Усовершенствованный вакуумный патрон из пористой керамики

Усовершенствованный вакуумный патрон из пористой керамики
Вакуумный патрон из пористой керамикипредставляет собой несущую платформу, которая использует принцип вакуумной адсорбции для фиксации заготовок. Часть вакуумного зажимного приспособления, которая передает вакуум, представляет собой пористую керамическую пластину. Пористая керамическая пластина монтируется в погружном отверстии основания, а ее периферия склеивается и герметизируется с основанием. Основание изготовлено из прецизионных керамических или металлических материалов. Благодаря сочетанию металлического или керамического основания со специальной пористой керамикой конструкция внутреннего прецизионного воздуховода обеспечивает плавное и стабильное прилипание заготовки к вакуумной присоске при воздействии отрицательного давления.

Благодаря чрезвычайно мелким порам в пористой керамике поверхность заготовки может быть прикреплена к вакуумной присоске без каких-либо неблагоприятных факторов, таких как царапины или вмятины, вызванные отрицательным давлением.

Характеристики вакуумного зажимного приспособления из пористой керамики:
① Плотная и однородная структура: устойчива к адсорбции кремниевого порошка/шлифовальных частиц, легко чистится.
② Высокая прочность и износостойкость: отсутствие деформации во время шлифования, минимизация сколов/фрагментации кромок.
③ Длительный срок службы: отличное сохранение формы поверхности, длительный цикл правки с минимальным съемом.
④ Высокая изоляция: устраняет статическое электричество.
⑤ Многоразовое использование и простота в обработке: отсутствие трещин и сколов при шлифовке, возможность многократного использования.
⑥ Непылящий и стабильный: полностью спеченный, без выбросов частиц.
⑦ Легкость: пористая структура значительно снижает вес.
⑧ Химическая стойкость: возможность настройки для агрессивных сред посредством контроля материала/процесса.

Керамический вакуумный присос против традиционной металлической присоски:

Керамические вакуумные присоски в области полупроводников
Керамические вакуумные зажимные приспособления служат в качестве зажимных и транспортировочных инструментов в производстве полупроводниковых пластин. Они характеризуются высокой плоскостностью и параллельностью, плотной и однородной структурой, высокой прочностью, хорошей воздухопроницаемостью, равномерной силой адсорбции и легкой правкой. Эти характеристики делают их пригодными для таких процессов в производстве полупроводниковых пластин, как утончение, нарезка, шлифовка, очистка и обработка. Они эффективно решают такие проблемы, как импринтинг пластин, электростатический пробой чипов и загрязнение частицами, достигая чрезвычайно высокого качества обработки полупроводниковых пластин в практических приложениях.