vet-china는 차세대 반도체 제조를 위해 설계된 최첨단 연속 웨이퍼 보트를 선보입니다. 정교하게 설계된 이 보트는 웨이퍼 핸들링에 탁월한 정밀성을 제공하여 원활한 작동을 보장하고 공정 중 손상 위험을 크게 줄여줍니다.
고품질 소재로 제작된 Contiguous Wafer Boat는 뛰어난 열 안정성과 뛰어난 내화학성을 자랑하여 고온 및 혹독한 화학 환경에 이상적입니다. 혁신적인 설계는 웨이퍼를 안전하게 고정하고 완벽하게 정렬하여 처리량을 최적화하고 제조 효율성을 향상시킵니다.
이 최첨단 웨이퍼 보트는 최신 반도체 제조 공장의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계되었으며, 다양한 크기와 구성을 지원합니다. vet-china의 Contiguous Wafer Boat를 생산 라인에 도입하면 성능 향상, 다운타임 감소, 수율 향상을 기대할 수 있습니다.
품질과 혁신에 대한 vet-china의 헌신을 통해 반도체 제조의 경계를 넓히는 제품을 제공하는 차이를 경험해 보세요. Contiguous Wafer Boat를 선택하여 웨이퍼 처리 역량을 한 단계 더 높이세요.
재결정된 탄화규소의 특성
재결정 탄화규소(R-SiC)는 2000℃ 이상의 고온에서 형성되어 다이아몬드에 이어 두 번째로 높은 경도를 가진 고성능 소재입니다. 고온 강도, 강한 내식성, 우수한 산화방지제, 우수한 열충격 저항성 등 SiC의 여러 우수한 특성을 그대로 유지합니다.
● 우수한 기계적 특성. 재결정 탄화규소는 탄소 섬유보다 강도와 강성이 높고, 내충격성이 우수하며, 극한 온도 환경에서도 우수한 성능을 발휘하고 다양한 상황에서 더 나은 균형 성능을 발휘합니다. 또한, 유연성이 뛰어나고 신축 및 굽힘에 쉽게 손상되지 않아 성능이 크게 향상됩니다.
● 높은 내식성. 재결정된 탄화규소는 다양한 매체에 대한 높은 내식성을 가지고 있어 다양한 부식성 매체의 침식을 방지하고, 기계적 특성을 장기간 유지하며, 접착력이 강하여 사용 수명이 길어집니다. 또한, 열 안정성이 우수하여 특정 온도 변화에 적응할 수 있어 적용 효과를 향상시킵니다.
● 소결 시 수축이 발생하지 않습니다. 소결 과정에서 수축이 발생하지 않으므로 잔류 응력으로 인한 제품 변형이나 균열이 발생하지 않으며, 복잡한 형상과 고정밀도의 부품을 제작할 수 있습니다.
| 中结晶碳化硅물리특성 재결정된 탄화규소의 물리적 특성 | |
| 성별 / 재산 | 典型数值 / 일반적인 값 |
| 사용온도/ 작동 온도(°C) | 1600°C(산소 존재), 1700°C(환원 환경) |
| SiC량/ SiC 함량 | > 99.96% |
| 자작Si含량/ 무료 Si 콘텐츠 | < 0.1% |
| 체감도/체적 밀도 | 2.60~2.70g/cm3 |
| 气孔率/ 겉보기 다공성 | < 16% |
| 抗压强도/ 압축 강도 | > 600엠파 |
| 常温抗弯强degree/냉간 굽힘 강도 | 80~90MPa(20°C) |
| 고온발효도열간 굽힘 강도 | 90-100MPa(1400°C) |
| 热膨胀系数/ 열팽창 @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| 导熭系数/열전도도 @1200°C | 23와트/m•K |
| 杨氏模량/ 탄성계수 | 240 GPa |
| 抗熱震性/ 열충격 저항성 | 매우 좋음 |
VET 에너지는 그만큼CVD 코팅을 사용한 맞춤형 흑연 및 실리콘 카바이드 제품의 실제 제조업체공급할 수 있습니다다양한반도체 및 태양광 산업용 맞춤형 부품. O당사의 기술팀은 국내 최고의 연구기관 출신으로 구성되어 있어 보다 전문적인 소재 솔루션을 제공할 수 있습니다.당신을 위한.
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| CVD SiC薄膜基本식물리성能 CVD SiC의 기본 물리적 특성코팅 | |
| 성별 / 재산 | 典型数值 / 일반적인 값 |
| 晶体结构 / 결정 구조 | FCC β상多晶，主要为（111) 取向 |
| 크기 / 밀도 | 3.21g/cm³ |
| 정도 / 경도 | 2500 维氏硬도(500g 부하) |
| 晶粒大小 / 입자 크기 | 2~10㎛ |
| 정도 / 화학적 순도 | 99.99995% |
| 발열 / 열용량 | 640 J·kg-1·케이-1 |
| 升华温도 / 승화 온도 | 2700℃ |
| 抗弯强島 / 굽힘 강도 | 415 MPa RT 4점 |
| 杨氏模량 / 영률 | 430 Gpa 4pt 굽힘, 1300℃ |
| 导熭系数 / 테르마엘전도도 | 300W·m-1·케이-1 |
| 热膨胀系数 / 열팽창(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
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