Усовершенствованный пористый керамический вакуумный патрон

Усовершенствованный пористый керамический вакуумный патрон
Пористый керамический вакуумный патронЭто несущая платформа, использующая принцип вакуумной адсорбции для фиксации заготовок. Часть вакуумного зажима, передающая вакуум, представляет собой пористую керамическую пластину. Пористая керамическая пластина устанавливается в углубление основания, а её периферия приклеивается и герметизируется с основанием. Основание изготовлено из прецизионных керамических или металлических материалов. Благодаря сочетанию металлического или керамического основания со специальной пористой керамикой, конструкция внутреннего прецизионного воздуховода обеспечивает плавное и стабильное прилегание заготовки к вакуумной присоске при воздействии отрицательного давления.

Благодаря чрезвычайно мелким порам в пористой керамике, поверхность заготовки может прилегать к вакуумной присоске без каких-либо негативных последствий, таких как царапины или вмятины, вызванные отрицательным давлением.

Характеристики вакуумного зажима из пористой керамики:
① Плотная и однородная структура: препятствует адсорбции порошка кремния/шлифовальных отходов, легко чистится.
② Высокая прочность и износостойкость: отсутствие деформации при шлифовании, минимизация сколов/фрагментации кромок.
③ Длительный срок службы: Отличное сохранение формы поверхности, длительный цикл перевязки с минимальным количеством снятий.
④ Высокая теплоизоляция: устраняет статическое электричество.
⑤ Многоразовое использование и простота обработки: не трескается и не сколивается при обновлении поверхности, возможно многократное использование.
⑥ Непылящий и стабильный: Полностью спеченный, без выброса частиц.
⑦ Легкий вес: пористая структура значительно снижает вес.
⑧ Химическая стойкость: Возможность индивидуальной настройки для работы в агрессивных средах посредством контроля материала/технологического процесса.

Керамический вакуумный зажим против традиционной металлической присоски:

Керамический вакуумный зажим в полупроводниковой отрасли
Керамические вакуумные зажимы используются в качестве зажимных и транспортировочных инструментов в производстве полупроводниковых пластин. Они отличаются высокой плоскостностью и параллельностью, плотной и однородной структурой, высокой прочностью, хорошей воздухопроницаемостью, равномерной силой адсорбции и легкостью обработки. Эти характеристики делают их подходящими для таких процессов в производстве полупроводниковых пластин, как утонение, нарезка, шлифовка, очистка и транспортировка. Они эффективно решают такие проблемы, как оттиск пластин, электростатический пробой чипов и загрязнение частицами, обеспечивая чрезвычайно высокое качество обработки полупроводниковых пластин в практических приложениях.