اعليٰ درجه حرارت واري ڪرسٽل جي واڌ ۽ ايپيٽيڪسي/جمع ڪرڻ واري سامان ۾، هڪ گريفائيٽ ڪروسيبل هڪ ئي وقت ٽي ڪردار ادا ڪري ٿو: هڪ حرارتي حد، هڪ رد عمل انٽرفيس، ۽ هڪ امڪاني آلودگي جو ذريعو. / آلودگي جي رڪاوٽ. اهو ئي سبب آهيٽي سي سان ڍڪيل گريفائيٽ ڪروسيبلزوڌيڪ عام ٿي رهيا آهن - هڪ TaC پرت وڌيڪ گرمي پد جي صلاحيت پيش ڪري ٿي, مضبوط سنکنرن جي مزاحمت, ۽ نجاست جي منتقلي کي بهتر طور تي دٻائڻ، گريفائيٽ جي فائدن کي برقرار رکندي ان جي ڪمزورين کي گهٽائيندي.
1) ٽي سي ڪوٽنگ ڪهڙا مسئلا حل ڪري سگهي ٿي؟
الف. سنکنرن جي مزاحمت
مثال طور SiC جي واڌ ۽ لاڳاپيل ايپيٽيڪسي عملن کي وٺندي، اعليٰ درجه حرارت تي سلڪون تي مشتمل جنسون - هائيڊروجن ۽ امڪاني طور تي هالوجن ڪيمسٽري سان گڏ - گريفائٽ اجزاء جي مسلسل سنکنرن ۽ ڪارڪردگي جي خرابي جو سبب بڻجي سگهن ٿيون. انڊسٽري رپورٽون اهو پڻ نوٽ ڪن ٿيون ته 2000 ° C کان مٿي سلڪون سان مالا مال، سنکنرن واري ماحول ۾، گريفائٽ ڪروسيبل صرف ڪجهه چڪرن کان پوءِ سخت خراب ٿي سگهن ٿا، جڏهن ته TaC جهڙيون ڪوٽنگون استحڪام کي خاص طور تي بهتر بڻائي سگهن ٿيون.
ب. گھٽيل ذرڙا ۽ ڪاربن جي لڏپلاڻ
هڪ ڀيرو گريفائيٽ ذرڙا يا ڪاربن جي منتقلي واڌ جي انٽرفيس يا جمع زون ۾ داخل ٿئي ٿي، اهي سڌو سنئون خرابين، شموليت، وڌيڪ خلل جي کثافت جي طور تي ظاهر ٿي سگهن ٿا، ۽ شايد ناقابل واپسي چيمبر آلودگي کي به متحرڪ ڪري سگهن ٿا. هڪ رڪاوٽ پرت جي طور تي، TaC جو مقصد حرارتي استحڪام ۽ انٽرفيشل انرٽينس کي وڌيڪ ڪنٽرول ڪرڻ آهي. جاري مطالعي ۾ پڻ رپورٽ ڪئي وئي آهي ته TaC ڪوٽنگون گريفائيٽ سبليميشن / ساخت جي خرابي کي دٻائڻ ۾ مدد ڪن ٿيون ۽ ڪرسٽل واڌ جي ماحول ۾ حرارتي استحڪام کي بهتر بڻائين ٿيون. ②
ج. هڪ وسيع عمل ونڊو
گھڻا ماڻهو ڪروسيبلز کي استعمال جي شين جي طور تي سمجهن ٿا، پر عملي طور تي اهي ڪم ڪن ٿا"بائونڊري-ڪنڊيشن جنريٽر"جڏهن ڪروسيبل مٿاڇري مستحڪم رهي ٿي، ته حرارتي ميدان ۽ گئس-فيز رد عمل وڌيڪ ورجائي سگهجن ٿا. جڏهن ڪوٽنگ جي چپکڻ ڪافي نه هوندي آهي - مائڪرو ڪرڪس يا مقامي پرميشن جي ڪري - عمل جي وهڪري اڪثر اتي شروع ٿيندي آهي. ڪوٽنگ-گريفائيٽ انٽرفيشل بانڊنگ طاقت تي وقف تحقيق اڳ ۾ ئي ان تي بحث ڪري چڪي آهي ته هڪ اهم متغير طور تي جيڪو سنگل-ڪرسٽل واڌ جي ڪارڪردگي کي متاثر ڪري ٿو.
2) ڪٿي اهو سڀ کان وڌيڪ مناسب آهي؟
-
انتهائي تيز گرمي پد، انتهائي خراب ڪندڙ ماحول
-
واڌ/جمع ڪرڻ جا مرحلا ذرڙن ۽ ڌاتو جي نجاستن لاءِ انتهائي حساس آهن.
-
وڏي مقدار ۾ پيداوار جون لائينون جن کي وڌيڪ عمر ۽ سخت مستقل مزاجي جي ضرورت آهي
3) ٽي سي ڪوٽيڊ گريفائيٽ ڪروسيبل ڪيئن چونڊيو
TaC ڪوٽنگ هڪ واحد "هڪ سائيز-سڀني لاءِ مناسب" عمل جو رستو ناهي. CVD کي مثال طور استعمال ڪندي، ادب گرافائٽ سبسٽريٽس تي TaC/SiC جي CVD جمع ۽ ڪارڪردگي جي خاصيت تي نسبتاً منظم بحث فراهم ڪيو آهي.
مختلف رستا مختلف نتيجن ڏانهن وٺي ويندا آهن:
-
کثافت ۽ پارگميتا:ڪوٽنگ جيتري گهاٽي هوندي، اوترو ئي بهتر اهو گيسن/بخار ذريعي سست رطوبت کي روڪيندو.
-
ٿولهه ۽ دٻاءُ:جيئن ٿلهي وڌندي آهي، حرارتي دٻاءُ ۽ ڀڃڻ جو خطرو پڻ وڌي ويندو آهي، جنهن لاءِ بهتر عمل ڪنٽرول جي ضرورت هوندي آهي.
-
مرمت جي صلاحيت ۽ تسلسل:وڏي پيماني تي پيداوار بيچ کان بيچ جي تسلسل تي منحصر آهي ۽ ڇا ٻيهر ڪم/ريڪوٽنگ قابل اعتماد طريقي سان ڪري سگهجي ٿي.
4) اهم ايندڙ چڪاس معيار
-
ظاهر ۽ مٿاڇري جي حالت:سوراخ، کڏ، "اسڪيل/مڇي جي پيماني" جي بناوت، مقامي رنگت/ڀوري رنگت
-
ٿولهه ۽ هڪجهڙائي:ڪنارا، ڪنڊا، ۽ هيٺيون اهي علائقا آهن جيڪي پتلي هجڻ جو امڪان تمام گهڻو آهي.
-
بانڊ جي طاقت / حرارتي جھٽڪي جي مزاحمت:واضح ٽيسٽ طريقا ۽ اسڪريپ/رد ڪرڻ جا معيار بيان ڪيا وڃن.
-
مائڪرو ڪرڪس ۽ پورسيٽي:(مٿي ڏنل عملي طور تي گڏ درج ٿيل)
-
آلودگي ڪنٽرول:ڌاتو جي نجاست، هيلوجن جي باقيات، ۽ ذرات جي صفائي جي سطح سڀني کي ڳولهي سگهجي ٿو
5) ڊيزائن-سطح جا خيال
-
تيز ڪنڊون / ڪنارا:دٻاءُ جو ڪنسنٽريشن؛ ٿرمل سائيڪلنگ کان پوءِ ٽٽڻ جو امڪان تمام گهڻو آهي
-
گهڻيون پتلي ڀتيون يا اوچتو ٿلهي ۾ تبديليون:وڌيڪ انتهائي حرارتي گريڊينٽس؛ مضبوط ڪوٽنگ ٽينسل دٻاءُ
-
ڪلمپنگ/رابطي جون سطحون:رگڙ + حرارتي سائيڪلنگ = هڪ پارٽيڪل جنريٽر؛ مطابق رابطي جي ڊيزائن کي ڪنٽرول ڪريو
پوسٽ جو وقت: جنوري-28-2026