Torolàlana amin'ny fisafidianana ny lasitra fandoroana grafita voarakotra TaC

Ao amin'ny fitaovana fampitomboana kristaly amin'ny mari-pana avo sy epitaxy/deposition, ny vilany fandrahoana grafita dia mitana anjara toerana telo miaraka: ny sisin-tany mafana, ny interface fihetsiketsehana, ary ny mety ho loharanon'ny loto. / sakana amin'ny fandotoana. Izany no antonyLafaoro grafita voarakotra TaCmiha-mahazatra hatrany—ny sosona TaC dia manolotra fahafaha-manao mari-pana ambony kokoa, fanoherana ny harafesina matanjaka kokoa, ary fanakanana tsara kokoa ny fifindra-monin'ny loto, mitazona ny tombony azo avy amin'ny grafita sady mampihena ny fahalemeny.

1) Inona avy ireo olana azon'ny TaC coating vahana?

A. Fanoherana ny harafesina
Raha raisina ho ohatra ny fitomboan'ny SiC sy ny fizotran'ny epitaxy mifandraika amin'izany, ny karazana misy silikônina amin'ny mari-pana avo - miaraka amin'ny hidrôzenina sy mety ho simia halogen - dia mety hitarika amin'ny harafesina mitohy sy ny fihenan'ny fahombiazan'ny singa grafita. Marihin'ny tatitry ny indostria ihany koa fa ao anatin'ny atmosfera manankarena silikônina sy harafesina mihoatra ny 2000°C, ny lasitra grafita dia mety ho simba be aorian'ny tsingerina vitsivitsy monja, raha toa kosa ny coatings toy ny TaC dia afaka manatsara be ny faharetany.

B. Poti-javatra nihena sy ny fifindra-monin'ny karbônina
Raha vao miditra ao amin'ny faritra fitomboana na fametrahana ny poti-grita na ny fifindra-monin'ny karbônina, dia mety hiseho mivantana ho toy ny lesoka, fampidirana, hakitroky ny fifindra-monina ambony kokoa izy ireo, ary mety hiteraka fahalotoana tsy azo averina intsony. Amin'ny maha-sosona sakana azy, ny tanjon'ny TaC dia ny hahatonga ny fahamarinan'ny hafanana sy ny tsy fahatomombanan'ny interface ho azo fehezina kokoa. Ny fanadihadiana mitohy ihany koa dia mitatitra fa ny coatings TaC dia manampy amin'ny fampihenana ny sublimation/fahasimban'ny rafitra grafita ary manatsara ny fahamarinan'ny hafanana ao amin'ny tontolo fitomboan'ny kristaly. ②

C. Varavarankely mivelatra kokoa ho an'ny dingana
Maro ny olona mihevitra ny lafaoro fandoroana ho toy ny zavatra azo laniana, saingy amin'ny tena izy dia toy ny zavatra azo ampiasaina ihany izy ireo"mpamokatra fepetra fetra.”Rehefa mijanona ho marin-toerana ny velaran'ny lafaoro fandoroana, dia lasa azo averina kokoa ny fihetsiky ny saha mafana sy ny dingana entona. Rehefa tsy ampy ny fifikirana amin'ny coating—izay mitarika ho amin'ny triatra bitika na ny fidiran'ny rano eo an-toerana—dia matetika manomboka eo ny fiovaovan'ny dingana. Ny fikarohana manokana momba ny tanjaky ny fifikirana eo amin'ny coating sy ny grafita dia efa niresaka momba izany ho toy ny fiovaovana fototra izay misy fiantraikany amin'ny fahombiazan'ny fitomboan'ny kristaly tokana.

2) Aiza no mety indrindra aminy?

• Atmosfera avo dia avo ny mari-pana, manimba be

• Ireo dingana fitomboana/fametrahana dia tena mora tohina amin'ny poti-javatra sy ny loto metaly

• Tsipika famokarana betsaka mitaky androm-piainana lava kokoa sy tsy miovaova

3) Ahoana ny fisafidianana lasitra misy grafita voarakotra TaC

Tsy fomba fiasa tokana "mifanaraka amin'ny rehetra" ny fandokoana TaC. Amin'ny fampiasana CVD ho ohatra, ny literatiora dia nanome fifanakalozan-kevitra mirindra momba ny fametrahana CVD sy ny famaritana ny fahombiazan'ny TaC/SiC amin'ny substrates grafita.

Ny fomba samihafa dia miteraka vokatra samihafa:

• Hakitroky sy permeability:Arakaraka ny maha-matevina ny sosona no maha-tsara kokoa ny fanakanana ny fidiran'ny harafesina miadana ataon'ny entona/etona.

• Hatevina sy fihenjanana:Rehefa mitombo ny hateviny dia mitombo ihany koa ny mety hisian'ny tsindanjana mafana sy ny mety hisian'ny triatra, izay mitaky fanaraha-maso tsara kokoa ny fizotran'ny asa.

• Fahafaha-amboarina sy tsy fiovaovana:Miankina amin'ny tsy fitoviana isaky ny andiany sy ny hoe azo atao azo antoka ve ny fanamboarana/fandokoana indray ny famokarana faobe.

4）Fepetra fototra amin'ny fanaraha-maso miditra

• Endrika sy toe-javatra ivelany:lavaka kely, lavaka, firafitry ny "kirany/kiran-trondro", fiovan'ny loko/volontsôkôlà eo an-toerana

• Hatevina sy fitoviana:ny sisiny, ny zorony ary ny ambany no faritra mety ho manify indrindra

• Tanjaky ny fifikirana / fanoherana ny fahatairana mafana:tsy maintsy faritana mazava tsara ny fomba fitsapana sy ny fepetra takiana amin'ny fandavana/fanariana

• Triatra bitika sy porosity:(voatanisa miaraka amin'ireo etsy ambony ireo amin'ny fampiharana)

• Fanaraha-maso ny fahalotoana:tokony ho azo arahina avokoa ny loto metaly, ny sisa tavela amin'ny halogen, ary ny haavon'ny fahadiovan'ny poti-javatra