המתקדםמשוט קנטיליבר SiCעבור עיבוד פרוסות, שנוצרה על ידי vet-china, מספקת פתרון מצוין לייצור מוליכים למחצה. משוט קנטיליבר זה עשוי מחומר SiC (סיליקון קרביד), והקשיות הגבוהה שלו ועמידות החום מאפשרים לו לשמור על ביצועים מצוינים בסביבות טמפרטורה גבוהות וקורוזיביות. עיצוב משוט הקנטיליבר מאפשר תמיכה אמינה של הוופל במהלך העיבוד, מה שמפחית את הסיכון לפיצול ונזק.
משוט קנטיליבר SiCהוא רכיב מיוחד המשמש בציוד לייצור מוליכים למחצה כגון תנור חמצון, תנור דיפוזיה ותנור חישול, השימוש העיקרי הוא לטעינה ופריקה של ופלים, תמיכה והובלה של ופלים במהלך תהליכים בטמפרטורה גבוהה.
מבנים נפוציםשֶׁלסיליקה קרבידcאנטי-ליברpלהתמכר: מבנה שלוחה, קבוע בקצה אחד וחופשי בקצה השני, בדרך כלל בעל עיצוב שטוח דמוי משוט.
חברת VET Energy משתמשת בחומרי סיליקון קרביד שעברו התגבשות מחדש בעלי טוהר גבוה כדי להבטיח את האיכות.
| תכונות פיזיקליות של סיליקון קרביד מגובש מחדש | |
| נֶכֶס | ערך טיפוסי |
| טמפרטורת עבודה (°C) | 1600°C (עם חמצן), 1700°C (סביבה מצמצמת) |
| תכולת SiC | > 99.96% |
| תוכן סי חינמי | < 0.1% |
| צפיפות בתפזורת | 2.60-2.70 גרם/סמ"ר3 |
| נקבוביות לכאורה | < 16% |
| חוזק דחיסה | > 600MPa |
| חוזק כיפוף קר | 80-90 מגה פסקל (20°C) |
| חוזק כיפוף חם | 90-100 מגה פסקל (1400 מעלות צלזיוס) |
| התפשטות תרמית ב-1500 מעלות צלזיוס | 4.70 10-6/°C |
| מוליכות תרמית ב-1200 מעלות צלזיוס | 23משקל/מטר•קל |
| מודול אלסטיות | 240 GPA |
| עמידות בפני הלם תרמי | טוב במיוחד |
היתרונות של משוט הקנטיליבר המתקדם של SiC לעיבוד ופלים של VET Energy הם:
יציבות בטמפרטורה גבוהה: ניתן לשימוש בסביבות מעל 1600 מעלות צלזיוס;
מקדם התפשטות תרמית נמוך: שומר על יציבות ממדית, מפחית את הסיכון לעיוות פרוסות סיליקון;
טוהר גבוה: סיכון נמוך יותר לזיהום מתכת;
-אינרטיות כימית: עמיד בפני קורוזיה, מתאים לסביבות גז שונות;
-חוזק וקשיחות גבוהים: עמיד בפני שחיקה, חיי שירות ארוכים;
מוליכות תרמית טובה: מסייעת בחימום אחיד של פרוסות סיליקון.
