TaC bilen örtülen grafit kružili saýlamak boýunça gollanma

Ýokary temperaturaly kristallaryň ösmegi we epitaksiýa/çökündi enjamlarynda grafit tigel birbada üç rol oýnaýar: termal serhet, reaksiýa serhedi we mümkin bolan hapalanma çeşmesi / hapalanma päsgelçiligi. Şonuň üçinTaC bilen örtülen grafit kružinalarybarha köp ýaýraýar - TaC gatlagy has ýokary temperatura mümkinçiligini hödürleýär, has güýçli korroziýa garşylygy, we grafidiň artykmaçlyklaryny saklap galmak bilen birlikde onuň gowşak taraplaryny azaltmak arkaly hapaçylyklaryň göçüşiniň has gowy basylyp ýatyrylmagy.

1) TaC örtügi nähili meseleleri çözüp biler?

A. Korroziýa garşylygy
Mysal hökmünde SiC ösüşini we degişli epitaksiýa proseslerini alsak, ýokary temperaturada kremniý saklaýan görnüşler — wodorod we potensial galogen himiýalary bilen bilelikde — grafit bölekleriniň dowamly poslamagyna we işiniň pese gaçmagyna getirip biler. Senagat hasabatlarynda şeýle hem kremniý baý, 2000°C-den ýokary poslaýan atmosferalarda grafit kružkalarynyň bary-ýogy birnäçe siklden soň güýçli zaýalanmagy mümkindigi, TaC ýaly örtükleriň bolsa çydamlylygyny ep-esli ýokarlandyryp biljekdigi bellenilýär.

B. Kiçeldilen bölejikler we uglerod migrasiýasy
Grafit bölejikleri ýa-da uglerod migrasiýasy ösüş serhedine ýa-da çökündi zolagyna girenden soň, olar gönüden-göni kemçilikler, goşulmalar, ýokary dislokasiýa dykyzlygy hökmünde ýüze çykyp biler we hatda gaýtaryp bolmajak kamera hapalanmagyna sebäp bolup biler. Barýer gatlagy hökmünde TaC-niň maksady termal durnuklylygy we serhet aralygynyň inertligini has gözegçilikde saklamakdyr. Şeýle hem dowam edýän gözlegler TaC örtükleriniň grafit sublimasiýasyny / gurluş dargamasyny basyp ýatyrmaga we kristal ösüş gurşawynda termal durnuklylygy gowulandyrmaga kömek edýändigini habar berýär. 2

C. Has giň proses penjiresi
Köp adamlar tigellere sarp edilýän zatlar hökmünde garaýarlar, ýöne iş ýüzünde olar şeýle hereket edýärler“serhet şertleriniň generatorlary.”Tigeliň ýüzi durnukly bolanda, termal meýdan we gaz fazasy reaksiýalary has gaýtalanýan bolýar. Örtük ýelmeşmesi ýeterlik bolmadyk mahaly - mikroýaryklara ýa-da ýerli siňdirişe sebäp bolanda - prosesiň süýşmegi köplenç şol ýerden başlaýar. Örtük-grafit serhet baglanyşygynyň güýji boýunça ýörite gözleglerde ony monokristal ösüş işine täsir edýän esasy üýtgeýji hökmünde ara alnyp maslahatlaşyldy.

2) Iň amatly ýeri nirede?

• Ultra ýokary temperaturaly, ýokary derejede korroziýa ediji atmosferalar

• Ösüş/çöküntü basgançaklary bölejiklere we metal garyndylaryna örän duýgur

• Uzak ömür we berk yzygiderlilik talap edýän ýokary göwrümli önümçilik liniýalary

3) TaC bilen örtülen grafit kružili nädip saýlamaly

TaC örtügi ýeke-täk "hemmelere laýyk gelýän" proses usuly däl. Mysal hökmünde CVD ulanylyp, edebiýatda CVD çökündisi we grafit substratlarynda TaC/SiC-niň iş häsiýetnamasy barada deňeşdirme boýunça ulgamlaýyn ara alnyp maslahatlaşylýar.

Dürli ýollar dürli netijelere getirýär:

• Dykyzlyk we geçirijilik:örtük näçe dykyz bolsa, şonça-da gowy gazlaryň/buglaryň haýal geçirişiniň poslamasynyň öňüni alýar.

• Galyňlyk we stres:galyňlygy artdygyça, termal stres we ýarylma howpy hem ýokarlanýar, bu bolsa prosesiň has gowy dolandyrylmagyny talap edýär.

• Düzedilip bilinmegi we yzygiderliligi:Köpçülikleýin önümçilik tapgyrlaýyn yzygiderlilige we gaýtadan işlemegiň/gaýtadan örtügiň ygtybarly ýerine ýetirilip bilinjekdigine baglydyr.

4） Giriş barlagynyň esasy ölçegleri

• Daşky görnüşi we ýüz ýagdaýy:iňňe deşikler, çukurjyklar, “gabyk/balyk pulcugy” tekstura, ýerli reňk üýtgemesi/çalarlaşma

• Galyňlygy we birmeňzeşligi:gyralary, burçlary we aşaky bölegi inçe bolmagy mümkin ýerlerdir

• Baglanyşyk güýji / termal şoka garşylyk:anyk synag usullary we galyndylaryň/ret edilmek şertleri kesgitlenmeli

• Mikro çatlaklar we gözeneklilik:(iş ýüzünde ýokardakylar bilen bilelikde sanap geçilýär)

• Hapalanmanyň öňüni alyş:metal garyndylary, galogen galyndylary we bölejikleriň arassalyk derejesi yzarlanyp bilinmelidir