Босоо баганатай вафер завь ба тавцан

Босоо баганатай вафли завь ба тавцан Онцлох зураг

Товч тайлбар:

vet-china компанийн босоо баганатай вафер завь ба суур нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд ваферыг зохицуулахад дээд зэргийн тогтвортой байдал, нарийвчлалыг санал болгодог. vet-china компанийн дэвшилтэт дизайны тусламжтайгаар энэхүү систем нь оновчтой уялдаа холбоо, найдвартай хадгалалтыг хангаж, үйл ажиллагааны үр ашгийг дээшлүүлж, ваферын эвдрэлийг бууруулдаг.

Нэр:SiC босоо вафли завь

Материал:Өндөр цэвэршилттэй шатсан SiC

Хүргэлтийн хугацаа:Тоо хэмжээнээс хамаарна

OEM, ODM:Дэмжлэг

Гэрчилгээ:IS09001:2015

Захиалга:1 ширхэг

Жишээ:Боломжтой

Бидэнд имэйл илгээх PDF хэлбэрээр татаж авах

Бүтээгдэхүүний дэлгэрэнгүй мэдээлэл

Бүтээгдэхүүний шошго

vet-china нь дэвшилтэт хагас дамжуулагч боловсруулалтын цогц шийдэл болох инновацийн босоо баганатай вафер завь ба суурийг танилцуулж байна. Нарийн нарийвчлалтайгаар бүтээгдсэн энэхүү вафер боловсруулах систем нь өндөр үр ашигтай үйлдвэрлэлийн орчинд чухал ач холбогдолтой хосгүй тогтвортой байдал, тэгш байдлыг хангадаг.

Босоо баганатай вафер завь ба суурийг дулааны тогтвортой байдал, химийн зэврэлтэд тэсвэртэй байдлыг баталгаажуулдаг дээд зэргийн материалаар хийсэн тул хамгийн хүнд хэцүү хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн процесст тохиромжтой. Түүний өвөрмөц босоо баганын загвар нь ваферуудыг найдвартай барьж, тээвэрлэлт болон боловсруулалтын явцад буруу байрлал үүсэх, болзошгүй эвдрэлийн эрсдлийг бууруулдаг.

vet-china-ийн босоо баганатай вафер завь ба суурийг нэгтгэснээр хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчид дамжуулах чадвар сайжирч, зогсолтын хугацаа багасч, бүтээгдэхүүний гарц нэмэгдэхийг хүлээж байна. Энэхүү систем нь янз бүрийн вафер хэмжээ, тохиргоотой нийцдэг бөгөөд үйлдвэрлэлийн янз бүрийн хэрэгцээнд уян хатан байдал, өргөтгөх боломжийг олгодог.

vet-china компанийн шилдэг чанарыг эрхэмлэдэг тул босоо баганатай вафлины завь болон тавцан бүр чанар, гүйцэтгэлийн хамгийн өндөр стандартыг хангадаг. Энэхүү дэвшилтэт шийдлийг сонгосноор та хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн үр ашиг, найдвартай байдлыг дээд зэргээр нэмэгдүүлэх ирээдүйд тэсвэртэй вафлины боловсруулалтын аргад хөрөнгө оруулалт хийж байна.

Дахин талсжуулсан цахиурын карбидын шинж чанарууд

Дахин талсжуулсан цахиурын карбид (R-SiC) нь 2000°C-ээс дээш өндөр температурт үүсдэг алмазын дараа ордог хатуулагтай өндөр хүчин чадалтай материал юм. Энэ нь өндөр температурын бат бэх, зэврэлтэнд тэсвэртэй, исэлдэлтэд маш сайн тэсвэртэй, дулааны цохилтод сайн тэсвэртэй гэх мэт SiC-ийн олон маш сайн шинж чанарыг хадгалдаг.

● Маш сайн механик шинж чанартай. Дахин талсжуулсан цахиурын карбид нь нүүрстөрөгчийн шилэн эсээс илүү бат бөх, хатуулагтай, цохилтод тэсвэртэй, хэт өндөр температурын орчинд сайн гүйцэтгэл үзүүлж, янз бүрийн нөхцөлд илүү сайн тэнцвэржүүлэгч гүйцэтгэл үзүүлж чаддаг. Үүнээс гадна, энэ нь сайн уян хатан чанартай бөгөөд суналт болон нугалахад амархан гэмтдэггүй тул гүйцэтгэлийг нь эрс сайжруулдаг.

● Зэврэлтэнд тэсвэртэй. Дахин талсжуулсан цахиурын карбид нь янз бүрийн орчинд зэврэлтэнд тэсвэртэй, янз бүрийн зэврэлтээс хамгаалах орчинд элэгдэлд орохоос сэргийлж, механик шинж чанараа удаан хугацаанд хадгалж, хүчтэй наалддаг тул ашиглалтын хугацааг уртасгадаг. Үүнээс гадна, дулааны тогтвортой байдал сайтай, тодорхой температурын өөрчлөлтөд дасан зохицож, хэрэглээний үр нөлөөгөө сайжруулдаг.

● Шахмалжилт агшихгүй. Шахмалжилтын процесс агшихгүй тул үлдэгдэл стресс нь бүтээгдэхүүний хэв гажилт эсвэл хагарал үүсгэхгүй бөгөөд нарийн төвөгтэй хэлбэртэй, өндөр нарийвчлалтай эд ангиудыг бэлтгэх боломжтой.

重结晶碳化硅物理特性 Дахин талсжуулсан цахиурын карбидын физик шинж чанарууд
性质 / Үл хөдлөх хөрөнгө	典型数值 / Ердийн утга
使用温度/ Ажлын температур (°C)	1600°C (хүчилтөрөгчтэй), 1700°C (бууруулагч орчин)
SiC含量/ SiC контент	> 99.96%
自由Си 含量/ Үнэгүй Si контент	< 0.1%
体积密度/Бөөн нягтрал	2.60-2.70 г/см3³
气孔率/ Илэрхий сүвэрхэг байдал	< 16%
抗压强度/ Шахалтын хүч	> 600МПа
常温抗弯强度/Хүйтэн нугалах хүч	80-90 МПа (20°C)
高温抗弯强度Халуун нугалах хүч	90-100 МПа (1400°C)
热膨胀系数/ Дулааны тэлэлт @1500°C	4.70 10^-6/°C
导热系数/Дулаан дамжуулалт @1200°C	23Вт/м•К
杨氏模量/ Уян хатан модуль	240 ГПа
抗热震性/ Дулааны цохилтын эсэргүүцэл	Маш сайн

Мэргэжлийн боловсролын эрчим хүч нь ньCVD бүрээстэй захиалгат бал чулуу болон цахиурын карбидын бүтээгдэхүүний жинхэнэ үйлдвэрлэгч,нийлүүлж чаднаянз бүрийнхагас дамжуулагч болон фотоэлектрик үйлдвэрлэлийн зориулалттай захиалгат эд ангиуд. OТанай техникийн баг дотоодын шилдэг судалгааны байгууллагуудаас гаралтай бөгөөд илүү мэргэжлийн материалын шийдлийг санал болгож чадначамд зориулж.

Бид илүү дэвшилтэт материалаар хангахын тулд дэвшилтэт процессуудыг тасралтгүй хөгжүүлж,мөнбүрхүүл болон суурь материалын хоорондох холбоог илүү нягтруулж, салгах магадлалыг бууруулдаг онцгой патентлагдсан технологийг боловсруулсан.

Зүрх судасны өвчин SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC-ийн үндсэн физик шинж чанаруудбүрэх
性质 / Үл хөдлөх хөрөнгө	典型数值 / Ердийн утга
晶体结构 / Кристал бүтэц	FCC β үе шат多晶，主要为（111）取向
密度 / Нягтрал	3.21 г/см³
硬度 / Хатуулаг	2500 维氏硬度（500г ачаалал）
晶粒大小 / Үр тарианы хэмжээ	2~10μm
纯度 / Химийн цэвэр байдал	99.99995%
热容 / Дулааны багтаамж	640 Ж·кг^-1·К^-1
升华温度 / Сублимацийн температур	2700℃
抗弯强度 / Гулзайлтын хүч	415 МПа RT 4 цэг
杨氏模量 / Янгийн модуль	430 Gpa 4pt нугалах, 1300℃
导热系数 / ТермалЦахилгаан дамжуулах чанар	300Вт·м^-1·К^-1
热膨胀系数 / Дулааны тэлэлт (CTE)	4.5×10^-6K^-1