Субстрати графитии бо карбиди кремний пӯшонидашуда барои нимноқилҳо, MOCVD Susceptor

Тавсифи мухтасар:

VET Energy SiC Coated Susceptor маҳсулоти баландсифат аст, ки барои таъмини кори доимӣ ва боэътимод дар муддати тӯлонӣ тарҳрезӣ шудааст. Он дорои муқовимати хеле хуби гармӣ ва якрангии гармӣ, тозагии баланд ва муқовимати эрозия мебошад, ки онро барои коркарди вафлҳо роҳи ҳалли беҳтарин мегардонад.

Ҷои пайдоиш:Чжэцзян, Чин (Шитъа)

Таркиби химиявӣ:Графити пӯшонидашудаи SiC

Қувваи хамшавӣ:470Mpa

Гузаронидани гармӣ:300 Вт/мК

Сифат:комил

Вазифа:CVD-SiC

Ариза:Нимноқил / Фотоэлектрикӣ

Зичӣ:3.21 г/см3

Васеъшавии гармӣ:4 10-6/K

Хокистар: <5ppm

Намуна:Дастрас

Коди HS:6903100000

Ба мо почтаи электронӣ фиристед Ҳамчун PDF зеркашӣ кунед

Тафсилоти маҳсулот

Барчаспҳои маҳсулот

Ҳассосияти VET Energy SiCяк роҳи ҳалли баландсифат аст, ки бодиққат тарҳрезӣ шудааст, то кори боэътимод ва доимиро дар тӯли мӯҳлати тӯлонӣ таъмин намояд ва ба талаботи қатъии истеҳсоли нимноқилҳо ҷавобгӯ бошад. Ин маҳсулот бо муқовимати истисноии гармӣ, якрангии гармии аъло ва тозагии баланд, барои интиқолдиҳандагони вафли MOCVD ва дигар барномаҳои коркарди вафли, ки устуворӣ ва дақиқиро талаб мекунанд, беҳтарин аст. Муқовимати қавии он ба эрозия онро интихоби олӣ барои муҳитҳое мегардонад, ки дар онҳо устуворӣ ва устувории кимиёвӣ муҳим аст.

МоСусептори графити бо пӯшонидашудаи SiCҳамчун ҷузъи муҳим дар раванди истеҳсоли нимноқилҳо қарор дорад ва аз технологияи истисноии патентшудаи VET Energy барои ноил шудан ба тозагии хеле баланд, якрангии аълои рӯйпӯш ва устувории гармии назаррас истифода мебарад. Рӯйпӯш субстрати графитро бо муқовимати баланди кимиёвӣ ва мӯҳлати хизмати назарраси дарозтар тақвият медиҳад. Садоқати VET Energy ба сифат боиси ба вуҷуд омадани сесептори бо пӯшонидашудаи SiC шудааст, ки ба ниёзҳои таҳаввулёбандаи бозори интиқолдиҳандаҳои вафли графитӣ ҷавобгӯ буда, стандарти баландро барои сесепторҳои графити бо пӯшонидашудаи SiC муқаррар мекунад, ки дар...Равандҳои MOCVD.

Хусусиятҳои асосии сусепторҳои бо пӯшонидашудаи SiC:

1. Муқовимати оксидшавӣ дар ҳарорати баланд:Ба ҳарорати то 1700℃ тоб оваред, ки онро барои шароити коркарди шадид мувофиқ мегардонад.

2. Покӣ ва якрангии гармӣ:Натиҷаҳои устуворро таъмин мекунад, ки барои он муҳим астСанҷиши MOCVDва дигар барномаҳои дақиқ.

3. Муқовимати аъло ба зангзанӣ:Ба кислотаҳо, ишқорҳо, намакҳо ва реагентҳои гуногуни органикӣ тобовар аст.

4. Сахтии сатҳи баландтар:Сатҳи паймон бо зарраҳои майда, ки устуворӣ ва дарозумрии баландтарро таъмин мекунанд.

5. Мӯҳлати хизматрасонӣ дароз карда шудааст:Барои кори устувор тарҳрезӣ шудааст, ки дар муҳитҳои сахти коркард аз сусепторҳои стандартии бо пӯшонидашудаи кремний карбидӣ беҳтар аст.

Ҳамчун истеҳсолкунандаи пешсаф, VET Energy дар истеҳсоли графити фармоишӣ тахассус дорад.маҳсулоти карбиди кремнийбо имконоти гуногуни пӯшиш, аз ҷумлаПӯшиши SiC, Пӯшиши TaC, пӯшиши карбонии шишагинва рӯйпӯши карбони пиролитикӣ. Мо бо ифтихор ба саноати нимноқилҳо ва фотоэлектрикӣ хизмат мерасонем ва сусепторҳои графити бо пӯшиши карбиди кремнийро пешниҳод менамоем, ки ба талаботи мушаххаси амалиётӣ ҷавобгӯ мебошанд.

Гурӯҳи техникии мо, ки бо таҷриба аз муассисаҳои пешбари тадқиқотии ватанӣ кор мекунад, ба пешбурди роҳҳои ҳалли моддӣ барои ниёзҳои рӯ ба инкишоф бахшида шудааст.Сусептори графити бо пӯшонидашудаи SiCбозор. Тавассути раванди патентшудаи мо, VET Energy технологияи беназиреро таҳия кардааст, ки мустаҳкамии пайвандро байни рӯйпӯши карбидии кремний ва субстрат ба таври назаррас беҳтар мекунад, хатари ҷудошавиро кам мекунад ва эътимоднокии дарозмуддатро афзоиш медиҳад.

Барномаҳо ва бартариятҳо дар коркарди нимноқилҳо

ДарПӯшиши SiC барои MOCVDимкон медиҳадсуссептори графитӣҷузъҳо барои нигоҳ доштани якпорчагӣ дар муҳити ҳарорати баланд ва зангзананда, ки барои истеҳсоли нимноқилҳои дақиқ муҳим аст. Ин ҷузъҳои графити бо пӯшонидашудаи SiC махсусан дар равандҳое, ки барои онҳо суссепторҳои бо карбиди кремний пӯшонидашуда лозиманд, арзишманданд.интиқолдиҳандаҳои вафли графитӣ, ки устувории баланди гармӣ, покӣ ва муқовимат ба эрозияи кимиёвиро талаб мекунанд.

Бо истифода аз усулҳои пешрафтаи пӯшонидани карбиди силикон, VET Energy бо пешниҳоди маҳсулоти фармоишӣ ва баландсифат, бозори интиқолдиҳандаҳои вафли графитиро дастгирӣ мекунад.Суссепторҳои графити бо пӯшонидашудаи SiCки мушкилоти мушаххаси соҳаро, аз равандҳои MOCVD то барномаҳои тозагии баланд дар соҳаи нимноқилҳо, ҳал мекунанд.