Angrenzendes Waferboot

Ausgewähltes Bild des zusammenhängenden Waferboots

Kurze Beschreibung:

Das Contiguous Wafer Boat von vet-china ist für die effiziente Waferhandhabung in der Halbleiterfertigung konzipiert. Die präzise konstruierte Lösung von vet-china gewährleistet thermische Stabilität und chemische Beständigkeit. Dadurch werden Produktionsprozesse optimiert, Schäden minimiert und der Durchsatz erhöht.

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Produktdetail

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vet-china stellt ein hochmodernes Contiguous Wafer Boat vor, das für die nächste Generation der Halbleiterfertigung entwickelt wurde. Dieses sorgfältig konstruierte Boot bietet höchste Präzision bei der Waferhandhabung, gewährleistet reibungslose Abläufe und reduziert das Beschädigungsrisiko während der Verarbeitung deutlich.

Das Contiguous Wafer Boat besteht aus hochwertigen Materialien und zeichnet sich durch hervorragende thermische Stabilität und außergewöhnliche chemische Beständigkeit aus. Damit eignet es sich ideal für hohe Temperaturen und aggressive chemische Umgebungen. Sein innovatives Design gewährleistet sicheren Halt und perfekte Ausrichtung der Wafer. Dies optimiert den Durchsatz und steigert die Fertigungseffizienz.

Dieses hochmoderne Waferboot ist auf die hohen Anforderungen moderner Halbleiterfabriken zugeschnitten und unterstützt verschiedene Wafergrößen und -konfigurationen. Durch die Integration des Contiguous Wafer Boat von vet-china in Ihre Produktionslinie profitieren Sie von verbesserter Leistung, reduzierten Ausfallzeiten und höheren Ausbeuten.

Erleben Sie den Unterschied mit dem Engagement von vet-china für Qualität und Innovation und liefern Produkte, die die Grenzen der Halbleiterfertigung erweitern. Entscheiden Sie sich für das Contiguous Wafer Boat und heben Sie Ihre Waferverarbeitung auf ein neues Niveau.

Eigenschaften von rekristallisiertem Siliziumkarbid

Rekristallisiertes Siliziumkarbid (R-SiC) ist ein Hochleistungswerkstoff mit der höchsten Härte nach Diamant. Es entsteht bei Temperaturen über 2000 °C. Es behält viele hervorragende Eigenschaften von SiC, wie z. B. hohe Temperaturfestigkeit, hohe Korrosionsbeständigkeit, ausgezeichnete Oxidationsbeständigkeit, gute Thermoschockbeständigkeit usw.

● Hervorragende mechanische Eigenschaften. Rekristallisiertes Siliziumkarbid hat eine höhere Festigkeit und Steifigkeit als Kohlefaser, ist schlagzäh und bietet auch bei extremen Temperaturen eine gute Leistung. Es bietet in verschiedenen Situationen ein besseres Gegengewicht. Darüber hinaus ist es flexibel und lässt sich durch Dehnen und Biegen nicht so leicht beschädigen, was seine Leistung deutlich verbessert.

Hohe Korrosionsbeständigkeit. Rekristallisiertes Siliziumkarbid weist eine hohe Korrosionsbeständigkeit gegenüber verschiedenen Medien auf, verhindert Erosion durch verschiedene korrosive Medien, behält seine mechanischen Eigenschaften lange bei und verfügt über eine starke Haftung, wodurch eine längere Lebensdauer erreicht wird. Darüber hinaus weist es eine gute thermische Stabilität auf, passt sich an einen bestimmten Temperaturbereich an und verbessert so die Anwendungswirkung.

● Sintern schrumpft nicht. Da beim Sinterprozess kein Schrumpfen auftritt, entstehen keine Eigenspannungen, die zu Verformungen oder Rissen im Produkt führen. So können Teile mit komplexen Formen und hoher Präzision hergestellt werden.

重结晶碳化硅物理特性 Physikalische Eigenschaften von rekristallisiertem Siliziumkarbid
性质 / Eigentum	典型数值 / Typischer Wert
使用温度/ Arbeitstemperatur (°C)	1600°C (mit Sauerstoff), 1700°C (reduzierende Umgebung)
SiC含量/ SiC-Gehalt	> 99,96 %
自由Si含量/ Kostenloser Si-Inhalt	< 0,1 %
体积密度/Schüttdichte	2,60–2,70 g/cm³
气孔率/ Scheinbare Porosität	< 16 %
抗压强度/ Druckfestigkeit	> 600MPa
常温抗弯强度/Kaltbiegefestigkeit	80-90 MPa (20°C)
高温抗弯强度Warmbiegefestigkeit	90-100 MPa (1400°C)
热膨胀系数/ Wärmeausdehnung bei 1500 °C	4,70 10^-6/°C
导热系数/Wärmeleitfähigkeit bei 1200 °C	23W/m²K
杨氏模量/ Elastizitätsmodul	240 GPa
抗热震性/ Thermoschockbeständigkeit	Sehr gut

VET Energy ist Dieechter Hersteller von kundenspezifischen Graphit- und Siliziumkarbidprodukten mit CVD-Beschichtung,liefern kannverschiedenkundenspezifische Teile für die Halbleiter- und Photovoltaikindustrie. OUnser technisches Team kommt aus führenden inländischen Forschungseinrichtungen und kann professionellere Materiallösungen anbietenfür Sie.

Wir entwickeln kontinuierlich fortschrittliche Prozesse, um noch fortschrittlichere Materialien bereitzustellen,Undhaben eine exklusive patentierte Technologie entwickelt, die die Bindung zwischen der Beschichtung und dem Substrat fester und weniger anfällig für Ablösungen machen kann.

Herz-Kreislauf-Erkrankungen SiC薄膜基本物理性能 Grundlegende physikalische Eigenschaften von CVD-SiCBeschichtung
性质 / Eigentum	典型数值 / Typischer Wert
晶体结构 / Kristallstruktur	FCC-β-Phase多晶, 主要为（111）取向
密度 / Dichte	3,21 g/cm³
硬度 / Härte	2500 U/min (500 g Ladung)
晶粒大小 / Korngröße	2 bis 10 μm
纯度 / Chemische Reinheit	99,99995 %
热容 / Wärmekapazität	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimationstemperatur	2700℃
抗弯强度 / Biegefestigkeit	415 MPa RT 4-Punkt
杨氏模量 / Elastizitätsmodul	430 Gpa 4pt Biegung, 1300℃
导热系数 / ThermalLeitfähigkeit	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Wärmeausdehnung (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1