Вафер боловсруулах өндөр цэвэршилттэй кварц завь

Кварцын вафли завьнь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл, фотоволтайк эсийн үйлдвэрлэл, дэвшилтэт материалын судалгаа, хөгжүүлэлтийн гол хэрэгсэл бөгөөд өндөр температурын процесст тогтвортой вафли шилжүүлэх, байрлуулах зориулалттай. Энэхүү бүтээгдэхүүн нь хэт өндөр цэвэршилттэй хайлуулсан цахиур (SiO2)-аар хийгдсэн бөгөөд маш сайн температурт тэсвэртэй, химийн тогтвортой, хэт бага металлын бохирдлын шинж чанартай, диффузийн зуух, исэлдэлтийн зуух, PECVD/LPCVD болон бусад тоног төхөөрөмжид тохиромжтой, вафли бүрхүүл, ионы суулгац, өндөр температурт шарах болон бусад цөмийн процесст өргөн хэрэглэгддэг.

VET Energy компанийн кварц завины гол давуу талууд:

• Хэт өндөр цэвэршилттэй материал
  Цэвэршилт ≥99.99%: Хольцын агууламж (Na, K, Fe гэх мэт) <5ppm, вафлийн бохирдлоос зайлсхийж, чипсийн гарцыг баталгаажуулна.
  Хур тунадас ба шингээлт бага: гадаргууг хэт өнгөлсөн (Ra≤0.4μm) бөгөөд ингэснээр бөөмсийн наалдац болон хийн үлдэгдлийг бууруулдаг.
• Өндөр температурын тогтвортой байдал
  Температурын хязгаар: Урт хугацааны ажлын температур 1100℃, богино хугацааны оргил температур 1300℃, деформаци байхгүй, талст хур тунадас байхгүй.
  Дулааны тэлэлтийн коэффициент бага (5.5x10-7/℃), дулааны цочролд маш сайн тэсвэртэй, температурын огцом өсөлт, бууралтын процесст дасан зохицох чадвартай (жишээ нь RTP-г хурдан арчлах).
• Нарийвчилсан бүтцийн зураг төсөл
  Слотын нарийвчлал ± 0.1мм: 2”-12” хэмжээтэй вафлиг тааруулж, зайны жигд байдлын алдаа <0.05мм, вафлигуудын хооронд зөрүү байхгүй эсэхийг шалгана.
  Ачааллын өндөр багтаамж: Нэг завинд хамгийн ихдээ 50 ширхэг вафли (12 инчийн вафлитай харьцуулахад) ачаалалтай бөгөөд нимгэн вафли (≥100 мкм)-ийг тогтвортой тээвэрлэх боломжийг олгодог.
• Химийн идэвхгүй байдал
  Зэврэлтээс хамгаалах чадвар: Хүчил (HF-ээс бусад), шүлт болон органик уусгагч зэврэлтэнд тэсвэртэй, CMP цэвэрлэх процесст нийцдэг.
  Маш сайн хийн битүүмжлэл: Алдагдлын хэмжээ <5x10-10 Па м3/с, вакуум болон хамгаалалтын хийн орчинд тохиромжтой.
• Урт хугацааны амьдрал ба засвар үйлчилгээ
  Дундаж наслалт ≥ 5000 мөчлөг (хэвийн ажлын нөхцөл), гадаргууг дахин дахин цэвэрлэж, ашиглаж болох бөгөөд нийт зардлыг бууруулна.
  Модульчлагдсан загвар: хэсэгчилсэн солихыг дэмждэг (жишээ нь, завины ганц шүд), ажиллахгүй байх хугацааг багасгадаг.

Бид үйлчлүүлэгчдийн шаардлагын дагуу тунгалаг болон царцсан гадаргууг хоёуланг нь санал болгож байна:

Нинбо VET Energy Technology Co., Ltd нь өндөр зэрэглэлийн дэвшилтэт материал, графит, цахиурын карбид, керамик, SiC бүрхүүл, TaC бүрхүүл, шилэн нүүрстөрөгчийн бүрхүүл, пиролитик нүүрстөрөгчийн бүрхүүл гэх мэт гадаргуугийн боловсруулалт зэрэг материал, технологи үйлдвэрлэх, борлуулах чиглэлээр мэргэшсэн өндөр технологийн аж ахуйн нэгж бөгөөд эдгээр бүтээгдэхүүнийг фотоэлектрик, хагас дамжуулагч, шинэ эрчим хүч, металлурги гэх мэт салбарт өргөн ашигладаг.

Манай техникийн баг нь дотоодын шилдэг судалгааны байгууллагуудаас бүрддэг бөгөөд бүтээгдэхүүний гүйцэтгэл, чанарыг хангахын тулд олон патентлагдсан технологийг боловсруулсан бөгөөд үйлчлүүлэгчдэд мэргэжлийн материалын шийдлүүдийг санал болгож чадна.