טאַק קאָוטאַד גראַפיט קרוסיבל סעלעקציע גייד

אין הויך-טעמפּעראַטור קריסטאַל וווּקס און עפּיטאַקסי/דעפּאַזישאַן ויסריכט, שפּילט אַ גראַפיט קרוציבל דריי ראָלעס אין דער זעלביקער צייט: אַ טערמישע גרענעץ, אַ רעאַקציע צובינד, און אַ פּאָטענציעלע קאַנטאַמאַניישאַן מקור. / קאָנטאַמינאַציע באַריער. דאָס איז פארוואסטאַק-באדעקטע גראַפיט קרוסיבלסווערן מער און מער געוויינטלעך—א TaC שיכט אָפפערט העכערע טעמפּעראַטור קייפּאַביליטי, שטאַרקערע קעראָוזשאַן קעגנשטעל, און בעסערע אונטערדריקונג פון אומריינקייט מיגראציע, אויפהאלטן די מעלות פון גראַפיט בשעת פארמינערן זיינע שוואכקייטן.

1) וואָסערע פּראָבלעמען קען אַ TaC קאָוטינג סאָלווען?

א. קעראָוזשאַן קעגנשטעל
נעמענדיג אלס א ביישפיל SiC וואוקס און פארבונדענע עפיטאקסיע פראצעסן, קענען סיליקאן-אנטהאלטנדיקע מינים ביי הויכע טעמפעראטור - צוזאמען מיט וואסערשטאף און מעגליך האלאגן כעמיעס - פירן צו קאנטינעווער קעראזיע און פערפארמענס פארערגערונג פון גראפיט קאמפאנענטן. אינדוסטריע באריכטן באמערקן אויך אז אין סיליקאן-רייכע, קעראזיווע אטמאספערע העכער 2000°C, קענען גראפיט קרוסיבלס שטארק פארערגערן נאך בלויז א פאר ציקלען, בשעת באדעקונגען ווי TaC קענען באדייטנד פארבעסערן די הארטקייט.

ב. פארקלענערטע פּאַרטיקלען און קאַרבאָן מיגראַציע
אזוי שנעל ווי גראַפיט פּאַרטיקלען אדער קאַרבאָן מיגראַציע אַרייַן די וווּקס צובינד אָדער דעפּאָזיציע זאָנע, קענען זיי גלייך ווייַזן זיך ווי חסרונות, ינקלוזשאַנז, העכער דיסלאָוקיישאַן געדיכטקייַט, און קען אפילו פאַרשאַפן יריווערסאַבאַל קאַמער קאַנטאַמאַניישאַן. ווי אַ באַריער שיכט, די ציל פון TaC איז צו מאַכן טערמישע פעסטקייַט און צובינד ינערטנאַס מער קאַנטראָולדאַבאַל. אָנגייענדיק שטודיעס אויך באַריכטן TaC קאָוטינגז העלפֿן סאַפּרעס גראַפיט סובלימאַטיאָן / סטרוקטוראַל דעגראַדאַטיאָן און פֿאַרבעסערן טערמישע פעסטקייַט אין קריסטאַל וווּקס ינווייראַנמאַנץ. ②

ג. א ברייטערע פּראָצעס פֿענצטער
אסאך מענטשן באהאנדלען קרוסיבלס ווי פארברויכבארע זאכן, אבער אין פראקטיק דינען זיי ווי..."גרענעץ-באדינגונג דזשענעראַטאָרן."ווען די קרוציבל ייבערפלאַך בלייבט סטאַביל, ווערן די טערמישע פעלד און גאַז-פאַזע רעאַקציעס מער איבערחזרנדיק. ווען קאָוטינג אַדכיזשאַן איז נישט גענוג - וואָס פירט צו מיקראָקראַקס אָדער לאָקאַליזירטע דורכדרינגונג - הייבט זיך אָפט דאָרט אָן פּראָצעס דריפט. דעדאַקייטאַד פאָרשונג אויף קאָוטינג-גראַפיט אינטערפיישאַל באַנדינג שטאַרקייט האט שוין דיסקוטירט עס ווי אַ שליסל וועריאַבל וואָס אַפעקטירט איין-קריסטאַל וווּקס פאָרשטעלונג.

2) וואו איז עס מערסטן פאסיג?

• אולטרא-הויך-טעמפּעראַטור, העכסט קעראָוסיוו אַטמאָספערעס

• וואוקס/דעפאזיציע טריט זענען גאר סענסיטיוו צו פארטיקלען און מעטאלישע אומריינקייטן

• הויך-וואָלומען פּראָדוקציע ליניעס וואָס דאַרפן אַ לענגערע לעבן און אַ שטרענגערע קאָנסיסטענסי

3) ווי אזוי אויסצוקלײַבן אַ טאַק קאָוטאַד גראַפֿיט קרוציבל

TaC קאָוטינג איז נישט קיין איינציקער "איין גרייס פּאַסט אַלעמען" פּראָצעס וועג. ניצנדיק CVD ווי אַ בייַשפּיל, האט די ליטעראַטור צוגעשטעלט אַ רעלאַטיוו סיסטעמאַטישע דיסקוסיע וועגן CVD דעפּאָזיציע און פאָרשטעלונג כאַראַקטעריזאַציע פון ​​TaC/SiC אויף גראַפיט סאַבסטראַטן.

פֿאַרשידענע וועגן פֿירן צו פֿאַרשידענע רעזולטאַטן:

• געדיכטקייט און דורכדרינגלעכקייט:וואָס דיכטער די באַדעקונג, אַלץ בעסער בלאָקירט עס לאַנגזאַמע דורכדרינגונג קעראָוזשאַן דורך גאַזן/דאַמפן.

• גרעב און דרוק:ווי די גרעב וואַקסט, וואַקסט אויך די ריזיקע פון ​​טערמישן דרוק און קראַקינג, וואָס פארלאנגט בעסערע פּראָצעס קאָנטראָל.

• רעפּאַראַביליטי און קאָנסיסטענסי:מאַסע פּראָדוקציע דעפּענדס אויף באַטש-צו-באַטש קאָנסיסטענסי און צי איבעראַרבעט/איבערקאָוטינג קען געטאָן ווערן פאַרלעסלעך.

4) שליסל אינקאמינג אינספעקציע קריטעריע

• אויסזען און ייבערפלאַך צושטאַנד:לאָך אין די פיסלעך, גראָבע שטיקלעך, "סקאַלע/פיש-סקאַלע" טעקסטור, לאָקאַליזירטע פֿאַרפֿאַרבונג/פֿאַרגרייונג

• גרעב און איינהייטלעכקייט:עדזשאַז, ווינקלען, און די דנאָ זענען די געביטן וואָס זענען מערסט מסתּמא דין

• בונד שטאַרקייט / טערמישע קלאַפּ קעגנשטעל:קלאָרע טעסט מעטאָדן און אָפּוואַרף/אָפּוואַרף קריטעריאַ מוזן זיין דעפינירט

• מיקראָקראַקס און פּאָראָסיטי:(אויסגערעכנט צוזאַמען מיט די אויבנדערמאָנטע אין פּראַקטיק)

• קאנטאמינאציע קאנטראל:מעטאַלישע אומריינקייטן, האַלאָגען רעשטלעך, און פּאַרטיקל ריינקייט מדרגה זאָל אַלע זיין טרייסאַבאַל