Tilmaamaha Xulashada Garaafiga ee TaC ee Dahaaran

Qalabka koritaanka kiristaalka heerkulka sare leh iyo qalabka epitaxy/deposition, graphite crucible wuxuu ciyaaraa saddex door hal mar: xuduud kuleyl, is-dhexgalka falcelinta, iyo isha wasakhowga suurtagalka ah. / caqabadda wasakhda. Tani waa sababtaGaraafiyada garaafiga ee lagu dahaadhay TaCayaa sii kordhaya — lakabka TaC wuxuu bixiyaa awood heerkul sare leh, iska caabin xoog leh oo daxalka ah, iyo si fiican u xakamaynta socdaalka wasakhda, iyadoo la ilaalinayo faa'iidooyinka graphite iyadoo la yareynayo daciifnimadeeda.

1) Maxay yihiin dhibaatooyinka uu dahaarka TaC xallin karo?

A. Iska caabbinta Daxalka
Tusaale ahaan, marka la eego koritaanka SiC iyo hababka epitaxy ee la xiriira, noocyada ka kooban silicon heerkulka sare - oo ay weheliso kiimikada hydrogen iyo kuwa suurtagalka ah ee halogen - waxay horseedi karaan daxal joogto ah iyo burburka waxqabadka ee qaybaha graphite. Warbixinnada warshaduhu waxay sidoo kale xusayaan in jawiga qotoda dheer ee silicon-ka hodanka ku ah, oo ka sarreeya 2000°C, gariiradaha graphite ayaa si xun u burburin kara ka dib dhowr wareeg oo keliya, halka dahaarka sida TaC ay si weyn u hagaajin karaan cimri dhererka.

B. Walxaha la dhimay iyo Socdaalka Kaarboonka
Marka walxaha graphite ama socdaalka kaarboonku ay galaan is-dhexgalka koritaanka ama aagga dhigista, waxay si toos ah u muujin karaan cillado, ku-darka, cufnaanta kala-baxa oo sareysa, waxayna xitaa kicin karaan wasakhowga qolka oo aan dib loo celin karin. Iyada oo ah lakab caqabad ah, yoolka TaC waa in xasilloonida kulaylka iyo is-dhexgalka wejiga laga dhigo mid la xakamayn karo. Daraasadaha socda ayaa sidoo kale soo sheegaya dahaarka TaC oo gacan ka geysanaya xakamaynta hoos-u-dhaca graphite/dhimista qaab-dhismeedka iyo hagaajinta xasilloonida kulaylka ee deegaannada koritaanka kiristaalka.

C. Daaqadda Habraaca Ballaaran
Dad badan ayaa u arka walxaha la shito inay yihiin kuwo la isticmaalo, laakiin dhab ahaantii waxay u dhaqmaan sidii"Matoorada xaaladaha xuduudaha".Marka dusha sare ee dabka lagu shido ay xasilloonaato, falgallada goobta kulaylka iyo gaaska ayaa noqda kuwo aad loogu celcelin karo. Marka dhegdheg dahaadhku aanu ku filnayn - taasoo keenta jajabyo yaryar ama daloolin deegaan - inta badan waxay ka bilaabataa halkaas. Cilmi-baaris gaar ah oo ku saabsan xoogga isku xidhka dahaarka-graphite ee wejiga ayaa hore uga hadashay inay tahay doorsoome muhiim ah oo saameeya waxqabadka kobaca hal-kiristaal.

2) Halkee ayay ugu habboon tahay?

• Jawi aad u heer sare ah, oo aad u daxal badan

• Tallaabooyinka koritaanka/dhigista ayaa aad ugu nugul walxaha iyo wasakhda birta ah

• Khadadka wax soo saarka ee mugga sare leh oo u baahan cimri dheer iyo isku xirnaan adag

3) Sida Loo Xusho Qalabka Garaafiga ee TaC-ga lagu dahaadhay

Dahaarka TaC ma aha hal waddo oo "hal-cabbir-ku-habboon-dhammaan". Iyada oo la adeegsanayo CVD tusaale ahaan, suugaantu waxay bixisay dood nidaamsan oo ku saabsan dhigista CVD iyo sifeynta waxqabadka TaC/SiC ee ku saabsan substrates-ka garaafitka.

Sifooyinka kala duwan waxay keenaan natiijooyin kala duwan:

• Cufnaanta iyo u-gudbinta:Marka dahaarka uu cufan yahay, si fiican ayuu u xannibayaa miridhku si gaabis ah ugu soo qulqulayo gaasaska/uumiga.

• Dhumucda iyo walbahaarka:marka dhumucdu korodho, cadaadiska kulaylka iyo khatarta dildilaaca ayaa sidoo kale kordha, taasoo u baahan xakamaynta habka oo wanaagsan.

• Dayactir iyo joogteyn:Wax soo saarka tirada badan wuxuu ku xiran yahay isku dheelitirka dufcad ilaa dufcad iyo in dib-u-hagaajinta/dib-u-daboolida si kalsooni leh loo samayn karo.

4) Shuruudaha Kormeerka Muhiimka ah ee Soo Socda

• Muuqaalka iyo xaaladda dusha sare:godad biinanka ah, godad godan, qaab-dhismeed "miisaan/kalluun", midab-beddel/cawlan deegaan

• Dhumucda iyo isku midnimada:geesaha, geesaha, iyo hoose waa meelaha ugu badan ee khafiifsan

• Xoogga xidhidhka / iska caabbinta shoogga kulaylka:Hababka tijaabada ee cad iyo shuruudaha xoqidda/diidmada waa in la qeexaa

• Qalalka yaryar iyo daloolada:(oo lagu taxay ficil ahaan kor ku xusan)

• Xakamaynta wasakheynta:wasakhda birta ah, haraaga halogen, iyo heerka nadaafadda walxaha waa in dhammaantood la raadraacaa