Дастури интихоби табақи графитӣ бо пӯшонидашудаи TaC

Дар таҷҳизоти парвариши кристаллҳои ҳарорати баланд ва эпитаксия/ҷойгиркунӣ, тигели графитӣ якбора се нақшро мебозад: сарҳади гармӣ, интерфейси реаксия ва манбаи эҳтимолии ифлосшавӣ. / монеаи ифлосшавӣ. Аз ин рӯТахтаҳои графити бо TaC пӯшонидашудаторафт маъмултар шуда истодаанд - қабати TaC қобилияти ҳарорати баландтарро пешниҳод мекунад, муқовимати қавитар ба зангзанӣ, ва беҳтар пахш кардани муҳоҷирати ифлосӣ, нигоҳ доштани бартариҳои графит ва коҳиш додани нуқсонҳои он.

1) Рӯйпӯши TaC кадом мушкилотро ҳал карда метавонад?

A. Муқовимат ба зангзанӣ
Бо назардошти афзоиши SiC ва равандҳои марбут ба эпитаксия, намудҳои дорои кремний дар ҳарорати баланд - дар якҷоягӣ бо кимиёвии гидроген ва эҳтимолан галоген - метавонанд ба зангзании пайваста ва паст шудани самаранокии ҷузъҳои графит оварда расонанд. Гузоришҳои саноатӣ инчунин қайд мекунанд, ки дар атмосфераи зангзанандаи бой аз кремний аз 2000°C болотар, таги графит метавонанд пас аз чанд давра ба таври ҷиддӣ вайрон шаванд, дар ҳоле ки рӯйпӯшҳо ба монанди TaC метавонанд устувориро ба таври назаррас беҳтар кунанд.

B. Зарраҳои камшуда ва муҳоҷирати карбон
Пас аз ворид шудани зарраҳои графит ё муҳоҷирати карбон ба интерфейси афзоиш ё минтақаи таҳшиншавӣ, онҳо метавонанд мустақиман ҳамчун нуқсонҳо, дохилшавӣ, зичии баланди дислокатсия зоҳир шаванд ва ҳатто метавонанд боиси ифлосшавии бебозгашти камера шаванд. Ҳамчун қабати монеа, ҳадафи TaC ин аст, ки устувории гармӣ ва инертии интерфейсро бештар назоратшаванда гардонад. Таҳқиқоти идомаёбанда инчунин гузориш медиҳанд, ки пӯшишҳои TaC ба пешгирии сублиматсия/деградатсияи сохтории графит ва беҳтар кардани устувории гармӣ дар муҳити афзоиши кристалл мусоидат мекунанд. 2

C. Равзанаи васеътари раванд
Бисёриҳо ба тигелҳо ҳамчун маводи истеъмолӣ муносибат мекунанд, аммо дар амал онҳо ҳамчун"генераторҳои шароити сарҳадӣ."Вақте ки сатҳи тигель устувор мемонад, майдони гармӣ ва реаксияҳои фазаи газӣ такроршавандатар мешаванд. Вақте ки часпиши рӯйпӯш нокифоя аст, ки боиси пайдоиши микрошикофҳо ё воридшавии маҳаллӣ мегардад, аксар вақт раванди лағжиш аз он ҷо оғоз мешавад. Тадқиқоти махсус оид ба мустаҳкамии пайванди байнисатҳии рӯйпӯш-графит аллакай онро ҳамчун тағирёбандаи калидӣ, ки ба самаранокии афзоиши монокристалл таъсир мерасонад, баррасӣ кардаанд.

2) Дар куҷо мувофиқтар аст?

• Атмосфераҳои ҳарорати хеле баланд ва хеле зангзананда

• Қадамҳои афзоиш/ҷойгиршавӣ ба зарраҳо ва ифлосҳои металлӣ хеле ҳассосанд

• Хатҳои истеҳсолии ҳаҷми баланд мӯҳлати хизмати дарозтар ва мутобиқати сахттарро талаб мекунанд

3) Чӣ тавр интихоб кардани силиндраи графити бо пӯшонидашудаи TaC

Пӯшиши TaC як роҳи ягонаи раванди "як андоза барои ҳама" нест. Бо истифода аз CVD ҳамчун мисол, адабиёт баҳси нисбатан систематикиро дар бораи ҷойгиршавии CVD ва тавсифи самаранокии TaC/SiC дар субстратҳои графитӣ пешниҳод кардааст.

Роҳҳои гуногун ба натиҷаҳои гуногун оварда мерасонанд:

• Зичӣ ва гузаронандагӣ:Ҳар қадар пӯшиш зичтар бошад, ҳамон қадар беҳтар зангзании сусти газҳо/буғҳоро пешгирӣ мекунад.

• Ғафсӣ ва фишор:бо афзоиши ғафсӣ, фишори гармӣ ва хатари кафидан низ меафзояд, ки назорати беҳтари равандро талаб мекунад.

• Қобилияти таъмир ва устуворӣ:Истеҳсоли оммавӣ аз мувофиқати партия ба партия ва оё имконпазир аст, ки коркарди дубора/пӯшиши дубора боэътимод анҷом дода шавад, вобаста аст.

4) Меъёрҳои асосии санҷиши воридотӣ

• Намуди зоҳирӣ ва ҳолати сатҳ:сӯрохиҳои сӯзанӣ, чуқурчаҳо, сохтори «пӯлод/моҳӣмонанд», тағйирёбии маҳаллии ранг/хокистаррангшавӣ

• Ғафсӣ ва якрангӣ:канорҳо, кунҷҳо ва поёни он минтақаҳое мебошанд, ки эҳтимолан бориктар бошанд

• Муқовимати мустаҳкамӣ / муқовимати зарбаи гармӣ:усулҳои возеҳи санҷиш ва меъёрҳои партов/рад бояд муайян карда шаванд

• Микрошишҳо ва сӯрохнокӣ:(дар амал якҷоя бо боло номбар шудааст)

• Назорати ифлосшавӣ:ифлосҳои металлӣ, боқимондаҳои галоген ва сатҳи тозагии зарраҳо бояд ҳама пайгирӣ карда шаванд