Gid Seleksyon Crucible Grafit Kouvwi ak TaC

Nan ekipman kwasans kristal ak epitaksi/depozisyon nan tanperati ki wo, yon kribib grafit jwe twa wòl an menm tan: yon limit tèmik, yon koòdone reyaksyon, ak yon sous kontaminasyon potansyèl. / baryè kontaminasyon. Se poutèt saKribib grafit kouvri ak TaCap vin pi plis komen—yon kouch TaC ofri yon kapasite tanperati ki pi wo, pi fò rezistans korozyon, ak pi bon sipresyon migrasyon enpurte, kenbe avantaj grafit la pandan y ap diminye feblès li yo.

1) Ki pwoblèm yon kouch TaC ka rezoud?

A. Rezistans korozyon
Si nou pran kwasans SiC ak pwosesis epitaksi ki gen rapò ak li kòm egzanp, espès ki gen Silisyòm nan tanperati ki wo—ansanm ak idwojèn ak potansyèlman pwodui chimik alojèn—ka mennen nan korozyon kontinyèl ak degradasyon pèfòmans konpozan grafit yo. Rapò endistri yo note tou ke nan atmosfè koroziv ki rich an Silisyòm ki pi wo pase 2000°C, krisèl grafit yo ka degrade anpil apre sèlman kèk sik, alòske kouch tankou TaC ka amelyore rezistans yo anpil.

B. Patikil Redwi ak Migrasyon Kabòn
Yon fwa patikil grafit yo oswa migrasyon kabòn nan antre nan koòdone kwasans lan oswa zòn depo a, yo ka parèt dirèkteman kòm domaj, enklizyon, pi gwo dansite dislokasyon, e yo ka menm deklanche kontaminasyon irevokabl chanm lan. Kòm yon kouch baryè, objektif TaC a se fè estabilite tèmik ak inèsi entèfasyal la pi fasil pou kontwole. Etid ki kontinye yo rapòte tou ke kouch TaC yo ede siprime siblimasyon grafit/degradasyon estriktirèl epi amelyore estabilite tèmik nan anviwònman kwasans kristal yo. ②

C. Yon Fenèt Pwosesis Ki Pi Laj
Anpil moun trete kribib kòm konsomab, men an pratik yo aji kòm"dèlko kondisyon limit.”Lè sifas krisòl la rete estab, chan tèmik la ak reyaksyon faz gaz yo vin pi fasil pou repete. Lè adezyon kouch la pa sifi—sa ki lakòz mikwo-fant oswa pèmeyasyon lokalize—souvan pwosesis la kòmanse derive. Rechèch espesyal sou fòs lyezon entèfasyal kouch-grafit la deja diskite sou li kòm yon varyab kle ki afekte pèfòmans kwasans monokristal.

2) Ki kote li pi apwopriye?

• Atmosfè tanperati ultra-wo, trè koroziv

• Etap kwasans/depozisyon yo trè sansib a patikil ak enpurte metalik yo

• Liy pwodiksyon gwo volim ki mande yon dire lavi ki pi long ak yon konsistans ki pi sere.

3) Kijan pou chwazi yon krez grafit kouvri ak TaC

Kouch TaC a pa yon sèl pwosesis ki "anfòm tout moun". Lè nou pran CVD kòm egzanp, literati a bay yon diskisyon relativman sistematik sou depo CVD ak karakterizasyon pèfòmans TaC/SiC sou substrats grafit.

Diferan wout mennen nan diferan rezilta:

• Dansite ak pèmeyabilite:Plis kouch la dans, se pi byen li bloke korozyon pèmeyasyon dousman pa gaz/vapè.

• Epesè ak estrès:Tank epesè a ap ogmante, estrès tèmik ak risk pou fann ogmante tou, sa ki mande pi bon kontwòl pwosesis la.

• Reparablite ak konsistans:pwodiksyon an mas depann de konsistans de pakèt a pakèt epi si retravay/rekouvri ka fèt yon fason fyab.

4) Kritè Enspeksyon Kle yo pou Antre

• Aparans ak kondisyon sifas:twou zegwi, pike, teksti "kal/kal pwason", dekolorasyon lokalize/gri

• Epesè ak inifòmite:kwen yo, kwen yo, ak anba a se zòn ki gen plis chans pou yo mens

• Fòs lyezon / rezistans chòk tèmik:Yo dwe defini metòd tès klè ak kritè pou dechè/rejè

• Mikwo-fant ak porosit:(ki nan lis ansanm ak sa ki anwo yo nan pratik)

• Kontwòl kontaminasyon:enpurte metalik, rezidi alojèn, ak nivo pwòpte patikil yo ta dwe tout trasabl