Barco de obleas contiguo

Breve descripción:

El sistema de manipulación continua de obleas de vet-china está diseñado para un manejo eficiente de las obleas en la fabricación de semiconductores. Fabricada con precisión, la solución de vet-china garantiza estabilidad térmica y resistencia química, optimizando los procesos de producción, minimizando los daños y aumentando el rendimiento.


Detalles del producto

Etiquetas de producto

vet-china presenta una innovadora plataforma de manipulación de obleas contiguas, diseñada para la próxima generación de fabricación de semiconductores. Esta plataforma, meticulosamente diseñada, ofrece una precisión sin precedentes en el manejo de obleas, garantizando operaciones fluidas y reduciendo significativamente el riesgo de daños durante el procesamiento.

Fabricado con materiales de alta calidad, el soporte continuo para obleas ofrece una excelente estabilidad térmica y una excepcional resistencia química, lo que lo hace ideal para entornos de alta temperatura y con productos químicos agresivos. Su diseño innovador garantiza que las obleas se sujeten de forma segura y se alineen perfectamente, optimizando el rendimiento y aumentando la eficiencia de la fabricación.

Este innovador sistema de transporte de obleas está diseñado para satisfacer las exigentes necesidades de las modernas fábricas de semiconductores, y admite obleas de diversos tamaños y configuraciones. Al incorporar el sistema de transporte de obleas contiguo de vet-china a su línea de producción, podrá disfrutar de un rendimiento superior, una reducción del tiempo de inactividad y un aumento de la productividad.

Experimente la diferencia con el compromiso de vet-china con la calidad y la innovación, ofreciendo productos que superan los límites de la fabricación de semiconductores. Elija el sistema de procesamiento de obleas contiguo y lleve sus capacidades de procesamiento de obleas a un nuevo nivel.

Barco de obleas contiguo-3

Propiedades del carburo de silicio recristalizado

El carburo de silicio recristalizado (R-SiC) es un material de alto rendimiento con una dureza solo superada por el diamante, que se forma a una temperatura superior a 2000 ℃. Conserva muchas de las excelentes propiedades del SiC, como la resistencia a altas temperaturas, la fuerte resistencia a la corrosión, la excelente resistencia a la oxidación, la buena resistencia al choque térmico, etc.

● Excelentes propiedades mecánicas. El carburo de silicio recristalizado posee mayor resistencia y rigidez que la fibra de carbono, alta resistencia al impacto y un buen desempeño en entornos de temperaturas extremas, ofreciendo un mejor equilibrio en diversas situaciones. Además, cuenta con buena flexibilidad y no se daña fácilmente al estirarse o doblarse, lo que mejora notablemente su rendimiento.

● Alta resistencia a la corrosión. El carburo de silicio recristalizado presenta una alta resistencia a la corrosión en diversos medios, previene la erosión causada por estos y mantiene sus propiedades mecánicas durante mucho tiempo. Posee una fuerte adhesión, lo que le confiere una mayor vida útil. Además, cuenta con una buena estabilidad térmica, adaptándose a un rango determinado de variaciones de temperatura y mejorando su eficacia en diversas aplicaciones.

● La sinterización no produce contracción. Dado que el proceso de sinterización no produce contracción, no se generan tensiones residuales que provoquen deformación o agrietamiento del producto, y se pueden fabricar piezas con formas complejas y de alta precisión.

重结晶碳化硅物理特性

Propiedades físicas del carburo de silicio recristalizado

性质 / Propiedad

典型数值 / Valor típico

使用温度/ Temperatura de funcionamiento (°C)

1600 °C (con oxígeno), 1700 °C (ambiente reductor)

Sic含量/ Contenido de SiC

> 99,96%

自由Si含量Contenido gratuito de Si

< 0,1%

体积密度/Densidad aparente

2,60-2,70 g/cm3

气孔率Porosidad aparente

< 16%

抗压强度/ Resistencia a la compresión

> 600MPa

常温抗弯强度/Resistencia a la flexión en frío

80-90 MPa (20 °C)

高温抗弯强度Resistencia al doblado en caliente

90-100 MPa (1400 °C)

热膨胀系数/ Expansión térmica a 1500 °C

4.70 10-6/°C

导热系数/Conductividad térmica a 1200 °C

23W/m•K

杨氏模量/ Módulo de elasticidad

240 GPa

抗热震性Resistencia al choque térmico

Extremadamente bueno

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Enfermedad cardiovascular SiC薄膜基本物理性能

Propiedades físicas básicas del SiC CVDrevestimiento

性质 / Propiedad

典型数值 / Valor típico

晶体结构 Estructura cristalina

Fase β de la FCC多晶,主要为(111)取向

密度 / Densidad

3,21 g/cm³

硬度 / Dureza

2500 libras (carga de 500 g)

晶粒大小 / Tamaño del grano

2~10 μm

纯度 Pureza química

99,99995%

热容 Capacidad calorífica

640 J·kg-1·K-1

升华温度 Temperatura de sublimación

2700℃

抗弯强度 / Resistencia a la flexión

415 MPa RT 4 puntos

杨氏模量 Módulo de Young

430 GPa, codo de 4 puntos, 1300 ℃

导热系数 / ThermalConductividad

300 W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Expansión térmica (CTE)

4,5×10-6K-1

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