Tataiso ea Khetho ea Graphite e Koahetsoeng ka TaC

Lisebelisoa tsa kristale tsa kholo ea mocheso o phahameng le epitaxy/deposition, graphite crucible e bapala likarolo tse tharo ka nako e le 'ngoe: moeli oa mocheso, sebopeho sa karabelo, le mohloli o ka bang teng oa tšilafalo. / thibelo ea tšilafalo. Ke ka lebaka lenaLithunya tsa graphite tse koahetsoeng ka TaCli ntse li ata haholo—lera la TaC le fana ka bokhoni bo phahameng ba mocheso, khanyetso e matla ea ts'enyeho, le ho thibela ho falla ha litšila hamolemo, ho boloka melemo ea graphite ha ka nako e ts'oanang ho fokotsa mefokolo ea eona.

1) Ke Mathata afe ao TaC Coating e ka a Rarollang?

A. Khanyetso ea ho Silafala
Ha re nka kholo ea SiC le lits'ebetso tse amanang le epitaxy e le mohlala, mefuta e nang le silicon mochesong o phahameng - hammoho le haeterojene le lik'hemik'hale tse ka bang halogen - li ka lebisa ho bola ho sa khaotseng le ho senyeha ha ts'ebetso ea likarolo tsa graphite. Litlaleho tsa indasteri li boetse li hlokomela hore libakeng tse nang le silicon e ngata, tse senyang tse kaholimo ho 2000°C, li-crucible tsa graphite li ka senyeha hampe kamora lipotoloho tse 'maloa feela, ha lipeipi tse kang TaC li ka ntlafatsa ho tšoarella haholo.

B. Likaroloana tse Fokolitsoeng le ho Falla ha Khabone
Hang ha dikarolwana tsa graphite kapa phallo ya khabone di kena sebakeng sa kgolo kapa sebakeng sa ho bewa, di ka hlaha ka ho toba e le diphoso, dintho tse kentsweng, bongata bo phahameng ba ho falla, mme di ka baka tšilafalo e ke keng ya kgutliswa ya kamore. Jwalo ka lera la thibelo, sepheo sa TaC ke ho etsa hore botsitso ba mocheso le ho se sebetse hantle ha difacial di laolehe haholoanyane. Diphuputso tse tswelang pele di boetse di tlaleha dikoahelo tsa TaC tse thusang ho thibela ho senyeha ha graphite/ho senyeha ha sebopeho le ho ntlafatsa botsitso ba mocheso dibakeng tsa kgolo ya kristale. ②

C. Fensetere e Batsi ea Ts'ebetso
Batho ba bangata ba nka dithunya tsa mollo e le tse ka jewang, empa ha e le hantle di sebetsa jwalo ka“lijenereithara tsa maemo a moeli. ”Ha bokaholimo ba sebopi bo lula bo tsitsitse, ts'ebetso ea mocheso le khase-phase e ba bonolo ho e pheta-pheta. Ha ho khomarela ha sebopi ho sa lekana—ho lebisang ho mapetsong a manyane kapa ho kenella sebakeng seo—hangata ho kheloha ha ts'ebetso ho qala moo. Lipatlisiso tse inehetseng mabapi le matla a ho kopanya a sebopi-graphite li se li buile ka eona e le phetoho ea bohlokoa e amang ts'ebetso ea kholo ea kristale e le 'ngoe.

2) E Loketseha Haholo Hokae?

• Sepakapaka se nang le mocheso o phahameng haholo, se senyang haholo

• Mehato ea kholo/ho qhalana e amang maikutlo haholo likaroloana le litšila tsa tšepe

• Mela ea tlhahiso ea bophahamo ba modumo e hlokang bophelo bo bolelele le botsitso bo tiileng

3) Mokhoa oa ho Khetha Sekoahelo sa Graphite se koahetsoeng ka TaC

Ho koahela TaC ha se mokhoa o le mong oa ts'ebetso oa "boholo bo le bong bo lekanang bohle". Ha ho sebelisoa CVD e le mohlala, lingoliloeng li fane ka puisano e hlophisehileng mabapi le ho beoa ha CVD le tlhaloso ea ts'ebetso ea TaC/SiC holim'a li-substrate tsa graphite.

Litsela tse fapaneng li lebisa liphellong tse fapaneng:

• Botebo le ho kenella ha metsi:Ha sekoahelo se teteaneng, se thibela ho senyeha ha ho kenella ha dikhase/mouoane butle-butle.

• Botenya le khatello ea maikutlo:ha botenya bo ntse bo eketseha, khatello ea mocheso le kotsi ea ho petsoha le tsona lia eketseha, tse hlokang taolo e betere ea ts'ebetso.

• Ho lokisoa le ho tsitsa:Tlhahiso e kgolo e itshetlehile ka ho tsitsa ha sehlopha ho ya ho sehlopha le hore na ho lokisa/ho lokisa ho ka etswa ka botshepehi.

4） Mekhoa ea Bohlokoa ea Tlhahlobo e Kenang

• Ponahalo le boemo ba bokaholimo:masoba a pin, ho kobeha ha dikoti, sebopeho sa "sekala/sekala sa tlhapi", ho fetoha ha mmala/bohlooho sebakeng seo

• Botenya le ho tšoana:mathoko, likhutlo le tlase ke libaka tse ka bang tšesaane haholo

• Matla a tlamo / khanyetso ea ho thothomela ha mocheso:Mekhoa e hlakileng ea liteko le mekhoa ea ho lahla/ho hana e tlameha ho hlalosoa

• Mapetso a manyane le masoba a manyane:(e thathamisitsoe hammoho le tse ka holimo ts'ebetsong)

• Taolo ea tšilafalo:litšila tsa tšepe, masalla a halogen, le boemo ba bohloeki ba likaroloana kaofela li lokela ho latelwa