Ntuziaka nhọrọ nke graphite a kpụchara akpụcha nke TaC

N'ime akụrụngwa kristal dị elu na-eto na epitaxy/deposition, graphite crucible na-arụ ọrụ atọ n'otu oge: ókè okpomọkụ, njikọ mmeghachi omume, na isi iyi mmetọ nwere ike ime. / ihe mgbochi mmetọ. Ọ bụ ya mere o ji dị mkpaIgwe graphite a kpụchara TaCna-aghọwanye ihe a na-ahụkarị—oyi akwa TaC na-enye ikike okpomọkụ dị elu, iguzogide nchara siri ike, na igbochi mbugharị adịghị ọcha nke ọma, na-ejigide uru nke graphite ma na-ebelata adịghị ike ya.

1) Nsogbu ndị dị aṅaa ka mkpuchi TaC nwere ike idozi?

A. Nguzogide Nrụgide
Dịka ọmụmaatụ, site n'iji uto SiC na usoro epitaxy ndị metụtara ya, ụdị ndị nwere silicon na okpomọkụ dị elu—tinyere hydrogen na kemịkalụ halogen nwere ike ime—nwere ike ibute mmebi na mmebi arụmọrụ nke ihe mejupụtara graphite. Akụkọ ụlọ ọrụ na-akọkwa na n'ime ikuku jupụtara na silicon, nke na-emebi emebi karịa 2000°C, ihe mkpuchi graphite nwere ike imebi nke ukwuu mgbe obere oge gasịrị, ebe mkpuchi dị ka TaC nwere ike ime ka ike dịkwuo mma.

B. Mbelata nke ihe ndị dị na ya na mbugharị kabọn
Ozugbo ihe ndị dị na grafite ma ọ bụ mbugharị carbon batara na mpaghara uto ma ọ bụ ebe a na-edebe ihe, ha nwere ike ịpụta ozugbo dị ka ntụpọ, ihe ndị dị na ya, njupụta nke mgbanwe dị elu, ma nwee ike ịkpalite mmetọ ụlọ a na-apụghị ịgbanwe agbanwe. Dịka ihe mgbochi, ebumnuche nke TaC bụ ime ka nkwụsi ike okpomọkụ na enweghị ike ịchịkwa ihu. Ọmụmụ ihe ndị na-aga n'ihu na-akọkwa mkpuchi TaC na-enyere aka igbochi mmebi graphite sublimation/structural na imeziwanye nkwụsi ike okpomọkụ na gburugburu uto kristal.

C. Ohere Usoro Kachasị Ukwuu
Ọtụtụ mmadụ na-ewere ihe ndị e ji ekpofu ahịhịa dị ka ihe oriri, mana n'omume ha na-eme dị ka ihe a na-eri."ndị na-emepụta ọnọdụ ókèala"Mgbe elu ihe mkpuchi ahụ kwụsiri ike, mmeghachi omume okpomọkụ na gas na-aghọ ihe a na-emegharị ugboro ugboro. Mgbe njikọta mkpuchi ezughi oke - na-eduga na obere mgbawa ma ọ bụ oghere mpaghara - usoro ntụgharị na-amalitekarị ebe ahụ. Nnyocha raara onwe ya nye na ike njikọ graphite interfacial atụlewo ya dị ka ihe dị mkpa na-emetụta arụmọrụ uto otu kristal.

2) Ebee Ka Ọ Kacha Dabara Adaba?

• Ikuku dị oke okpomọkụ, nke na-emebi emebi nke ukwuu

• Usoro uto/mwepụ ihe na-adịghị mma nke ukwuu maka ihe ndị na-adịghị mma na ihe ndị na-adịghị mma nke ígwè

• Usoro mmepụta dị elu nke chọrọ ndụ ogologo oge na nguzosi ike siri ike

3) Otu esi ahọrọ TaC graphite Crucible

Mkpuchi TaC abụghị otu ụzọ usoro "otu nha dabara-mmadụ niile". Site n'iji CVD dịka ihe atụ, akwụkwọ enyela mkparịta ụka dị mfe gbasara ntinye CVD na njirimara arụmọrụ nke TaC/SiC na ihe ndị e ji graphite mee.

Ụzọ dị iche iche na-eme ka ihe dị iche iche pụta ìhè:

• Njupụta na ikike mmadụ:Ka mkpuchi ahụ na-adị oke arọ, otú ahụ ka ọ na-egbochi ire ere site na gas/vapors nwayọ nwayọ.

• Ọkpụrụkpụ na nrụgide:ka ọkpụrụkpụ na-abawanye, nrụgide okpomọkụ na ihe egwu mgbawa na-arị elu, nke chọrọ njikwa usoro ka mma.

• Ndozi na nguzosi ike:Mmepụta oke na-adabere na nguzozi nke otu otu na ma enwere ike imegharị/ịkpụgharịghachi ihe n'ụzọ kwesịrị ekwesị.

4) Isi ihe nyocha na-abata

• Ọdịdị na ọnọdụ elu:oghere dị n'ime oghere, oghere dị n'ime oghere, udidi "oke/azụ", mgbanwe agba/isi awọ mpaghara

• Ọkpụrụkpụ na otu:nsọtụ, nkuku, na ala bụ ebe ndị kacha dị gịrịgịrị

• Ike njikọ / iguzogide ujo okpomọkụ:A ga-akọwa ụzọ nnwale doro anya na njirisi mkpofu/ajụ

• Microcracks na porosity:(edepụtara ya na ihe ndị dị n'elu n'omume)

• Njikwa mmetọ:ihe ndị na-adịghị ọcha nke ígwè, ihe fọdụrụ n'ime halogen, na ọkwa ịdị ọcha nke ihe ndị ahụ kwesịrị ịchọpụta.