2022 고품질 MOCVD 서셉터 중국에서 온라인으로 구매, Sic Graphite 에피택시 서셉터,
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당사의 SiC 코팅 흑연 서셉터는 매우 높은 순도, 균일한 코팅, 그리고 뛰어난 수명을 자랑합니다. 또한, 뛰어난 내화학성과 열 안정성을 갖추고 있습니다.
반도체용 흑연 기판에 SiC 코팅을 하면 순도가 뛰어나고 산화 분위기에 대한 저항성이 뛰어난 부품이 생산됩니다.
CVD SiC 또는 CVI SiC는 단순하거나 복잡한 설계 부품의 흑연에 적용됩니다. 코팅은 다양한 두께로, 그리고 매우 큰 부품에도 적용될 수 있습니다.
특징:
· 우수한 열충격 저항성
· 우수한 물리적 충격 저항성
· 우수한 내화학성
· 초고순도
· 복잡한 형태로 이용 가능
· 산화 분위기에서 사용 가능
기본 흑연 재료의 일반적인 특성:
| 겉보기 밀도: | 1.85g/cm3 |
| 전기 저항률: | 11 μΩm |
| 굽힘 강도: | 49MPa(500kgf/cm2) |
| 쇼어 경도: | 58 |
| 금연 건강 증진 협회: | <5ppm |
| 열전도도: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
탄소는 모든 현행 에피택시 반응기에 사용되는 서셉터와 흑연 부품을 공급합니다. 당사의 포트폴리오에는 응용 및 LPE 장치용 배럴 서셉터, LPE, CSD, Gemini 장치용 팬케이크 서셉터, 그리고 응용 및 ASM 장치용 단일 웨이퍼 서셉터가 포함됩니다. SGL은 주요 OEM과의 강력한 파트너십, 소재 전문 지식 및 제조 노하우를 결합하여 고객의 애플리케이션에 최적화된 설계를 제공합니다.
