וואָס זענען די זעקס סיסטעמען פון אַן איינציק קריסטאַל אויוון

אן איינציק-קריסטאל אויוון איז א מיטל וואס ניצט אגראַפיט כיטערצו צעשמעלצן פּאָליקריסטאַלין סיליקאָן מאַטעריאַלן אין אַן אינערט גאַז (אַרגאָן) סביבה און ניצט די טשאָקראַלסקי מעטאָדע צו וואַקסן ניט-דיסלאָקירט איין קריסטאַלן. עס איז דער הויפּט צוזאַמענגעשטעלט פון די פאלגענדע סיסטעמען:

מעכאנישע טראַנסמיסיע סיסטעם

די מעכאנישע טראַנסמיסיע סיסטעם איז די גרונט אָפּערייטינג סיסטעם פון די איין קריסטאַל אויוון, וואָס איז דער הויפּט פאַראַנטוואָרטלעך פֿאַר קאָנטראָלירן די באַוועגונג פון קריסטאַלן אוןקרוסיבלס, אריינגערעכנט דאס הייבן און ראטירן פון זוימען קריסטאלן און דאס הייבן און ראטירן פוןקרוסיבלסעס קען גענוי צופּאַסן פּאַראַמעטערס ווי די פּאָזיציע, גיכקייט און ראָטאַציע ווינקל פון קריסטאַלן און קרוסיבלס צו ענשור די גלאַט פּראָגרעס פון די קריסטאַל וווּקס פּראָצעס. למשל, אין פאַרשידענע קריסטאַל וווּקס סטאַגעס ווי זוימען, האַלדז-אַרויף, שולטערינג, גלייַך דיאַמעטער וווּקס און טיילינג, די באַוועגונג פון זוימען קריסטאַלן און קרוסיבלס דאַרף זיין גענוי קאַנטראָולד דורך דעם סיסטעם צו טרעפן די פּראָצעס רעקווירעמענץ פון קריסטאַל וווּקס.

הייצונג טעמפּעראַטור קאָנטראָל סיסטעם

דאָס איז איינע פֿון די קערן סיסטעמען פֿון דעם איינציקן קריסטאַל אויוון, וואָס ווערט גענוצט צו שאַפֿן היץ און גענוי קאָנטראָלירן די טעמפּעראַטור אין אויוון. עס איז דער עיקר צוזאַמענגעשטעלט פֿון קאָמפּאָנענטן ווי כיטערס, טעמפּעראַטור סענסאָרן און טעמפּעראַטור קאָנטראָללערס. דער כיטער איז געוויינטלעך געמאַכט פֿון מאַטעריאַלן ווי הויך-ריינקייט גראַפֿיט. נאָכדעם ווי דער וועקסלשטראָם ווערט טראַנספֿאָרמירט און פֿאַרקלענערט צו פֿאַרגרעסערן דעם קראַנט, דזשענערירט דער כיטער היץ צו צעשמעלצן פּאָליקריסטאַלין מאַטעריאַלן ווי פּאָליסיליקאָן אין דעם קרוציבל. דער טעמפּעראַטור סענסאָר מאָניטאָרירט די טעמפּעראַטור ענדערונגען אין אויוון אין פאַקטישער צייט און טראַנסמיטירט דעם טעמפּעראַטור סיגנאַל צום טעמפּעראַטור קאָנטראָללער. דער טעמפּעראַטור קאָנטראָללער קאָנטראָלירט גענוי די הייצונג מאַכט לויט די באַשטימטע טעמפּעראַטור פּאַראַמעטערס און דעם פֿידבעק טעמפּעראַטור סיגנאַל, דערמיט אויפֿהאַלטן די סטאַביליטעט פֿון דער טעמפּעראַטור אין אויוון און צושטעלן אַ פּאַסיק טעמפּעראַטור סביבה פֿאַר קריסטאַל וווּקס.

וואַקוום סיסטעם

די הויפּט פֿונקציע פֿון וואַקוום סיסטעם איז צו שאַפֿן און אויפֿהאַלטן אַ וואַקוום סביבה אין אויוון בעת ​​דעם קריסטאַל וואוקס פּראָצעס. די לופֿט און פֿאַרפּעסטיקונג גאַזן אין אויוון ווערן אַרויסגעצויגן דורך וואַקוום פּאָמפּעס און אַנדערע עקוויפּמענט כּדי צו מאַכן דעם גאַז דרוק אין אויוון דערגרייכן אַן עקסטרעם נידעריקן לעוועל, בכלל אונטער 5TOR (טאָר). דאָס קען פֿאַרהיטן אַז דער סיליקאָן מאַטעריאַל זאָל נישט ווערן אָקסידירט ביי הויכע טעמפּעראַטורן און זיכער מאַכן די ריינקייט און קוואַליטעט פֿון קריסטאַל וואוקס. אין דער זעלבער צייט, איז די וואַקוום סביבה אויך גינסטיק צו באַזײַטיקן די פֿליכטיקע פֿאַרפּעסטיקונגען וואָס ווערן גענערירט בעת דעם קריסטאַל וואוקס פּראָצעס און פֿאַרבעסערן די קוואַליטעט פֿון קריסטאַל.

אַרגאָן סיסטעם

די אַרגאָן סיסטעם שפּילט אַ ראָלע אין באַשיצן און רעגולירן דעם דרוק אין דעם אויוון אין דעם איין-קריסטאַל אויוון. נאָך וואַקוום, ווערט הויך-ריינקייט אַרגאָן גאַז (ריינקייט מוז זיין העכער 6 9) אָנגעפילט אין דעם אויוון. פון איין זייט, קען עס פאַרהיטן דרויסנדיקע לופט פון אַרייַן אין דעם אויוון און פאַרהיטן סיליקאָן מאַטעריאַלן פון ווערן אָקסידירט; פון דער אַנדערער זייט, קען די אָנפילונג פון אַרגאָן גאַז האַלטן דעם דרוק אין דעם אויוון סטאַביל און צושטעלן אַ פּאַסיק דרוק סביבה פֿאַר קריסטאַל וווּקס. אין דערצו, קען דער שטראָם פון אַרגאָן גאַז אויך אַוועקנעמען די היץ וואָס ווערט גענערירט בעת דעם קריסטאַל וווּקס פּראָצעס, שפּילנדיק אַ געוויסע קילונג ראָלע.

וואַסער קיל סיסטעם

די פונקציע פון ​​די וואסער קיל סיסטעם איז צו קילן די פארשידענע הויך-טעמפּעראַטור קאָמפּאָנענטן פון די איין קריסטאַל אויוון צו ענשור די נאָרמאַל אָפּעראַציע און דינסט לעבן פון די ויסריכט. בעשאַס די אָפּעראַציע פון ​​די איין קריסטאַל אויוון, די כיטער,טיגל, עלעקטראָד און אַנדערע קאָמפּאָנענטן וועלן דזשענערירן אַ סך היץ. אויב זיי ווערן נישט אָפּגעקילט אין צייט, וועט די עקוויפּמענט איבערהייצן, דעפאָרמירן אָדער אפילו ווערן געשעדיגט. די וואַסער קיל סיסטעם נעמט אַוועק די היץ פון די קאָמפּאָנענטן דורך צירקולירן קיל וואַסער צו האַלטן די טעמפּעראַטור פון די עקוויפּמענט אין אַ זיכערן ראַם. אין דער זעלבער צייט, קען די וואַסער קיל סיסטעם אויך העלפֿן צו סטרויערן די טעמפּעראַטור אין די אויוון צו פֿאַרבעסערן די אַקיעראַסי פון טעמפּעראַטור קאָנטראָל.

עלעקטרישע קאָנטראָל סיסטעם

די עלעקטרישע קאנטראל סיסטעם איז דער "מוח" פון דעם איינציקן קריסטאל אויוון, פאראנטווארטלעך פארן מאניטארירן און קאנטראלירן די אפעראציע פון ​​דער גאנצער עקוויפמענט. עס קען באקומען סיגנאלן פון פארשידענע סענסארן, ווי טעמפעראטור סענסארן, דרוק סענסארן, פאזיציע סענסארן, א.א.וו., און קאארדינירן און קאנטראלירן די מעכאנישע טראנסמיסיע סיסטעם, הייצונג טעמפעראטור קאנטראל סיסטעם, וואקיום סיסטעם, ארגאן סיסטעם און וואסער קיל סיסטעם באזירט אויף די סיגנאלן. למשל, בעת דעם קריסטאל וואוקס פראצעס, קען די עלעקטרישע קאנטראל סיסטעם אויטאמאטיש צופאסן די הייצונג מאכט לויטן טעמפעראטור סיגנאל וואס ווערט צוריקגעגעבן דורך דעם טעמפעראטור סענסאר; לויטן וואוקס פון דעם קריסטאל, קען עס קאנטראלירן די באוועגונג שנעלקייט און ראטאציע ווינקל פון דעם זוימען קריסטאל און קרוציבל. אין דער זעלבער צייט, האט די עלעקטרישע קאנטראל סיסטעם אויך א חסרון דיאגנאז און שרעק פונקציעס, וואס קענען דעטעקטירן אומנארמאלע באדינגונגען פון דער עקוויפמענט אין צייט און זיכער מאכן די זיכערע אפעראציע פון ​​דער עקוויפמענט.