Susceptores MOCVD de alta qualidade, disponíveis para compra online na China em 2022. Susceptores de epitaxia de grafite SiC.
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As vantagens especiais dos nossos susceptores de grafite revestidos com SiC incluem pureza extremamente alta, revestimento homogêneo e excelente vida útil. Eles também apresentam alta resistência química e estabilidade térmica.

O revestimento de SiC em substrato de grafite para aplicações em semicondutores produz uma peça com pureza superior e resistência a atmosferas oxidantes.
A deposição química de silício (SiC) por CVD ou CVI é aplicada ao grafite em peças de design simples ou complexo. O revestimento pode ser aplicado em diversas espessuras e em peças de grandes dimensões.

Características:
• Excelente resistência ao choque térmico
• Excelente resistência a impactos físicos
• Excelente resistência química
• Pureza super elevada
• Disponibilidade em formatos complexos
• Pode ser usado em atmosfera oxidante.

Propriedades típicas do material base de grafite:

A Carbon fornece susceptores e componentes de grafite para todos os reatores de epitaxia atuais. Nosso portfólio inclui susceptores cilíndricos para unidades de epitaxia aplicada e LPE, susceptores planos para unidades LPE, CSD e Gemini, e susceptores de wafer único para unidades de epitaxia aplicada e ASM. Combinando parcerias sólidas com os principais fabricantes de equipamentos originais (OEMs), conhecimento especializado em materiais e know-how de fabricação, a SGL oferece o design ideal para sua aplicação.