Alakaʻi Koho ʻana i ka ipu hoʻoheheʻe Graphite i uhi ʻia ʻo TaC

I loko o ka ulu ʻana o ke kristal wela kiʻekiʻe a me nā lako epitaxy/deposition, pāʻani kahi ipu graphite i ʻekolu mau kuleana i ka manawa hoʻokahi: kahi palena wela, kahi interface reaction, a me kahi kumu haumia hiki. / keʻakeʻa haumia. ʻO kēia ke kumuNā ipu hoʻoheheʻe graphite i uhi ʻia me TaCke lilo nei i mea maʻamau—hāʻawi kahi papa TaC i ka hiki ke hoʻomehana kiʻekiʻe, ikaika ke kūpaʻa ʻana i ka palaho, a me ka hoʻopau maikaʻi ʻana i ka neʻe ʻana o ka haumia, e mālama ana i nā pono o ka graphite ʻoiai e hoʻēmi ana i kona mau nāwaliwali.

1) He aha nā pilikia e hiki ai i kahi uhi TaC ke hoʻoponopono?

A. Ke kū'ē ʻana i ka palaho
Ma ka lawe ʻana i ka ulu ʻana o SiC a me nā kaʻina hana epitaxy e pili ana i kahi laʻana, ʻo nā ʻano i loaʻa ka silicon ma ke kiʻekiʻe o ka mahana—me ka hydrogen a me nā kemika halogen paha—hiki ke alakaʻi i ka pala mau a me ka hōʻino ʻana o ka hana o nā ʻāpana graphite. Hoʻomaopopo pū nā hōʻike ʻoihana i loko o nā lewa waiwai-silicon, corrosive ma luna o 2000°C, hiki i nā ipu graphite ke pala nui ma hope o kekahi mau pōʻaiapuni wale nō, ʻoiai hiki i nā uhi e like me TaC ke hoʻomaikaʻi nui i ka lōʻihi.

B. Nā ʻāpana i hoʻemi ʻia a me ka neʻe ʻana o ke kalapona
Ke komo nā ʻāpana graphite a i ʻole ka neʻe ʻana o ke kalapona i ka ʻaoʻao ulu a i ʻole ka ʻāpana waiho ʻana, hiki iā lākou ke hōʻike pololei ʻia he mau kīnā, nā hoʻokomo, ka nui o ka dislocation density, a hiki ke hoʻoulu i ka haumia o ke keʻena i hiki ʻole ke hoʻihoʻi ʻia. Ma ke ʻano he papa pale, ʻo ka pahuhopu o TaC ka hoʻolilo ʻana i ka paʻa wela a me ka inertness interfacial i ʻoi aku ka maʻalahi o ka hoʻomalu ʻana. Hōʻike pū nā haʻawina e hoʻomau nei i nā uhi TaC e kōkua ana i ka hoʻopau ʻana i ka sublimation graphite/structural degradation a me ka hoʻomaikaʻi ʻana i ka paʻa wela i nā wahi ulu kristal. ②

C. He puka makani hana ākea
He nui ka poʻe e mālama i nā ipu hoʻoheheʻe e like me nā mea hoʻopau, akā i ka hana maoli hana lākou e like me"nā mea hana kūlana palena.”Ke kūpaʻa ka ʻili o ke ipu hoʻoheheʻe, ʻoi aku ka maʻalahi o ka hana hou ʻana o ke kahua wela a me nā hopena kinoea. Ke lawa ʻole ka hoʻopili ʻana o ka uhi—e alakaʻi ana i nā microcracks a i ʻole ka permeation kūloko—hoʻomaka pinepine ke kaʻina hana ma laila. Ua kūkākūkā mua ʻia ka noiʻi hoʻolaʻa ʻia ma ka ikaika o ka hoʻopili ʻana o ka coating-graphite interfacial ma ke ʻano he loli koʻikoʻi e pili ana i ka hana ulu kristal hoʻokahi.

2) Ma hea kahi kūpono loa?

• Nā lewa wela kiʻekiʻe loa, ʻino loa

• ʻO nā ʻanuʻu ulu/hoʻomoe ʻana he mea maʻalahi loa ia i nā ʻāpana a me nā haumia metala

• Nā laina hana nui e koi ana i ke ola lōʻihi a me ke kūlike paʻa

3) Pehea e koho ai i kahi ipu hoʻoheheʻe Graphite i uhi ʻia e TaC

ʻAʻole ʻo ka uhi ʻana o TaC he ala hana hoʻokahi "kūpono i nā mea āpau". Ma ka hoʻohana ʻana i ka CVD ma ke ʻano he laʻana, ua hāʻawi ka palapala i kahi kūkākūkā ʻōnaehana e pili ana i ka waiho ʻana o CVD a me ke ʻano hana o TaC/SiC ma nā substrates graphite.

ʻO nā ala like ʻole e alakaʻi i nā hopena like ʻole:

• Ka nui a me ka permeability:ʻo ka ʻoi aku ka mānoanoa o ka uhi, ʻo ka ʻoi aku ka maikaʻi o ka pale ʻana i ka palaho lohi e nā kinoea/mahana.

• Mānoanoa a me ke kaumaha:i ka piʻi ʻana o ka mānoanoa, piʻi pū kekahi ka pilikia o ke kaumaha wela a me ka nahā ʻana, e koi ana i ka kaohi ʻana i ke kaʻina hana ʻoi aku ka maikaʻi.

• Ka hiki ke hoʻoponopono a me ke kūlike:hilinaʻi ka hana nui ʻana i ke kūlike o ka batch-to-batch a inā paha hiki ke hana pono ʻia ka hana hou/recoating.

4) Nā Kūlana Nānā Koʻikoʻi

• ʻAno a me ke kūlana o ka ʻili:nā lua liʻiliʻi, ka lua, ke ʻano "unahi/unahi iʻa", ka hoʻololi ʻana o ke kala/hina i kahi kūloko

• Mānoanoa a me ke kūlike:ʻo nā kihi, nā kihi, a me lalo nā wahi i ʻoi aku ka lahilahi

• Ikaika hoʻopaʻa / kū'ē i ka haʻalulu wela:pono e wehewehe ʻia nā ʻano hoʻāʻo maopopo a me nā pae hoʻoholo/hōʻole

• Nā māwae liʻiliʻi a me ka porosity:(i helu pū ʻia me nā mea i luna aʻe ma ka hana)

• Kaohi haumia:pono e hiki ke hahai ʻia nā mea haumia metala, nā koena halogen, a me ka pae maʻemaʻe o nā ʻāpana