Ìtọ́sọ́nà Àṣàyàn Àwòrán Gíráfítì Tí A Bo TaC

Nínú ohun èlò ìdàgbàsókè kírísítà oníwọ̀n otútù àti ohun èlò epitaxy/deposition, graphite crucible máa ń kó ipa mẹ́ta lẹ́ẹ̀kan náà: ààlà ooru, ìfọwọ́sowọ́pọ̀ ìṣesí, àti orísun ìbàjẹ́ tó ṣeé ṣe. / ìdínà ìbàjẹ́. Ìdí nìyíÀwọn ọkọ̀ ojú omi graphite tí a fi TaC boń di ohun tí ó wọ́pọ̀ sí i—ìpele TaC kan ń fúnni ní agbára ìgbóná tí ó ga jùlọ, resistance ipata ti o lagbara sii, àti dídá ìṣíkiri àìmọ́ dúró dáadáa, ní pípa àwọn àǹfààní ti graphite mọ́ nígbàtí ó ń dín àwọn àìlera rẹ̀ kù.

1) Àwọn Ìṣòro wo ni Aṣọ TaC le yanjú?

A. Àìfaradà ìjẹrà
Bí a bá wo ìdàgbàsókè SiC àti àwọn ìlànà epitaxy tó jọra gẹ́gẹ́ bí àpẹẹrẹ, àwọn irúgbìn tó ní silicon ní iwọ̀n otútù gíga—pẹ̀lú hydrogen àti àwọn kẹ́míkà halogen tó ṣeé ṣe—lè fa ìbàjẹ́ àti ìbàjẹ́ iṣẹ́ àwọn èròjà graphite. Àwọn ìròyìn ilé iṣẹ́ tún ṣàkíyèsí pé nínú afẹ́fẹ́ tó ní silicon, tó sì ní ìbàjẹ́ ju 2000°C lọ, àwọn ohun èlò graphite lè bàjẹ́ gidigidi lẹ́yìn ìgbà díẹ̀, nígbà tí àwọn ohun èlò bíi TaC lè mú kí agbára wọn pọ̀ sí i.

B. Àwọn èròjà tí a dínkù àti ìrìnàjò erogba
Nígbà tí àwọn èròjà graphite tàbí ìṣíkiri erogba bá wọ inú ìsopọ̀ ìdàgbàsókè tàbí agbègbè ìfipamọ́, wọ́n lè farahàn ní tààràtà gẹ́gẹ́ bí àbùkù, àwọn ìfàsẹ́yìn, ìwọ̀n ìyípadà gíga, àti pé ó lè fa ìbàjẹ́ yàrá tí kò ṣeé yípadà. Gẹ́gẹ́ bí ìpele ìdènà, ète TaC ni láti jẹ́ kí ìdúróṣinṣin ooru àti àìfaradà ojú ní ìta jẹ́ ohun tí a lè ṣàkóso. Àwọn ìwádìí tí ń lọ lọ́wọ́ tún ròyìn pé àwọn ìbòrí TaC ń ran lọ́wọ́ láti dín ìbàjẹ́ graphite/ìbàjẹ́ ìṣètò àti láti mú ìdúróṣinṣin ooru dara síi ní àwọn àyíká ìdàgbàsókè kristali.

C. Ferese Ilana To Gbangba
Ọ̀pọ̀ ènìyàn máa ń lo àwọn ohun èlò ìfọṣọ gẹ́gẹ́ bí ohun èlò tí a lè lò, ṣùgbọ́n ní ìṣe wọ́n máa ń ṣe bí“àwọn olùpèsè ipò ààlà“.Tí ojú ilẹ̀ tí a fi ń so mọ́lẹ̀ bá dúró ṣinṣin, àwọn ìṣesí ooru àti gáàsì-ìpele máa ń jẹ́ kí ó tún ṣeé tún ṣe. Nígbà tí ìsopọ̀ ìbòrí kò bá tó—tó ń yọrí sí àwọn microcracks tàbí ìfàsẹ́yìn àgbègbè—ìyípadà ilana sábà máa ń bẹ̀rẹ̀ níbẹ̀. Ìwádìí pàtàkì lórí agbára ìsopọ̀ ìbòrí-graphite interfacial ti jíròrò rẹ̀ gẹ́gẹ́ bí ohun pàtàkì tó ń nípa lórí iṣẹ́ ìdàgbàsókè kan ṣoṣo.

2) Níbo ni ó yẹ jùlọ?

• Afẹ́fẹ́ tó ga jùlọ, tó sì ń ba nǹkan jẹ́ gidigidi

• Awọn igbesẹ idagbasoke/itusilẹ jẹ o ni ifaragba pupọ si awọn patikulu ati awọn idoti irin

• Awọn laini iṣelọpọ iwọn didun giga ti o nilo igbesi aye gigun ati iduroṣinṣin ti o muna

3) Báwo ni a ṣe le yan Crucible Graphite tí a fi TaC bo

Àwọ̀ TaC kìí ṣe ọ̀nà ìṣiṣẹ́ kan ṣoṣo tí ó “bá gbogbo ènìyàn mu”. Nípa lílo CVD gẹ́gẹ́ bí àpẹẹrẹ, ìwé ti pèsè ìjíròrò onípele lórí ìfipamọ́ CVD àti ìṣàfihàn iṣẹ́ TaC/SiC lórí àwọn ohun èlò ìṣàpẹẹrẹ graphite.

Awọn ọna oriṣiriṣi yoo mu awọn abajade oriṣiriṣi wa:

• Ìwọ̀n àti ìfúnpọ̀:Bí ìbòrí náà bá ṣe le koko tó, bẹ́ẹ̀ náà ni yóò ṣe dí ìdíbàjẹ́ tí àwọn gáàsì/èéfín yóò fi wọ inú rẹ̀ lọ́nà tí kò lọ́ra.

• Sisanra ati wahala:bí sisanra ṣe ń pọ̀ sí i, wàhálà ooru àti ewu ìfọ́ ara tún ń pọ̀ sí i, èyí sì ń béèrè fún ìṣàkóso ilana tó dára jù.

• Atunṣe ati iduroṣinṣin:Iṣẹ́jade ibi-pupọ da lori ibamu ipele-si-ipele ati boya a le ṣe atunṣe/atunkọ awọ ni igbẹkẹle.

4) Awọn ilana ayewo pataki ti nwọle

• Ìrísí àti ipò ojú ilẹ̀:ihò ihò, ihò ìsàlẹ̀, ìrísí “ìwọ̀n/ìwọ̀n ẹja”, ìyípadà àwọ̀/ewé ní ​​agbègbè

• Sisanra ati iṣọkan:Àwọn etí, igun, àti ìsàlẹ̀ ni àwọn agbègbè tó ṣeé ṣe kí ó tinrin jùlọ

• Agbara ìdè / resistance mọnamọna ooru:Àwọn ọ̀nà ìdánwò tó ṣe kedere àti àwọn ìlànà ìfọ́/ìkọ̀sílẹ̀ gbọ́dọ̀ wà ní ìtumọ̀

• Àwọn ìfọ́ kékeré àti ìfọ́:(tí a kọ pẹ̀lú àwọn ohun tí a mẹ́nu kàn lókè yìí ní ìṣe)

• Iṣakoso idoti:Àwọn ohun ìdọ̀tí irin, àwọn ìyókù halogen, àti ìpele ìmọ́tótó àwọn ohun èlò ìpalára yẹ kí a tọ́pasẹ̀ wọn