TaC ဖြင့်အုပ်ထားသော ဂရပ်ဖိုက် Crucible ရွေးချယ်မှုလမ်းညွှန်

အပူချိန်မြင့် ပုံဆောင်ခဲများ ကြီးထွားမှုနှင့် epitaxy/deposition စက်ပစ္စည်းများတွင်၊ ဂရပ်ဖိုက် crucible သည် တစ်ပြိုင်နက်တည်း အခန်းကဏ္ဍသုံးခုမှ ပါဝင်သည်- အပူနယ်နိမိတ်၊ ဓာတ်ပြုမှုမျက်နှာပြင်နှင့် ညစ်ညမ်းမှုအရင်းအမြစ်။ / ညစ်ညမ်းမှုအတားအဆီး။ ဒါကြောင့်ပဲTaC ဖြင့် အုပ်ထားသော ဂရပ်ဖိုက် ခွက်များတိုးပွားလာနေသည် - TaC အလွှာသည် ပိုမိုမြင့်မားသော အပူချိန်စွမ်းရည်ကို ပေးစွမ်းသည်, ပိုမိုအားကောင်းသော ချေးခံနိုင်ရည်ရှိခြင်း, နှင့် မသန့်ရှင်းသော ရွှေ့ပြောင်းမှုကို ပိုမိုကောင်းမွန်စွာ နှိမ်နင်းခြင်းဖြင့် ဂရပ်ဖိုက်၏ အားသာချက်များကို ထိန်းသိမ်းထားစဉ်တွင် ၎င်း၏ အားနည်းချက်များကို လျော့ပါးစေသည်။

၁) TaC အလွှာက ဘယ်လိုပြဿနာတွေကို ဖြေရှင်းပေးနိုင်လဲ။

က။ ချေးခံနိုင်ရည်ရှိခြင်း
SiC ကြီးထွားမှုနှင့် ဆက်စပ် epitaxy လုပ်ငန်းစဉ်များကို ဥပမာအဖြစ်ယူလျှင်၊ ဟိုက်ဒရိုဂျင်နှင့် ဖြစ်နိုင်ခြေရှိသော ဟေလိုဂျင် ဓာတုဗေဒများနှင့်အတူ မြင့်မားသောအပူချိန်တွင် ဆီလီကွန်ပါဝင်သော မျိုးစိတ်များသည် ဂရပ်ဖိုက်အစိတ်အပိုင်းများ၏ စဉ်ဆက်မပြတ် သံချေးတက်ခြင်းနှင့် စွမ်းဆောင်ရည် ယိုယွင်းပျက်စီးခြင်းကို ဖြစ်ပေါ်စေနိုင်သည်။ ၂၀၀၀°C အထက် ဆီလီကွန်ကြွယ်ဝပြီး သံချေးတက်သော လေထုတွင် ဂရပ်ဖိုက် ကြွေထည်များသည် ዑደብအနည်းငယ်အကြာတွင် ပြင်းထန်စွာ ယိုယွင်းပျက်စီးသွားနိုင်ပြီး TaC ကဲ့သို့သော အပေါ်ယံလွှာများသည် ကြာရှည်ခံမှုကို သိသိသာသာ မြှင့်တင်ပေးနိုင်ကြောင်း စက်မှုလုပ်ငန်းအစီရင်ခံစာများတွင် ဖော်ပြထားသည်။

B. အမှုန်အမွှားများနှင့် ကာဗွန်ရွှေ့ပြောင်းမှု လျှော့ချခြင်း
ဂရပ်ဖိုက်အမှုန်များ သို့မဟုတ် ကာဗွန်ရွှေ့ပြောင်းမှုသည် ကြီးထွားမှုမျက်နှာပြင် သို့မဟုတ် အနည်ထိုင်ဇုန်ထဲသို့ ဝင်ရောက်သွားသည်နှင့် ၎င်းတို့သည် ချို့ယွင်းချက်များ၊ ပါဝင်မှုများ၊ မြင့်မားသော နေရာရွေ့ပြောင်းသိပ်သည်းဆအဖြစ် တိုက်ရိုက်ပေါ်လာနိုင်ပြီး မပြောင်းလဲနိုင်သော အခန်းညစ်ညမ်းမှုကိုပင် ဖြစ်ပေါ်စေနိုင်သည်။ အတားအဆီးအလွှာတစ်ခုအနေဖြင့် TaC ၏ ရည်မှန်းချက်မှာ အပူချိန်တည်ငြိမ်မှုနှင့် အပြန်အလှန် မတည်မငြိမ်ဖြစ်မှုကို ပိုမိုထိန်းချုပ်နိုင်စေရန်ဖြစ်သည်။ ဆက်လက်လုပ်ဆောင်နေသော လေ့လာမှုများအရ TaC အပေါ်ယံလွှာများသည် ဂရပ်ဖိုက် sublimation/ဖွဲ့စည်းပုံပျက်စီးမှုကို နှိမ်နင်းရန်နှင့် ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှုပတ်ဝန်းကျင်များတွင် အပူချိန်တည်ငြိမ်မှုကို တိုးတက်ကောင်းမွန်စေရန် ကူညီပေးကြောင်းလည်း ဖော်ပြထားသည်။ ②

ဂ။ ပိုမိုကျယ်ပြန့်သော လုပ်ငန်းစဉ်ဝင်းဒိုး
လူအတော်များများက မီးဖိုချောင်သုံးပစ္စည်းတွေကို စားသုံးနိုင်တဲ့ပစ္စည်းတွေအဖြစ် သဘောထားကြပေမယ့် လက်တွေ့မှာတော့"နယ်နိမိတ်အခြေအနေ ထုတ်ပေးသည့် ကိရိယာများ"crucible မျက်နှာပြင် တည်ငြိမ်နေချိန်တွင် အပူစက်ကွင်းနှင့် ဓာတ်ငွေ့အဆင့် ဓာတ်ပြုမှုများသည် ပိုမိုထပ်ခါတလဲလဲ ဖြစ်လာပါသည်။ အပေါ်ယံလွှာ ကပ်ငြိမှု မလုံလောက်ပါက—မိုက်ခရိုအက်ကွဲကြောင်းများ သို့မဟုတ် ဒေသတွင်း စိမ့်ဝင်မှုတို့ကို ဖြစ်စေသည့်အခါ—လုပ်ငန်းစဉ် ရွေ့လျားမှုသည် ထိုနေရာမှ စတင်လေ့ရှိသည်။ အပေါ်ယံလွှာ-ဂရပ်ဖိုက် အပြန်အလှန် ချိတ်ဆက်မှု အစွမ်းသတ္တိဆိုင်ရာ သီးသန့်သုတေသနတွင် ၎င်းကို single-crystal ကြီးထွားမှု စွမ်းဆောင်ရည်ကို ထိခိုက်စေသော အဓိက ကိန်းရှင်တစ်ခုအဖြစ် ဆွေးနွေးပြီးဖြစ်သည်။

၂) ဘယ်နေရာမှာ အသင့်တော်ဆုံးလဲ။

• အပူချိန်အလွန်မြင့်မားပြီး အလွန်ချေးတက်လွယ်သော လေထုများ

• ကြီးထွားမှု/အနည်ကျမှုအဆင့်များသည် အမှုန်များနှင့် သတ္တုမသန့်စင်မှုများကို အလွန်အမင်း ထိခိုက်လွယ်သည်

• သက်တမ်းပိုရှည်ပြီး တင်းကျပ်သော တသမတ်တည်းဖြစ်မှု လိုအပ်သော ပမာဏများသော ထုတ်လုပ်မှုလိုင်းများ

၃) TaC ဖြင့်အုပ်ထားသော ဂရပ်ဖိုက် Crucible ကို မည်သို့ရွေးချယ်ရမည်နည်း

TaC အပေါ်ယံလွှာသည် “တစ်မျိုးတည်းသော လုပ်ငန်းစဉ်လမ်းကြောင်း” မဟုတ်ပါ။ CVD ကို ဥပမာအဖြစ် အသုံးပြု၍၊ စာပေများတွင် ဂရပ်ဖိုက်အလွှာများပေါ်တွင် TaC/SiC ၏ CVD စုပုံခြင်းနှင့် စွမ်းဆောင်ရည်လက္ခဏာရပ်များအကြောင်း နှိုင်းရစနစ်ကျသော ဆွေးနွေးမှုများကို ပံ့ပိုးပေးထားပါသည်။

လမ်းကြောင်းအမျိုးမျိုးသည် ရလဒ်အမျိုးမျိုးကို ဖြစ်ပေါ်စေသည်။

• သိပ်သည်းဆနှင့် စိမ့်ဝင်နိုင်စွမ်း-အပေါ်ယံလွှာ သိပ်သည်းလေ၊ ဓာတ်ငွေ့/အငွေ့များက ဖြည်းဖြည်းချင်း စိမ့်ဝင်သော သံချေးကို ပိုမိုကောင်းမွန်စွာ ပိတ်ဆို့နိုင်လေဖြစ်သည်။

• အထူနှင့် ဖိအား:အထူတိုးလာသည်နှင့်အမျှ အပူဖိစီးမှုနှင့် အက်ကွဲခြင်းအန္တရာယ်လည်း မြင့်တက်လာပြီး ပိုမိုကောင်းမွန်သော လုပ်ငန်းစဉ်ထိန်းချုပ်မှု လိုအပ်ပါသည်။

• ပြုပြင်နိုင်မှု နှင့် တသမတ်တည်းရှိမှု-အစုလိုက်အပြုံလိုက်ထုတ်လုပ်မှုသည် အသုတ်လိုက် တသမတ်တည်းဖြစ်မှုနှင့် ပြန်လည်ပြုပြင်ခြင်း/ပြန်လည်ဖုံးအုပ်ခြင်းကို ယုံကြည်စိတ်ချစွာ လုပ်ဆောင်နိုင်ခြင်း ရှိ၊ မရှိအပေါ် မူတည်ပါသည်။

၄) အဓိကဝင်လာသော စစ်ဆေးရေးစံနှုန်းများ

• အသွင်အပြင်နှင့် မျက်နှာပြင်အခြေအနေ-အပေါက်ငယ်များ၊ အပေါက်ငယ်များ၊ “အကြေးခွံ/ငါးအကြေးခွံ” အသွင်အပြင်၊ ဒေသအလိုက် အရောင်ပြောင်းခြင်း/မီးခိုးရောင်ပြောင်းခြင်း

• အထူနှင့် တစ်ပြေးညီဖြစ်မှု:အနားသတ်များ၊ ထောင့်များနှင့် အောက်ခြေများသည် ပါးလွှာနိုင်ခြေ အများဆုံးနေရာများဖြစ်သည်

• ချည်နှောင်အား / အပူဒဏ်ခံနိုင်ရည်:ရှင်းလင်းသော စမ်းသပ်နည်းလမ်းများနှင့် စွန့်ပစ်/ငြင်းပယ်ခြင်းဆိုင်ရာ စံနှုန်းများကို သတ်မှတ်ရမည်

• အက်ကွဲကြောင်းငယ်များနှင့် အပေါက်များ-(အထက်ဖော်ပြပါအချက်များနှင့်အတူ လက်တွေ့တွင်ဖော်ပြထားသည်)

• ညစ်ညမ်းမှု ထိန်းချုပ်ခြင်း-သတ္တုမသန့်စင်မှုများ၊ ဟေလိုဂျင်အကြွင်းအကျန်များနှင့် အမှုန်အမွှားများ သန့်ရှင်းမှုအဆင့်အားလုံးကို ခြေရာခံနိုင်ရမည်။