Кои се шесте системи на еднокристална печка?

Еднокристална печка е уред кој користиграфитен грејачза топење на поликристални силициумски материјали во средина со инертен гас (аргон) и го користи методот на Чохралски за одгледување на недислоцирани монокристали. Главно е составен од следниве системи:

Механички систем за пренос

Механичкиот преносен систем е основниот оперативен систем на еднокристалната печка, кој е главно одговорен за контрола на движењето на кристалите иогноотпорни садови, вклучувајќи го подигнувањето и ротацијата на кристалите-семеници и подигнувањето и ротацијата наогноотпорни садовиМоже прецизно да ги прилагоди параметрите како што се положбата, брзината и аголот на ротација на кристалите и садовите за да обезбеди непречен напредок на процесот на раст на кристалите. На пример, во различни фази на раст на кристалите, како што се сеење, обликување на вратот, обликување на рамената, раст со еднаков дијаметар и обликување на опашката, движењето на кристалите за сеење и садовите за опаѓање треба прецизно да се контролира од овој систем за да се исполнат барањата на процесот за раст на кристалите.

Систем за контрола на температурата на греењето

Ова е еден од основните системи на монокристалната печка, кој се користи за генерирање топлина и прецизно контролирање на температурата во печката. Главно е составен од компоненти како што се грејачи, сензори за температура и контролери на температура. Грејачот обично е направен од материјали како што е графит со висока чистота. Откако наизменичната струја ќе се трансформира и ќе се намали за да се зголеми струјата, грејачот генерира топлина за да се стопат поликристалните материјали како што е полисилициумот во садот. Сензорот за температура ги следи промените на температурата во печката во реално време и го пренесува сигналот за температура до контролерот за температура. Контролерот за температура прецизно ја контролира моќноста на греењето според зададените температурни параметри и сигналот за повратна температура, со што се одржува стабилноста на температурата во печката и се обезбедува соодветна температурна средина за раст на кристалите.

Вакуумски систем

Главната функција на вакуумскиот систем е да создаде и одржува вакуумска средина во печката за време на процесот на раст на кристалите. Воздухот и нечистотиите во печката се извлекуваат преку вакуум пумпи и друга опрема за да се постигне притисок на гасот во печката на екстремно ниско ниво, генерално под 5TOR (torr). Ова може да спречи оксидација на силиконскиот материјал на високи температури и да ја обезбеди чистотата и квалитетот на растот на кристалите. Во исто време, вакуумската средина е исто така погодна за отстранување на испарливи нечистотии генерирани за време на процесот на раст на кристалите и подобрување на квалитетот на кристалот.

Аргонски систем

Аргонскиот систем игра улога во заштитата и регулирањето на притисокот во печката во монокристалната печка. По вакуумирањето, во печката се полни гас аргон со висока чистота (чистотата мора да биде над 6 9). Од една страна, може да спречи влегување на надворешен воздух во печката и да спречи оксидација на силиконските материјали; од друга страна, полнењето со гас аргон може да го одржи притисокот во печката стабилен и да обезбеди соодветна средина за притисок за раст на кристалите. Покрај тоа, протокот на гас аргон може да ја одземе и топлината генерирана за време на процесот на раст на кристалите, играјќи одредена улога на ладење.

Систем за ладење со вода

Функцијата на системот за ладење со вода е да ги лади различните високотемпературни компоненти на монокристалната печка за да се обезбеди нормално работење и работен век на опремата. За време на работата на монокристалната печка, грејачот,сад за прскање, електродата и другите компоненти ќе генерираат многу топлина. Ако не се изладат навреме, опремата ќе се прегрее, ќе се деформира, па дури и ќе се оштети. Системот за ладење со вода ја отстранува топлината од овие компоненти со циркулација на вода за ладење за да се одржи температурата на опремата во безбеден опсег. Во исто време, системот за ладење со вода може да помогне и во прилагодувањето на температурата во печката за да се подобри точноста на контролата на температурата.

Електричен систем за контрола

Електричниот систем за контрола е „мозок“ на монокристалната печка, одговорен за следење и контрола на работата на целата опрема. Може да прима сигнали од различни сензори, како што се сензори за температура, сензори за притисок, сензори за позиција итн., и да го координира и контролира механичкиот преносен систем, системот за контрола на температурата на греењето, вакуумскиот систем, системот со аргон и системот за ладење со вода врз основа на овие сигнали. На пример, за време на процесот на раст на кристалите, електричниот систем за контрола може автоматски да ја прилагоди грејната моќност според температурниот сигнал што го враќа сензорот за температура; според растот на кристалот, може да ја контролира брзината на движење и аголот на ротација на кристалот за семе и садот. Во исто време, електричниот систем за контрола има и функции за дијагностицирање на грешки и аларм, кои можат навремено да детектираат абнормални состојби на опремата и да обезбедат безбедно работење на опремата.