Mwongozo wa Uteuzi wa Grafiti Iliyofunikwa na TaC

Katika vifaa vya ukuaji wa fuwele na epitaksi/utuaji wa halijoto ya juu, kifaa cha kusulubisha cha grafiti kina majukumu matatu kwa wakati mmoja: mpaka wa joto, kiolesura cha mmenyuko, na chanzo kinachoweza kusababisha uchafuzi. / kizuizi cha uchafuzi. Hii ndiyo sababuVipande vya grafiti vilivyofunikwa na TaCzinazidi kuwa za kawaida—safu ya TaC hutoa uwezo wa juu wa halijoto, upinzani mkubwa wa kutu, na kukandamiza vyema uhamiaji wa uchafu, kudumisha faida za grafiti huku ikipunguza udhaifu wake.

1) Je, ni Matatizo Gani Yanayoweza Kutatuliwa na Mipako ya TaC?

A. Upinzani wa Kutu
Kwa kuchukua ukuaji wa SiC na michakato inayohusiana ya epitaksi kama mfano, spishi zenye silikoni katika halijoto ya juu—pamoja na hidrojeni na kemikali zinazoweza kuwa halojeni—zinaweza kusababisha kutu unaoendelea na uharibifu wa utendaji wa vipengele vya grafiti. Ripoti za tasnia pia zinabainisha kuwa katika angahewa zenye ukali na silicon nyingi zaidi ya 2000°C, vinu vya grafiti vinaweza kuharibika vibaya baada ya mizunguko michache tu, huku mipako kama vile TaC ikiweza kuboresha uimara kwa kiasi kikubwa.

B. Chembe Zilizopunguzwa na Uhamaji wa Kaboni
Mara tu chembe za grafiti au uhamiaji wa kaboni zinapoingia kwenye kiolesura cha ukuaji au eneo la utuaji, zinaweza kuonekana moja kwa moja kama kasoro, viambatisho, msongamano mkubwa wa kutengana, na zinaweza hata kusababisha uchafuzi usioweza kurekebishwa wa chumba. Kama safu ya kizuizi, lengo la TaC ni kufanya utulivu wa joto na uimara wa uso wa uso kudhibitiwa zaidi. Uchunguzi unaoendelea pia unaripoti mipako ya TaC inayosaidia kukandamiza usablimishaji wa grafiti/uharibifu wa kimuundo na kuboresha utulivu wa joto katika mazingira ya ukuaji wa fuwele. ②

C. Dirisha la Mchakato Pana Zaidi
Watu wengi huchukulia vitu vya kuchomea kama vitu vinavyoweza kuliwa, lakini katika utendaji wao hufanya kama"jenereta za hali ya mipaka". . . ."Wakati uso unaoweza kusulubiwa unabaki imara, athari za uwanja wa joto na awamu ya gesi zinaweza kurudiwa zaidi. Wakati mshikamano wa mipako hautoshi—na kusababisha michubuko midogo au upenyezaji wa ndani—mtiririko wa mchakato mara nyingi huanza hapo. Utafiti maalum kuhusu nguvu ya kuunganisha kati ya mipako-grafiti tayari umeijadili kama kigezo muhimu kinachoathiri utendaji wa ukuaji wa fuwele moja.

2) Inafaa Zaidi Wapi?

• Halijoto ya juu sana, angahewa zenye babuzi nyingi

• Hatua za ukuaji/uwekaji wa vitu nyeti sana kwa chembe na uchafu wa metali

• Mistari ya uzalishaji wa kiasi kikubwa inayohitaji muda mrefu zaidi wa maisha na uthabiti mkali

3) Jinsi ya Kuchagua Kifaa cha Kuchomea Grafiti Kilichofunikwa na TaC

Mipako ya TaC si njia moja ya mchakato wa "saizi moja inafaa wote". Kwa kutumia CVD kama mfano, fasihi imetoa majadiliano ya kimfumo kuhusu uwekaji wa CVD na uainishaji wa utendaji wa TaC/SiC kwenye substrates za grafiti.

Njia tofauti husababisha matokeo tofauti:

• Uzito na upenyezaji:Kadiri mipako inavyozidi kuwa mnene, ndivyo inavyozuia kutu inayoingia polepole na gesi/mvuke.

• Unene na msongo wa mawazo:kadri unene unavyoongezeka, msongo wa joto na hatari ya kupasuka pia huongezeka, ikihitaji udhibiti bora wa mchakato.

• Urekebishaji na uthabiti:Uzalishaji wa wingi hutegemea uthabiti wa kundi hadi kundi na kama kazi upya/upako upya unaweza kufanywa kwa uhakika.

4）Vigezo Muhimu vya Ukaguzi Unaoingia

• Muonekano na hali ya uso:mashimo ya vijiti, mashimo, umbile la "magamba/magamba ya samaki", kubadilika rangi/kijivu katika eneo husika

• Unene na usawa:kingo, pembe, na chini ndio maeneo ambayo yana uwezekano mkubwa wa kuwa membamba

• Nguvu ya dhamana / upinzani wa mshtuko wa joto:Mbinu za majaribio zilizo wazi na vigezo vya chakavu/kukataliwa lazima vifafanuliwe

• Mipasuko midogo na unyeo:(zimeorodheshwa pamoja na zilizo hapo juu katika vitendo)

• Udhibiti wa uchafuzi:uchafu wa metali, mabaki ya halojeni, na kiwango cha usafi wa chembe vyote vinapaswa kufuatiliwa