Жарым өткөргүч өнөр жайынын графит материалдарына болгон талаптары өзгөчө жогору, графиттин майда бөлүкчөлөрүнүн өлчөмү жогорку тактыкка, жогорку температурага туруктуулукка, жогорку бекемдикке, аз жоготууга жана башка артыкчылыктарга ээ, мисалы: агломерленген графит буюмдары калыпка салынат.Жарым өткөргүчтөр өнөр жайында колдонулган графит жабдуулары (анын ичинде жылыткычтар жана алардын блендерленген калыптары) кайталануучу ысытуу жана муздатуу процесстерине туруштук бериши керек болгондуктан, графит жабдууларынын иштөө мөөнөтүн узартуу үчүн, адатта, колдонулган графит материалдары туруктуу иштөөгө жана ысыкка туруктуу таасир функциясына ээ болушу керек.
01 Жарым өткөргүч кристаллдарды өстүрүү үчүн графит аксессуарлары
Жарым өткөргүч кристаллдарды өстүрүү үчүн колдонулган бардык процесстер жогорку температурада жана коррозияга туруктуу чөйрөдө иштейт. Кристалл өстүрүүчү мештин ысык зонасы, адатта, ысыкка жана коррозияга туруктуу жогорку тазалыктагы графит компоненттери, мисалы, жылыткыч, тигель, изоляция цилиндри, жетектөөчү цилиндр, электрод, тигель кармагычы, электрод гайкасы ж.б. менен жабдылган.
Биз кристалл өндүрүүчү түзүлүштөрдүн бардык графит бөлүктөрүн өз-өзүнчө же комплекттер менен, же болбосо кардардын талаптарына ылайык ар кандай өлчөмдөгү графит бөлүктөрүн жекече өндүрө алабыз. Продукциянын өлчөмүн жеринде өлчөөгө болот, ал эми даяр продукциянын күлүнүн курамы азыраак болушу мүмкүн.5ppmден ашык.
02 Жарым өткөргүч эпитаксия үчүн графит аксессуарлары
Эпитаксиалдык процесс деп монокристаллдык субстраттагы субстрат менен бирдей торчолуу жайгашууга ээ монокристаллдык материалдын катмарынын өсүшүн айтабыз. Эпитаксиалдык процессте пластина графит дискке жүктөлөт. Графит дисктин иштеши жана сапаты пластинанын эпитаксиалдык катмарынын сапатында маанилүү ролду ойнойт. Эпитаксиалдык өндүрүш тармагында көп сандаган өтө жогорку тазалыктагы графит жана SIC каптамасы бар жогорку тазалыктагы графит негизи талап кылынат.
Биздин компаниянын жарым өткөргүч эпитаксия үчүн графит базасы кеңири колдонулушка ээ, тармакта кеңири колдонулган жабдуулардын көпчүлүгүнө дал келет жана жогорку тазалыкка, бирдей каптоого, эң сонун кызмат мөөнөтүнө жана жогорку химиялык каршылыкка жана термикалык туруктуулукка ээ.
03 Иондук имплантация үчүн графит аксессуарлары
Ион имплантациясы бордун, фосфордун жана мышьяктын плазмалык нурун белгилүү бир энергияга чейин тездетүү, андан кийин аны пластина материалынын беттик катмарына куюп, беттик катмардын материалдык касиеттерин өзгөртүү процессин билдирет. Ион имплантациялоочу түзүлүштүн компоненттери эң сонун ысыкка туруктуулугу, жылуулук өткөрүмдүүлүгү, ион нурунан келип чыккан коррозияны азайтышы жана кошулманын аз болушу менен жогорку тазалыктагы материалдардан жасалышы керек. Жогорку тазалыктагы графит колдонуу талаптарына жооп берет жана ион имплантациялоочу жабдуулардын учуучу түтүгү, ар кандай тешиктери, электроддору, электрод капкактары, өткөргүчтөрү, нур терминаторлору ж.б. үчүн колдонулушу мүмкүн.
Биз ар кандай ион имплантациялоочу машиналар үчүн графит коргоочу капкак менен гана камсыз кылбастан, ошондой эле ар кандай мүнөздөмөлөрдөгү жогорку дат басууга туруктуулугу бар жогорку тазалыктагы графит электроддорун жана ион булактарын камсыздай алабыз. Колдонулуучу моделдер: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM жана башка жабдуулар. Мындан тышкары, биз дал келген керамикалык, вольфрам, молибден, алюминий буюмдарын жана капталган тетиктерди да камсыздай алабыз.
04 Графит изоляциялык материалдары жана башкалар
Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүчү жабдууларда колдонулган жылуулук изоляциялоочу материалдарга графит катуу кийиз, жумшак кийиз, графит фольга, графит кагазы жана графит аркан кирет.
Биздин бардык чийки заттарыбыз импорттолгон графит болуп саналат, аны кардардын талаптарынын белгилүү бир өлчөмүнө жараша кесүүгө же толугу менен сатууга болот.
Көмүртек-көмүртек табагы күн энергиясы менен иштеген монокристаллдык кремний жана поликристаллдык кремний элементтерин өндүрүү процессинде пленка каптоо үчүн ташуучу катары колдонулат. Иштөө принциби: кремний чипин CFC табагына салып, пленка каптоону иштетүү үчүн меш түтүгүнө жөнөтүү.
