ຄູ່ມືການເລືອກໝໍ້ຫຸງຕົ້ມກຣາໄຟດເຄືອບ TaC

ໃນອຸປະກອນການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ອຸປະກອນ epitaxy/deposition, ຖ້ວຍ graphite ມີບົດບາດສາມຢ່າງໃນເວລາດຽວກັນຄື: ຂອບເຂດຄວາມຮ້ອນ, ການໂຕ້ຕອບຂອງປະຕິກິລິຍາ, ແລະ ແຫຼ່ງການປົນເປື້ອນທີ່ອາດເກີດຂຶ້ນ. / ສິ່ງກີດຂວາງການປົນເປື້ອນ. ນີ້ແມ່ນເຫດຜົນຖ້ວຍແກ້ວແກຣໄຟທ໌ເຄືອບ TaCກຳລັງກາຍເປັນເລື່ອງທຳມະດາຫຼາຍຂຶ້ນ - ຊັ້ນ TaC ສະເໜີຄວາມສາມາດໃນການໃຊ້ອຸນຫະພູມທີ່ສູງຂຶ້ນ, ຕ້ານທານການກັດກ່ອນທີ່ເຂັ້ມແຂງກວ່າ, ແລະ ການສະກັດກັ້ນການເຄື່ອນຍ້າຍຂອງສິ່ງປົນເປື້ອນທີ່ດີກວ່າ, ໂດຍຮັກສາຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງແກຣໄຟທ໌ ໃນຂະນະທີ່ຫຼຸດຜ່ອນຈຸດອ່ອນຂອງມັນ.

1) ການເຄືອບ TaC ສາມາດແກ້ໄຂບັນຫາຫຍັງແດ່?

ກ. ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ
ຍົກຕົວຢ່າງການເຕີບໃຫຍ່ຂອງ SiC ແລະຂະບວນການ epitaxy ທີ່ກ່ຽວຂ້ອງ, ຊະນິດທີ່ມີຊິລິກອນຢູ່ໃນອຸນຫະພູມສູງ - ພ້ອມກັບໄຮໂດເຈນ ແລະ ອາດຈະເປັນສານເຄມີຮາໂລເຈນ - ສາມາດນໍາໄປສູ່ການກັດກ່ອນຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ ແລະ ການເສື່ອມໂຊມຂອງອົງປະກອບແກຣໄຟ. ບົດລາຍງານຂອງອຸດສາຫະກໍາຍັງລະບຸວ່າໃນບັນຍາກາດທີ່ອຸດົມດ້ວຍຊິລິກອນ ແລະ ກັດກ່ອນທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງກວ່າ 2000°C, ຖ້ວຍແກຣໄຟອາດຈະເສື່ອມໂຊມຢ່າງຮຸນແຮງຫຼັງຈາກພຽງແຕ່ສອງສາມຮອບ, ໃນຂະນະທີ່ການເຄືອບເຊັ່ນ TaC ສາມາດປັບປຸງຄວາມທົນທານໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.

ຂ. ການຫຼຸດຜ່ອນການເຄື່ອນທີ່ຂອງອະນຸພາກ ແລະ ຄາບອນ
ເມື່ອອະນຸພາກແກຣໄຟທ໌ ຫຼື ການເຄື່ອນຍ້າຍຂອງຄາບອນເຂົ້າໄປໃນພື້ນທີ່ເຊື່ອມຕໍ່ການເຕີບໂຕ ຫຼື ເຂດການຕົກຕະກອນ, ພວກມັນສາມາດສະແດງອອກໂດຍກົງເປັນຂໍ້ບົກຜ່ອງ, ການລວມຕົວ, ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງການເຄື່ອນທີ່ທີ່ສູງຂຶ້ນ, ແລະ ອາດຈະກະຕຸ້ນການປົນເປື້ອນຂອງຫ້ອງທີ່ບໍ່ສາມາດປ່ຽນແປງໄດ້. ໃນຖານະເປັນຊັ້ນກີດຂວາງ, ເປົ້າໝາຍຂອງ TaC ແມ່ນເພື່ອເຮັດໃຫ້ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນ ແລະ ຄວາມเฉื่อยชาຂອງການເຊື່ອມຕໍ່ສາມາດຄວບຄຸມໄດ້ງ່າຍຂຶ້ນ. ການສຶກສາຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຍັງລາຍງານວ່າການເຄືອບ TaC ຊ່ວຍສະກັດກັ້ນການລະເຫີຍ/ການເສື່ອມສະພາບຂອງໂຄງສ້າງແກຣໄຟທ໌ ແລະ ປັບປຸງຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນໃນສະພາບແວດລ້ອມການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ. ②

ຄ. ປ່ອງຢ້ຽມຂະບວນການທີ່ກວ້າງຂວາງກວ່າ
ຫຼາຍຄົນປະຕິບັດຕໍ່ເຕົາອົບຄືກັບວັດສະດຸບໍລິໂພກ, ແຕ່ໃນທາງປະຕິບັດພວກມັນເຮັດໜ້າທີ່ເປັນ"ເຄື່ອງສ້າງເງື່ອນໄຂຂອບເຂດ.”ເມື່ອໜ້າດິນຂອງໝໍ້ຕົ້ມຍັງຄົງໝັ້ນຄົງ, ປະຕິກິລິຍາສະໜາມຄວາມຮ້ອນ ແລະ ໄລຍະອາຍແກັສຈະເຮັດຊ້ຳໄດ້ຫຼາຍຂຶ້ນ. ເມື່ອການຍຶດຕິດຂອງຊັ້ນເຄືອບບໍ່ພຽງພໍ - ເຊິ່ງນຳໄປສູ່ການແຕກຂອງຈຸນລະພາກ ຫຼື ການຊຶມເຂົ້າທ້ອງຖິ່ນ - ການເລື່ອນຂອງຂະບວນການມັກຈະເລີ່ມຕົ້ນຢູ່ທີ່ນັ້ນ. ການຄົ້ນຄວ້າສະເພາະກ່ຽວກັບຄວາມເຂັ້ມແຂງຂອງການຜູກມັດລະຫວ່າງຊັ້ນເຄືອບ ແລະ ກຣາໄຟທ໌ໄດ້ປຶກສາຫາລືແລ້ວວ່າມັນເປັນຕົວແປຫຼັກທີ່ສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ປະສິດທິພາບການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກດຽວ.

2) ມັນເໝາະສົມທີ່ສຸດຢູ່ໃສ?

• ອຸນຫະພູມສູງຫຼາຍ, ບັນຍາກາດທີ່ມີການກັດກ່ອນສູງ

• ຂັ້ນຕອນການເຕີບໂຕ/ການວາງຕົວມີຄວາມອ່ອນໄຫວຫຼາຍຕໍ່ກັບອະນຸພາກ ແລະ ສິ່ງເຈືອປົນຂອງໂລຫະ

• ສາຍການຜະລິດໃນປະລິມານຫຼາຍທີ່ຕ້ອງການອາຍຸການໃຊ້ງານທີ່ຍາວນານ ແລະ ຄວາມສອດຄ່ອງທີ່ແໜ້ນແຟ້ນກວ່າ

3) ວິທີການເລືອກໝໍ້ຫຸງຕົ້ມກຣາໄຟດທີ່ເຄືອບດ້ວຍ TaC

ການເຄືອບ TaC ບໍ່ແມ່ນເສັ້ນທາງຂະບວນການ "ຂະໜາດດຽວເໝາະກັບທຸກຄົນ". ໂດຍໃຊ້ CVD ເປັນຕົວຢ່າງ, ເອກະສານໄດ້ສະໜອງການສົນທະນາຢ່າງເປັນລະບົບກ່ຽວກັບການວາງຊັ້ນ CVD ແລະ ລັກສະນະການເຮັດວຽກຂອງ TaC/SiC ໃນຊັ້ນຮອງພື້ນ graphite.

ເສັ້ນທາງທີ່ແຕກຕ່າງກັນນໍາໄປສູ່ຜົນໄດ້ຮັບທີ່ແຕກຕ່າງກັນ:

• ຄວາມໜາແໜ້ນ ແລະ ການຊຶມຜ່ານ:ການເຄືອບທີ່ໜາແໜ້ນເທົ່າໃດ, ມັນກໍ່ຈະປ້ອງກັນການກັດກ່ອນໂດຍການຊຶມເຂົ້າຊ້າໆໂດຍອາຍແກັສ/ໄອນ້ຳໄດ້ດີຂຶ້ນເທົ່ານັ້ນ.

• ຄວາມໜາ ແລະ ຄວາມກົດດັນ:ເມື່ອຄວາມໜາເພີ່ມຂຶ້ນ, ຄວາມກົດດັນທາງຄວາມຮ້ອນ ແລະ ຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການແຕກກໍ່ເພີ່ມຂຶ້ນເຊັ່ນກັນ, ເຊິ່ງຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີການຄວບຄຸມຂະບວນການທີ່ດີກວ່າ.

• ຄວາມສາມາດໃນການສ້ອມແປງ ແລະ ຄວາມສອດຄ່ອງ:ການຜະລິດຈຳນວນຫຼາຍແມ່ນຂຶ້ນກັບຄວາມສອດຄ່ອງແບບຊຸດຕໍ່ຊຸດ ແລະ ວ່າການສ້ອມແປງ/ການເຄືອບຄືນໃໝ່ສາມາດເຮັດໄດ້ຢ່າງໜ້າເຊື່ອຖືຫຼືບໍ່.

4) ເກນການກວດກາທີ່ເຂົ້າມາສຳຄັນ

• ຮູບລັກສະນະ ແລະ ສະພາບພື້ນຜິວ:ຮູເຂັມ, ຈຸດໆ, ໂຄງສ້າງ “ເກັດ/ເກັດປາ”, ການປ່ຽນສີ/ສີເທົາຢູ່ບໍລິເວນນັ້ນໆ

• ຄວາມໜາ ແລະ ຄວາມເປັນເອກະພາບ:ຂອບ, ມຸມ, ແລະດ້ານລຸ່ມແມ່ນພື້ນທີ່ທີ່ມີແນວໂນ້ມທີ່ຈະບາງທີ່ສຸດ

• ຄວາມແຂງແຮງຂອງການຍຶດຕິດ / ຄວາມຕ້ານທານການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນ:ຕ້ອງໄດ້ກຳນົດວິທີການທົດສອບທີ່ຊັດເຈນ ແລະ ເກນການຍົກເລີກ/ຍົກເລີກ

• ຮອຍແຕກຂະໜາດນ້ອຍ ແລະ ຮູພຸນ:(ລະບຸໄວ້ພ້ອມກັບຂ້າງເທິງໃນການປະຕິບັດ)

• ການຄວບຄຸມການປົນເປື້ອນ:ສິ່ງເຈືອປົນໂລຫະ, ສານຕົກຄ້າງຮາໂລເຈນ, ແລະ ລະດັບຄວາມສະອາດຂອງອະນຸພາກຄວນຈະສາມາດຕິດຕາມໄດ້ທັງໝົດ