코팅용 SiC 세라믹 타겟 실리콘 카바이드 스퍼터링 타겟, SiC 막대, 기계 공학용 실리콘 막대

간단한 설명:


제품 상세 정보

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제품 설명

탄소/탄소 복합재(이하 “C / C 또는 CFC”)는 탄소를 기반으로 탄소 섬유와 그 제품(탄소 섬유 프리폼)으로 강화된 복합 소재입니다. 탄소의 관성과 탄소 섬유의 높은 강도를 모두 갖추고 있으며, 우수한 기계적 성질, 내열성, 내식성, 마찰 감쇠력, 열 및 전기 전도성을 가지고 있습니다.

CVD-SiC코팅은 구조가 균일하고, 재질이 치밀하며, 고온에 강하고, 산화에 강하고, 순도가 높고, 산·알칼리에 강하고, 유기시약에 강하고, 물리적, 화학적 특성이 안정하다는 특징이 있습니다.

고순도 흑연 소재와 비교했을 때 흑연은 400C에서 산화를 시작하는데, 이로 인해 산화로 인한 분말 손실이 발생하고, 주변 장치 및 진공 챔버의 환경 오염을 초래하며, 고순도 환경의 불순물이 증가합니다.

그러나 SiC 코팅은 1600도에서도 물리적, 화학적 안정성을 유지할 수 있어 현대 산업, 특히 반도체 산업에서 널리 사용되고 있습니다.

저희 회사는 CVD(화학기상증착) 방식으로 흑연, 세라믹 및 기타 소재 표면에 SiC 코팅 공정 서비스를 제공합니다. 탄소와 규소를 함유한 특수 가스가 고온에서 반응하여 고순도 SiC 분자를 생성하고, 이 분자들이 코팅 소재 표면에 증착되어 SIC 보호층을 형성합니다. 형성된 SIC는 흑연 기판에 단단히 결합되어 흑연 기판에 특수한 특성을 부여하여 흑연 표면을 치밀하고 다공성이 없으며 고온 내성, 내식성 및 내산화성을 유지합니다.

 흑연 표면 MOCVD 서셉터에 SiC 코팅 처리

주요 특징:

1. 고온 산화 저항성:

온도가 1600C로 높아져도 산화 저항성은 여전히 ​​매우 좋습니다.

2. 고순도: 고온 염소화 조건에서 화학 기상 증착으로 제조됨.

3. 내식성: 경도가 높고, 표면이 치밀하며, 입자가 미세합니다.

4. 내식성: 산, 알칼리, 염 및 유기 시약.

 

CVD-SIC 코팅의 주요 사양:

SiC-CVD

밀도

(g/cc)

3.21

굽힘 강도

(엠파)

470

열팽창

(10-6/K)

4

열전도도

(W/mK)

300

상세 이미지

흑연 표면 MOCVD 서셉터에 SiC 코팅 처리흑연 표면 MOCVD 서셉터에 SiC 코팅 처리흑연 표면 MOCVD 서셉터에 SiC 코팅 처리흑연 표면 MOCVD 서셉터에 SiC 코팅 처리흑연 표면 MOCVD 서셉터에 SiC 코팅 처리

회사 정보

111

공장 장비

222

창고

333

인증

인증22

 


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