មគ្គុទ្ទេសក៍ជ្រើសរើសចង្ក្រានក្រាហ្វីតស្រោបដោយ TaC

នៅក្នុងឧបករណ៍លូតលាស់គ្រីស្តាល់សីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងឧបករណ៍អេពីតាក់ស៊ី/ការដាក់គ្រីស្តាល់ ប្រដាប់ប្រដាក្រាហ្វីតដើរតួនាទីបីក្នុងពេលតែមួយ៖ ព្រំដែនកម្ដៅ ចំណុចប្រសព្វប្រតិកម្ម និងប្រភពនៃការបំពុលដែលអាចកើតមាន។ / របាំង​ការពារ​ការ​បំពុល។ នេះ​ជា​មូលហេតុចង្ក្រានក្រាហ្វីតស្រោបដោយ TaCកំពុងតែក្លាយជារឿងធម្មតាកាន់តែខ្លាំងឡើង - ស្រទាប់ TaC ផ្តល់នូវសមត្ថភាពសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ជាង, ភាពធន់នឹងការច្រេះខ្លាំងជាង, និងការបង្ក្រាបការធ្វើចំណាកស្រុកនៃភាពមិនបរិសុទ្ធបានកាន់តែប្រសើរឡើង ដោយរក្សាបាននូវគុណសម្បត្តិនៃក្រាហ្វីត ខណៈពេលដែលកាត់បន្ថយចំណុចខ្សោយរបស់វា។

១) តើថ្នាំកូត TaC អាចដោះស្រាយបញ្ហាអ្វីខ្លះ?

ក. ភាពធន់នឹងការច្រេះ
ដោយ​យក​ការលូតលាស់ SiC និង​ដំណើរការ epitaxy ពាក់ព័ន្ធ​ជា​ឧទាហរណ៍ ប្រភេទ​ដែល​មាន​ស៊ីលីកុន​នៅ​សីតុណ្ហភាព​ខ្ពស់ — រួម​ជាមួយ​នឹង​អ៊ីដ្រូសែន និង​គីមីវិទ្យា​ហាឡូហ្សែន — អាច​នាំ​ឱ្យ​មាន​ការ​ច្រេះ​ជា​បន្តបន្ទាប់ និង​ការ​ថយ​ចុះ​ដំណើរការ​នៃ​សមាសធាតុ​ក្រាហ្វីត។ របាយការណ៍​ឧស្សាហកម្ម​ក៏​បាន​កត់សម្គាល់​ផង​ដែរ​ថា នៅ​ក្នុង​បរិយាកាស​ដែល​សម្បូរ​ស៊ីលីកុន និង​ច្រេះ​លើស​ពី 2000°C ចង្ក្រាន​ក្រាហ្វីត​អាច​នឹង​រេចរឹល​យ៉ាង​ធ្ងន់ធ្ងរ​បន្ទាប់​ពី​វដ្ត​តែ​ប៉ុន្មាន​ប៉ុណ្ណោះ ខណៈ​ពេល​ដែល​ថ្នាំកូត​ដូចជា TaC អាច​ធ្វើ​ឱ្យ​ប្រសើរ​ឡើង​នូវ​ភាព​ធន់​យ៉ាង​សំខាន់។

ខ. ភាគល្អិត និងការធ្វើចំណាកស្រុកកាបូនដែលថយចុះ
នៅពេលដែលភាគល្អិតក្រាហ្វីត ឬការធ្វើចំណាកស្រុកកាបូនចូលទៅក្នុងចំណុចប្រទាក់លូតលាស់ ឬតំបន់ដាក់ ពួកវាអាចបង្ហាញដោយផ្ទាល់ថាជាពិការភាព ការរួមបញ្ចូល ដង់ស៊ីតេផ្លាស់ទីលំនៅខ្ពស់ និងថែមទាំងអាចបង្កឱ្យមានការបំពុលបន្ទប់ដែលមិនអាចត្រឡប់វិញបាន។ ក្នុងនាមជាស្រទាប់របាំង គោលដៅរបស់ TaC គឺដើម្បីធ្វើឱ្យស្ថេរភាពកម្ដៅ និងភាពអសកម្មនៃអន្តរមុខអាចគ្រប់គ្រងបានកាន់តែច្រើន។ ការសិក្សាជាបន្តបន្ទាប់ក៏រាយការណ៍ពីថ្នាំកូត TaC ដែលជួយទប់ស្កាត់ការរលាយ/ការរិចរិលរចនាសម្ព័ន្ធក្រាហ្វីត និងធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវស្ថេរភាពកម្ដៅនៅក្នុងបរិស្ថានលូតលាស់គ្រីស្តាល់។ ②

គ. បង្អួចដំណើរការកាន់តែទូលំទូលាយ
មនុស្សជាច្រើនចាត់ទុកចង្ក្រានដែកជាសម្ភារៈប្រើប្រាស់បាន ប៉ុន្តែតាមការអនុវត្តជាក់ស្តែង ពួកវាដើរតួជា«ម៉ាស៊ីនភ្លើងលក្ខខណ្ឌព្រំដែន« ។នៅពេលដែលផ្ទៃ cuprible នៅតែមានស្ថេរភាព ប្រតិកម្មវាលកម្ដៅ និងដំណាក់កាលឧស្ម័នកាន់តែអាចធ្វើម្តងទៀតបាន។ នៅពេលដែលការស្អិតជាប់នៃថ្នាំកូតមិនគ្រប់គ្រាន់ ដែលនាំឱ្យមានស្នាមប្រេះតូចៗ ឬការជ្រាបចូលក្នុងតំបន់ ការរសាត់នៃដំណើរការច្រើនតែចាប់ផ្តើមនៅទីនោះ។ ការស្រាវជ្រាវដែលឧទ្ទិសដល់កម្លាំងភ្ជាប់នៃថ្នាំកូត-ក្រាហ្វីតបានពិភាក្សារួចហើយអំពីវាជាអថេរសំខាន់ដែលប៉ះពាល់ដល់ដំណើរការលូតលាស់នៃគ្រីស្តាល់តែមួយ។

២) តើកន្លែងណាដែលសមស្របបំផុត?

• បរិយាកាសសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ខ្លាំង និងមានសារធាតុกัดกร่อนខ្ពស់

• ជំហានលូតលាស់/ការដាក់ស្រទាប់មានភាពរសើបខ្លាំងចំពោះភាគល្អិត និងភាពមិនបរិសុទ្ធនៃលោហធាតុ

• ខ្សែសង្វាក់ផលិតកម្មបរិមាណខ្ពស់ដែលត្រូវការអាយុកាលប្រើប្រាស់បានយូរ និងភាពស៊ីសង្វាក់គ្នាកាន់តែតឹងរ៉ឹង

៣) របៀបជ្រើសរើសចង្ក្រានក្រាហ្វីតស្រោបដោយ TaC

ថ្នាំកូត TaC មិនមែនជាដំណើរការ "ទំហំតែមួយសមនឹងទាំងអស់" នោះទេ។ ដោយប្រើ CVD ជាឧទាហរណ៍ ឯកសារបានផ្តល់នូវកិច្ចពិភាក្សាជាប្រព័ន្ធលើការដាក់ CVD និងការកំណត់លក្ខណៈនៃការអនុវត្ត TaC/SiC លើស្រទាប់ក្រាហ្វីត។

ផ្លូវផ្សេងៗគ្នានាំឱ្យមានលទ្ធផលផ្សេងៗគ្នា៖

• ដង់ស៊ីតេ និងភាពជ្រាបចូល៖ថ្នាំកូត​កាន់តែ​ក្រាស់ វា​កាន់តែ​ល្អ​ក្នុង​ការ​ទប់ស្កាត់​ការច្រេះ​ដែល​ជ្រាប​ចូល​យឺត​ដោយ​ឧស្ម័ន/ចំហាយ។

• កម្រាស់ និងភាពតានតឹង៖នៅពេលដែលកម្រាស់កើនឡើង ភាពតានតឹងកម្ដៅ និងហានិភ័យនៃការប្រេះក៏កើនឡើងផងដែរ ដែលតម្រូវឱ្យមានការគ្រប់គ្រងដំណើរការកាន់តែប្រសើរ។

• សមត្ថភាពជួសជុល និងភាពស៊ីសង្វាក់គ្នា៖ការផលិតទ្រង់ទ្រាយធំអាស្រ័យលើភាពស៊ីសង្វាក់គ្នាពីមួយបាច់ទៅមួយបាច់ និងថាតើការធ្វើការឡើងវិញ/ការលាបថ្នាំឡើងវិញអាចធ្វើបានដោយភាពជឿជាក់ឬអត់។

៤) លក្ខណៈវិនិច្ឆ័យត្រួតពិនិត្យចូលសំខាន់ៗ

• រូបរាង និងស្ថានភាពផ្ទៃ៖រន្ធតូចៗ, រន្ធតូចៗ, វាយនភាព "ជញ្ជីង/ជញ្ជីងត្រី", ការប្រែពណ៌/ពណ៌ប្រផេះនៅនឹងកន្លែង

• កម្រាស់ និង ឯកសណ្ឋាន៖គែម ជ្រុង និងបាត គឺជាតំបន់ដែលទំនងជាស្តើងបំផុត។

• កម្លាំងភ្ជាប់ / ភាពធន់នឹងការឆក់កម្ដៅ៖វិធីសាស្ត្រសាកល្បងច្បាស់លាស់ និងលក្ខណៈវិនិច្ឆ័យនៃការបោះចោល/បដិសេធត្រូវតែត្រូវបានកំណត់។

• មីក្រូប្រេះ និង រន្ធញើស៖(រាយបញ្ជីរួមគ្នាជាមួយខាងលើក្នុងការអនុវត្ត)

• ការគ្រប់គ្រងការបំពុល៖ភាពមិនបរិសុទ្ធនៃលោហធាតុ សំណល់ហាឡូហ្សែន និងកម្រិតអនាម័យភាគល្អិត គួរតែអាចតាមដានបានទាំងអស់។