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I vantaggi specifici dei nostri suscettori in grafite rivestiti in SiC includono un'elevatissima purezza, un rivestimento omogeneo e un'eccellente durata. Presentano inoltre un'elevata resistenza chimica e stabilità termica.

Il rivestimento in SiC del substrato di grafite per applicazioni nel settore dei semiconduttori produce un componente con purezza superiore e resistenza all'atmosfera ossidante.
Il rivestimento in SiC CVD o CVI viene applicato alla grafite di componenti dal design semplice o complesso. Il rivestimento può essere applicato in spessori variabili e anche su componenti di grandi dimensioni.

Caratteristiche:
· Eccellente resistenza agli shock termici
· Eccellente resistenza agli urti fisici
· Eccellente resistenza chimica
· Purezza elevatissima
· Disponibilità in forme complesse
· Utilizzabile in atmosfera ossidante

Proprietà tipiche del materiale base in grafite:

Carbon fornisce suscettori e componenti in grafite per tutti i reattori di epitassia attualmente in uso. Il nostro portafoglio comprende suscettori a barile per unità applicate e LPE, suscettori a disco per unità LPE, CSD e Gemini, e suscettori a wafer singolo per unità applicate e ASM. Grazie alla combinazione di solide partnership con i principali OEM, competenze sui materiali e know-how produttivo, SGL offre la soluzione di progettazione ottimale per la vostra applicazione.