмалжилт агшихгүй. Шахмалжилтын процесс агшихгүй тул үлдэгдэл стресс нь бүтээгдэхүүний хэв гажилт эсвэл хагарал үүсгэхгүй бөгөөд нарийн төвөгтэй хэлбэртэй, өндөр нарийвчлалтай эд ангиудыг бэлтгэх боломжтой.
| 重结晶碳化硅物理特性 Дахин талсжуулсан цахиурын карбидын физик шинж чанарууд | |
| 性质 / Үл хөдлөх хөрөнгө | 典型数值 / Ердийн утга |
| 使用温度/ Ажлын температур (°C) | 1600°C (хүчилтөрөгчтэй), 1700°C (бууруулагч орчин) |
| SiC含量/ SiC контент | > 99.96% |
| 自由Си 含量/ Үнэгүй Si контент | < 0.1% |
| 体积密度/Бөөн нягтрал | 2.60-2.70 г/см33 |
| 气孔率/ Илэрхий сүвэрхэг байдал | < 16% |
| 抗压强度/ Шахалтын хүч | > 600МПа |
| 常温抗弯强度/Хүйтэн нугалах хүч | 80-90 МПа (20°C) |
| 高温抗弯强度Халуун нугалах хүч | 90-100 МПа (1400°C) |
| 热膨胀系数/ Дулааны тэлэлт @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| 导热系数/Дулаан дамжуулалт @1200°C | 23Вт/м•К |
| 杨氏模量/ Уян хатан модуль | 240 ГПа |
| 抗热震性/ Дулааны цохилтын эсэргүүцэл | Маш сайн |
Мэргэжлийн боловсролын эрчим хүч нь ньCVD бүрээстэй захиалгат бал чулуу болон цахиурын карбидын бүтээгдэхүүний жинхэнэ үйлдвэрлэгч,нийлүүлж чаднаянз бүрийнхагас дамжуулагч болон фотоэлектрик үйлдвэрлэлийн зориулалттай захиалгат эд ангиуд. OТанай техникийн баг дотоодын шилдэг судалгааны байгууллагуудаас гаралтай бөгөөд илүү мэргэжлийн материалын шийдлийг санал болгож чадначамд зориулж.
Бид илүү дэвшилтэт материалаар хангахын тулд дэвшилтэт процессуудыг тасралтгүй хөгжүүлж,мөнбүрхүүл болон суурь материалын хоорондох холбоог илүү нягтруулж, салгах магадлалыг бууруулдаг онцгой патентлагдсан технологийг боловсруулсан.
| Зүрх судасны өвчин SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC-ийн үндсэн физик шинж чанаруудбүрэх | |
| 性质 / Үл хөдлөх хөрөнгө | 典型数值 / Ердийн утга |
| 晶体结构 / Кристал бүтэц | FCC β үе шат多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Нягтрал | 3.21 г/см³ |
| 硬度 / Хатуулаг | 2500 维氏硬度（500г ачаалал） |
| 晶粒大小 / Үр тарианы хэмжээ | 2~10μm |
| 纯度 / Химийн цэвэр байдал | 99.99995% |
| 热容 / Дулааны багтаамж | 640 Ж·кг-1·К-1 |
| 升华温度 / Сублимацийн температур | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Гулзайлтын хүч | 415 МПа RT 4 цэг |
| 杨氏模量 / Янгийн модуль | 430 Gpa 4pt нугалах, 1300℃ |
| 导热系数 / ТермалЦахилгаан дамжуулах чанар | 300Вт·м-1·К-1 |
| 热膨胀系数 / Дулааны тэлэлт (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
Манай үйлдвэрт зочлохыг урьж байна, цаашид ярилцъя!
