Керамический нагревательный элемент из оксида алюминия AlN

Керамический нагревательный элемент из оксида алюминия AlN
В производстве полупроводников пластины необходимо обрабатывать в различных процессах, таких как осаждение тонких пленок, травление и т. д. В этих процессах пластины необходимо нагревать до определенной температуры, и к температуре предъявляются строгие требования, поскольку равномерность температуры оказывает очень большое влияние на выход продукции, а нагревательные элементы являются незаменимыми.

Керамический обогревательнепосредственно наносится на технологическую камеру и находится в прямом контакте с пластиной. Они не только несут пластину, но и обеспечивают ей стабильную и равномерную температуру процесса. Они являются ключевыми компонентами в оборудовании для осаждения тонких полупроводниковых пленок!

Керамический нагреватель включает в себя керамическое основание, которое поддерживает пластину, и цилиндрический опорный корпус на задней стороне, который ее поддерживает. В дополнение к резистивному элементу (нагревательному слою) для нагрева, внутри или на поверхности керамического основания имеются также радиочастотные электроды (RF-слой). Для достижения быстрого нагрева и охлаждения толщина керамического основания должна быть тонкой, но слишком тонкая также снизит жесткость.

Опора керамического нагревателя обычно изготавливается из керамического материала с коэффициентом теплового расширения, аналогичным коэффициенту расширения основания. Нагреватель имеет уникальную конструкцию нижней части вала для защиты клемм и проводов от воздействия плазмы и едких химических газов. Опора оснащена входной и выходной трубой для теплопередачи газа, чтобы обеспечить равномерную температуру нагревателя. Основание и опора химически связаны связующим слоем.

Керамический нагреватель может быть изготовлен из керамики, такой как нитрид алюминия (AlN), нитрид кремния (Si3N4) и оксид алюминия (Al2O3). Среди них AlN является лучшим выбором для керамических нагревателей. По сравнению с другими материалами керамика AlN от VET Energy имеет следующие характеристики:
(1) Хорошая теплопроводность;
(2) Коэффициент теплового расширения, соответствующий полупроводниковым кремниевым материалам;
(3) Хорошие механические свойства, отличная износостойкость и комплексные механические свойства превосходят свойства оксида бериллия и эквивалентны свойствам оксида алюминия;
(4) Отличные комплексные электрические свойства, отличная электроизоляция и низкие диэлектрические потери;
(5) Нетоксичен и безопасен для окружающей среды.