Қаиқи вафлии кварцяк асбоби калидии интиқолдиҳанда дар истеҳсоли нимноқилҳо, истеҳсоли ҳуҷайраҳои фотоэлектрикӣ ва таҳқиқот ва таҳияи маводҳои пешрафта мебошад, ки барои интиқоли устувори вафлҳо ва ҷойгиркунии онҳо дар равандҳои ҳарорати баланд тарҳрезӣ шудааст. Ин маҳсулот аз кремнийи гудохташудаи ултра-баландсифат (SiO2) сохта шудааст, ки дорои муқовимати аъло ба ҳарорат, устувории кимиёвӣ ва хусусиятҳои олудашавии ултра-паст ба металл мебошад, ки барои кӯраи диффузия, кӯраи оксидшавӣ, PECVD/LPCVD ва дигар таҷҳизот мувофиқ аст ва дар пӯшонидани вафлҳо, имплантатсияи ионҳо, тафсонидани ҳарорати баланд ва дигар равандҳои аслӣ васеъ истифода мешавад.
Афзалиятҳои асосии киштии кварсии VET Energy:
- Маводи ултра-баландсифати тозагӣ
Покии ≥99.99%: Миқдори ифлосӣ (Na, K, Fe ва ғайра) <5ppm, ки аз ифлосшавии вафл пешгирӣ мекунад ва ҳосилнокии чипро кафолат медиҳад.
Боришот ва адсорбсияи кам: сатҳ бо сайқалдиҳии супер (Ra≤0.4μm) барои кам кардани часпиши зарраҳо ва боқимондаҳои газ пӯшонида шудааст. - Устувории ҳарорати баланд
Маҳдудияти ҳарорат: Ҳарорати кории дарозмуддат 1100℃, авҷи кӯтоҳмуддат 1300℃, деформатсия нест, боришоти булӯрӣ вуҷуд надорад.
Коэффисиенти пасти васеъшавии гармӣ (5.5x10-7/℃), муқовимати аълои зарбаи гармӣ, мутобиқшаванда ба раванди баландшавӣ ва пастшавии босуръати ҳарорат (масалан, гармкунии босуръати RTP). - Тарроҳии дақиқи сохторӣ
Дақиқии слот ± 0.1 мм: мувофиқ кардани вафлиҳои 2 дюйм то 12 дюйм, хатогии якхелагии фосила <0.05 мм, кафолат медиҳад, ки вафлиҳо ягон ҷойивазкунӣ надоранд.
Иқтидори баланди борбардорӣ: Бори ҳадди аксар 50 вафли (ба андозаи вафлиҳои 12 дюйм) дар як қаиқ, ки интиқоли устувори вафлиҳои тунукро (≥100 мкм) дастгирӣ мекунад. - Инерсияи кимиёвӣ
Муқовимат ба зангзанӣ: Ба зангзании кислота (ба истиснои HF), ишқорӣ ва ҳалкунандаи органикӣ тобовар аст, ки бо раванди тозакунии CMP мувофиқ аст.
Зичии аълои газ: суръати шоридан <5x10-10 Па.м3/с, барои муҳитҳои газии вакуумӣ ва муҳофизатӣ мувофиқ аст. - Мӯҳлати дароз ва нигоҳдорӣ
Давомнокии умр ≥ 5000 давра (шароити муқаррарии корӣ), сатҳро такроран тоза ва истифода бурдан мумкин аст, ки арзиши умумиро кам мекунад.
Тарҳи модулӣ: ивазкунии қисманро дастгирӣ мекунад (масалан, як дандони қаиқ), ки вақти бекористиро кам мекунад.
Мо мувофиқи талаботи муштарӣ ҳам рӯйпӯшҳои шаффоф ва ҳам яхбастаро пешниҳод менамоем:
Ширкати Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd як корхонаи баландтехнологӣ мебошад, ки ба истеҳсол ва фурӯши маводҳои пешрафтаи баландсифат, мавод ва технологияҳо, аз ҷумла графит, карбиди кремний, керамика, коркарди сатҳӣ ба монанди рӯйпӯши SiC, рӯйпӯши TaC, рӯйпӯши карбонии шишагин, рӯйпӯши карбонии пиролитикӣ ва ғайра тамаркуз мекунад ва ин маҳсулот дар соҳаҳои фотоэлектрикӣ, нимноқилҳо, энергияи нав, металлургия ва ғайра васеъ истифода мешаванд.
Гурӯҳи техникии мо аз муассисаҳои пешбари тадқиқотии ватанӣ иборат аст ва технологияҳои сершумори патентшударо барои таъмини самаранокӣ ва сифати маҳсулот таҳия кардаанд ва инчунин метавонанд ба муштариён роҳҳои ҳалли касбии маводро пешниҳод кунанд.
