Tungku kristal tunggal nyaéta alat anu ngagunakeunpemanas grafitpikeun ngalemberehkeun bahan silikon polikristalin dina lingkungan gas inert (argon) sareng nganggo metode Czochralski pikeun numuwuhkeun kristal tunggal anu henteu dislokasi. Ieu utamina diwangun ku sistem ieu:
Sistem transmisi mékanis
Sistem transmisi mékanis nyaéta sistem operasi dasar tina tungku kristal tunggal, anu utamina tanggung jawab pikeun ngontrol gerakan kristal sarengwadah lebur, kalebet ngangkat sareng rotasi kristal siki sareng ngangkat sareng rotasiwadah lebur. Éta tiasa sacara akurat nyaluyukeun parameter sapertos posisi, kecepatan sareng sudut rotasi kristal sareng wadah pikeun mastikeun kamajuan prosés kamekaran kristal anu lancar. Salaku conto, dina tahapan kamekaran kristal anu béda sapertos seeding, necking, shouldering, kamekaran diaméter anu sami sareng tailing, gerakan kristal siki sareng wadah kedah dikontrol sacara akurat ku sistem ieu pikeun minuhan sarat prosés kamekaran kristal.
Sistem kontrol suhu pemanasan
Ieu mangrupikeun salah sahiji sistem inti tina tungku kristal tunggal, anu dianggo pikeun ngahasilkeun panas sareng ngontrol suhu dina tungku sacara akurat. Ieu utamina diwangun ku komponén sapertos pemanas, sensor suhu, sareng pangontrol suhu. Pemanas biasana didamel tina bahan sapertos grafit kamurnian tinggi. Saatos arus bolak-balik dirobih sareng dikirangan pikeun ningkatkeun arus, pemanas ngahasilkeun panas pikeun ngalemberehkeun bahan polikristalin sapertos polisilikon dina wadah. Sensor suhu ngawaskeun parobahan suhu dina tungku sacara real time sareng ngirimkeun sinyal suhu ka pangontrol suhu. Pangontrol suhu sacara akurat ngontrol kakuatan pemanasan numutkeun parameter suhu anu disetel sareng sinyal suhu eupan balik, ku kituna ngajaga stabilitas suhu dina tungku sareng nyayogikeun lingkungan suhu anu cocog pikeun kamekaran kristal.
Sistem vakum
Fungsi utama sistem vakum nyaéta pikeun nyiptakeun sareng ngajaga lingkungan vakum dina tungku salami prosés kamekaran kristal. Udara sareng gas pangotor dina tungku diekstrak ngalangkungan pompa vakum sareng alat-alat sanésna pikeun ngajantenkeun tekanan gas dina tungku ngahontal tingkat anu handap pisan, umumna di handap 5TOR (torr). Ieu tiasa nyegah bahan silikon dioksidasi dina suhu anu luhur sareng mastikeun kamurnian sareng kualitas kamekaran kristal. Dina waktos anu sami, lingkungan vakum ogé kondusif pikeun miceun pangotor anu nguap anu dihasilkeun salami prosés kamekaran kristal sareng ningkatkeun kualitas kristal.
Sistem argon
Sistem argon maénkeun peran dina ngajaga sareng ngatur tekanan dina tungku dina tungku kristal tunggal. Saatos di-vacuum, gas argon anu kualitasna luhur (kualitasna kedah di luhur 6 9) dieusi kana tungku. Di hiji sisi, éta tiasa nyegah hawa luar asup kana tungku sareng nyegah bahan silikon dioksidasi; di sisi anu sanés, ngeusian gas argon tiasa ngajaga tekanan dina tungku tetep stabil sareng nyayogikeun lingkungan tekanan anu cocog pikeun kamekaran kristal. Salian ti éta, aliran gas argon ogé tiasa ngaleungitkeun panas anu dihasilkeun nalika prosés kamekaran kristal, maénkeun peran pendinginan anu tangtu.
Sistem pendingin cai
Fungsi sistem pendingin cai nyaéta pikeun niiskeun rupa-rupa komponén suhu luhur tina tungku kristal tunggal pikeun mastikeun operasi normal sareng umur layanan alat-alat éta. Salila operasi tungku kristal tunggal, pemanas,wadah, éléktroda sareng komponén sanésna bakal ngahasilkeun seueur panas. Upami henteu didinginkan dina waktosna, alat-alat éta bakal panas teuing, robah bentuk atanapi bahkan ruksak. Sistem pendingin cai ngaleungitkeun panas komponén ieu ku cara ngiderkeun cai pendingin pikeun ngajaga suhu alat dina kisaran anu aman. Dina waktos anu sami, sistem pendingin cai ogé tiasa ngabantosan nyaluyukeun suhu dina tungku pikeun ningkatkeun akurasi kontrol suhu.
Sistem kontrol listrik
Sistem kontrol listrik nyaéta "otak" tina tungku kristal tunggal, anu tanggung jawab pikeun ngawaskeun sareng ngontrol operasi sadaya alat. Éta tiasa nampi sinyal ti rupa-rupa sensor, sapertos sensor suhu, sensor tekanan, sensor posisi, jsb., sareng koordinasi sareng ngontrol sistem transmisi mékanis, sistem kontrol suhu pemanasan, sistem vakum, sistem argon sareng sistem pendingin cai dumasar kana sinyal ieu. Salaku conto, salami prosés kamekaran kristal, sistem kontrol listrik tiasa sacara otomatis nyaluyukeun kakuatan pemanasan numutkeun sinyal suhu anu dibalikkeun ku sensor suhu; numutkeun kamekaran kristal, éta tiasa ngontrol kecepatan gerakan sareng sudut rotasi kristal siki sareng wadahna. Dina waktos anu sami, sistem kontrol listrik ogé gaduh fungsi diagnosis gangguan sareng alarm, anu tiasa ngadeteksi kaayaan abnormal alat dina waktosna sareng mastikeun operasi alat anu aman.
Waktos posting: 23-Sep-2024